웨이퍼 희석 장비
이 장비는 실리콘 (Si), 실리콘 카비드 (SiC), 갈륨 아르세나이드 (GaAs) 및 사피르 기판을 포함한 4 "~ 12"의 부서지기 쉬운 반도체 물질의 정밀 얇게 만드는 것을 가능하게합니다.고도의 포장 및 전력 장치 제조의 엄격한 요구 사항을 충족시키기 위해 두께 제어 정확도 ±1μm 및 전체 두께 변동 (TTV) ≤2μm을 달성합니다..
웨이퍼 희석 시스템
정밀 희석 장비
웨이퍼 희석 장비
시크 웨이퍼
Si 웨이퍼
사파이어 웨이퍼