10x15mm 001 산화갈륨 GaO 기판 Mg 도핑
10x10mm 산화갈륨 기판 단사층 구조
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배향 | 100 | 100 | 100 |
도핑 | UID | Mg | Fe |
전기적 매개 변수 |
1×1017~3×1018cm-3
|
≥1010Ω·cm | ≥1010Ω·cm |
아크섹
|
≤150 | ≤150 | ≤150 |
전위 밀도 | <1×105 cm-2 | <1×105 cm-2 | <1×105 cm-2 |
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