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| 브랜드 이름: | ZMSH |
| 모델 번호: | 식 트레이 |
| MOQ: | 25 |
| 가격: | Fluctuates with market |
| 배달 시간: | 4-9 주 |
| 지불 조건: | 티/티 |
제품 개요
SiC 트레이(탄화규소 트레이)는 고급 소결 공정(반응 결합(RBSiC), 재결정화(RSiC), 질화규소 결합(N-SiC) 기술 포함)을 통해 제조된 다결정 탄화규소 엔지니어링 세라믹으로 만든 고성능 고온 베어링 부품입니다. 기존의 알루미나 세라믹 트레이 및 용융 석영 트레이의 업그레이드된 대안으로, 뛰어난 고온 저항성, 우수한 열충격 안정성, 균일한 열 전도성 및 긴 수명을 특징으로 합니다. 반도체, 전자 세라믹, 신에너지 및 산업용 로 산업 전반에 걸쳐 고온 소결, 어닐링 및 열처리 공정에서 캐리어 및 세터 플레이트로 널리 사용됩니다. 특정 공정 요구 사항에 맞게 맞춤형 모양, 구조 및 정밀 등급을 사용할 수 있습니다.
핵심 기술 특징
맞춤형 구조 및 정밀도
원형, 사각형, 직사각형 및 특수 모양 프로파일을 지원합니다. 선택적 구조에는 평판, 가장자리 상승, 홈이 있는 것, 위치 구멍/홈이 있는 것 및 다층 계단 유형이 포함됩니다. 반도체 공정의 높은 평탄도 요구 사항을 충족하기 위해 정밀 가공이 가능합니다.
표준 사양
| 매개변수 | 사양 범위 |
|---|---|
| 재료 등급 | 반응 결합 SiC (RBSiC); 재결정화 SiC (RSiC); 질화규소 결합 SiC (N-SiC) |
| 모양 | 원형; 사각형; 직사각형; 맞춤형 특수 모양 |
| 직경 (원형) | Ø50mm – Ø500mm (더 큰 크기 맞춤 가능) |
| 크기 (사각형/직사각형) | 50×50mm – 400×400mm (더 큰 크기 맞춤 가능) |
| 두께 | 3mm – 30mm |
| 평탄도 허용 오차 | ±0.05mm – ±0.2mm (정밀 등급별) |
| 표면 마감 | 소성 후 무광; 미세 연마; 정밀 연마 |
| 최대 연속 작동 온도 | 1400°C (RBSiC); 1650°C (RSiC); 1550°C (N-SiC) |
| 굽힘 강도 (상온) | 250–450MPa (재료 등급별) |
| 선택적 구조 | 평판; 가장자리 상승; 홈이 있는 표면; 위치 구멍/홈; 적층 가능한 계단 |
일반적인 응용 분야
1.반도체 제조
어닐링, 산화, 확산 및 저압 화학 기상 증착(LPCVD)과 같은 고온 공정에서 실리콘 웨이퍼, 사파이어 웨이퍼 및 SiC 기판의 웨이퍼 캐리어로 사용되어 안정적인 웨이퍼 위치 지정 및 균일한 가열을 보장합니다.
2.전자 세라믹 산업
MLCC(다층 세라믹 커패시터), 세라믹 기판, 압전 세라믹, 페라이트 자성 재료 및 유전체 부품의 소결 캐리어로, 소결 일관성을 개선하고 제품 변형을 줄입니다.
3.신에너지 및 리튬 배터리
리튬 배터리 양극/음극 재료, 고체 전해질 및 태양광 셀 재료의 열처리 및 소결 트레이로, N-SiC 등급의 우수한 알칼리 부식 저항성을 갖습니다.
4.고온 산업용 로
분말 야금 소결, 금속 열처리, 고온 재료 실험 및 가마 라이닝 부품에 사용되며, 기존의 알루미나 및 멀라이트 트레이를 대체하여 서비스 수명을 크게 연장합니다.
5.태양광 산업
고온 확산, 어닐링 및 코팅 공정 중 단결정 실리콘 웨이퍼 및 태양 전지 조각의 캐리어로, 대량 배치 생산을 지원합니다.
품질 관리
원자재 검사부터 완제품 납품까지 전 공정 품질 관리 시스템을 구현하며, 각 배치 제품에 대해 엄격한 검사 기준을 적용합니다.
1.원자재 관리:
고순도 탄화규소 분말을 사용하며, 입자 크기, 순도 및 조성을 입고 검사하여 재료 일관성을 보장합니다.
2.치수 검사:
고정밀 측정 장비를 사용하여 외형 치수, 두께 및 평탄도를 전체 검사하여 허용 오차 요구 사항 준수를 보장합니다.
3.외관 및 결함 스크리닝:
균열, 가장자리 칩핑, 기공 및 표면 결함에 대해 100% 육안 검사를 실시하여 외관 및 구조적 무결성을 보장합니다.
4.재료 성능 테스트:
밀도, 굽힘 강도 및 고온 성능에 대한 정기적인 샘플 테스트를 통해 재료 등급 및 신뢰성을 검증합니다.
5.품질 문서:
각 배송에는 주요 치수 및 성능 지표를 포함하는 분석 증명서(COA)가 제공되며, 요청 시 제3자 테스트 보고서를 제공할 수 있습니다.
자주 묻는 질문
Q1: 내 응용 분야에 적합한 SiC 등급을 어떻게 선택해야 합니까?
A1: ①비용에 민감한 일반 소결, 기계적 마모 시나리오 및 온도 ≤1400°C의 경우 RBSiC 선택
②1500°C 이상의 고온 가마, 심각한 열 순환 및 장기 수명 요구 사항의 경우 RSiC 선택
③리튬 배터리 재료, 알칼리성 분위기의 세라믹 소결 및 높은 강도 요구 사항의 경우 N-SiC 선택
Q2: 어떤 평탄도 허용 오차와 표면 마감을 달성할 수 있습니까?
A2:①표준 소성 등급: 평탄도 ±0.1mm – ±0.2mm, 무광 표면
②정밀 가공 등급: 평탄도 ±0.05mm, 미세 연마 표면
③고정밀 반도체 등급: 더 엄격한 평탄도 및 연마 표면은 요청 시 가능
Q3: SiC 트레이의 최대 연속 작동 온도는 얼마입니까?
A3: 재료 등급에 따라 다릅니다:
①RBSiC: 1400°C 장기 연속 사용
②RSiC: 최대 1650°C 장기, 초고온 가마에 이상적
③N-SiC: 최대 1550°C, 우수한 알칼리 부식 저항성 단기 최고 온도는 약간 더 높을 수 있지만, 장기간 과열은 수명을 단축시킵니다.
Q4: SiC 트레이를 가마에 쌓을 수 있습니까? 하중 하에서 변형됩니까?
A4: 예, 적층 가능한 디자인이 가능합니다. SiC 세라믹은 높은 굽힘 강도(250–450MPa)와 고온 강성을 가지고 있습니다. 적절한 두께 설계로 고온에서 적층 하중 하에서도 처짐이나 변형 없이 치수 안정성을 유지합니다.
Q5: 샘플 주문을 받습니까? MOQ는 무엇입니까?
A5: 예, 성능을 검증하기 위해 표준 크기 트레이에 대한 샘플 주문이 가능합니다. 표준 제품의 경우 낮은 MOQ가 지원됩니다. 맞춤형 크기 및 특수 구조의 경우 MOQ는 복잡성에 따라 다르므로 자세한 내용은 영업팀에 문의하십시오.
Q6: SiC 트레이의 일반적인 리드 타임은 얼마입니까?
A6: 표준 재고 품목은 3-7 영업일 이내에 배송될 수 있습니다. 맞춤형 가공된 표준 크기는 10-20 영업일이 소요됩니다. 특수 맞춤형 모양 및 대량 주문은 주문 수량 및 구조 복잡성에 따라 20-35 영업일이 소요됩니다.
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