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제품 세부 정보

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SiC 기판
Created with Pixso. 시크 웨이퍼 HPSI:고위 순수 반 단열성 높은 열 전도성 MPD 제어

시크 웨이퍼 HPSI:고위 순수 반 단열성 높은 열 전도성 MPD 제어

브랜드 이름: ZMSH
모델 번호: SiC 웨이퍼 HPSI
MOQ: 25
가격: Fluctuates with market
배달 시간: 2~4주
지불 조건: 티/티
자세한 정보
원래 장소:
중국 상하이
폴리 타입:
주류 4H-SiC
지름:
4/6/8인치 사용 가능
두께:
표준 크기는 350μm, 500μm, 650μm입니다.
비저항:
≥1×10¹⁰ Ω・cm (HPSI 코어 전기 사양)
표면 처리:
단면/양면 CMP 경면연마
마이크로파이프 비중:
양산등급 ≤1ea/cm²
제품 설명

HPSI SiC 웨이퍼에 대한 정보

HPSI (High Purity Semi-Insulating) 실리콘 카바이드 웨이퍼는 고주파 GaN RF 장치 및 고급 3세대 반도체에 대한 중요한 기초 기판입니다.5G 통신의 급속한 확장에 따라, 밀리미터 파드 레이더 및 항공 우주 전자 시장, 세계 SiC 기판 시장은 2030 년까지 20 억 달러를 초과 할 것으로 예상됩니다.다음 세대의 무선 통신에서 대체 할 수없는 전략적 역할을 수행하고 고전력 전자 시스템시크 웨이퍼 HPSI:고위 순수 반 단열성 높은 열 전도성 MPD 제어

 

상류: 고순도 실리콘 카바이드 분말 (6N 등급 이상), 물리 증기 운송 (PVT) 결정 성장 오븐 및 고순도 그래피트 열장 구성 요소.고급 결정 성장 장비와 초고 순수 원료는 여전히 산업 사슬에서 부분적으로 수입 의존에 직면하고 있습니다.중류: SiC 단일 결정 성장 → 잉크 모양 → 다선 슬라이싱 → 라핑 → 화학 기계 닦기 (CMP) → 에피타시 준비 표면 처리.이 세그먼트는 매우 높은 기술적 장벽을 가지고 있습니다., 결정의 양과 결함 통제를 핵심 경쟁 지표로. 하류: GaN RF 전력 장치 (HPSI SiC 소비의 가장 큰 비중을 차지하고), 5G 기지 스테이션 전력 증폭기,밀리미터파 레이더 칩, 항공우주 전자 부품, 고주파 마이크로 웨이브 장치 및 고전압 전원 장치 프로토 타입.통신 기술 업그레이드와 새로운 에너지 및 국방 산업으로 인해 다운스트림 수요가 계속 증가합니다..

 

4H HPSI SiC 웨이퍼는 고순도 반열성 단일 크리스탈 실리콘 카바이드 기판으로 <0001>의 크리스탈 오리엔테이션을 가지고 있습니다.주로 물리 증기 운송 (PVT) 크리스탈 성장 방법을 통해 생성됩니다.반 단열 특성은 초고 순도 제어 및 바나디움 도핑 기술을 통해 매우 높은 저항성을 달성합니다.에피 준비 표면은 원자 수준 매끄러움을 달성하기 위해 정밀 CMP 롤링을 받습니다., MOCVD GaN 에피택시의 엄격한 요구 사항을 충족합니다.

주요 특징

고순도 반 단열성 SiC 물질

우리의 HPSI SiC 웨이퍼는 6N 등급 고순도 단일 결정 실리콘 탄화물 (4H-SiC) 으로 제조되며, 고주파 RF 및 고급 반도체 제조 환경에 특별히 개발되었습니다.이 재료는 뛰어난 열 전도성을 가지고 있습니다., 초고한 전기 저항성, 우수한 화학적 진식 저항성 및 우수한 기계적 강도, 고온 에피택시에서도 안정적인 전기 및 물리적 성능을 유지합니다.고전력 작동 및 열악한 플라즈마 처리 조건.

다양한 장치에 대한 여러 가지 폴리 타입 및 오리엔테이션 옵션

SiC 기체는 다양한 반도체 장치 요구 사항에 맞게 일반 폴리 타입과 결정 지향으로 제공됩니다.4H-SiC는 균형 잡힌 전자 이동성과 물질 안정성을 가진 RF 및 전력 장치에 대한 지배적 인 선택입니다.; 6H-SiC 옵션은 특수 광 전자 및 고 온도 장치 시나리오를 충족합니다.4 ° 오프축) 에피타시얼 레이어 품질과 장치 양을 최적화 할 수 있습니다..

초정밀 CMP 닦기 및 평면성 성능

SSP (Single Side Polished) 및 DSP (Double Side Polished) 등급으로 제공되며, 다양한 프로세스 시나리오에 적합합니다.엄격하게 제어된 TTV, BOW 및 WARP 값 원자 수준 매끄럽고 결함 없는 표면 MOCVD GaN균일한 대두층 퇴적과 장치 RF 성능의 높은 일관성을 보장합니다..시크 웨이퍼 HPSI:고위 순수 반 단열성 높은 열 전도성 MPD 제어

우수한 전기 및 열 특성

HPSI SiC 기판은 초고저항성 (≥ 1×1010 Ω·cm) 과 초저형 다이렉트릭 손실을 제공하며, 고주파 및 고전력 RF 장치의 신호 교차 및 누출을 효과적으로 제거합니다.타피르보다 3~4배 더 높은 열전도, 그들은 우수한 열 분산 능력을 제공하여 높은 부하 작동 하에서 장치의 전력 밀도와 장기 신뢰성을 크게 향상시킵니다.

맞춤형 정밀 기판 제조

기판 사양은 고객의 기술 요구 사항에 따라 완전히 사용자 정의 될 수 있습니다.

  • 웨이퍼 지름: 2 / 4 / 6 / 8 인치
  • 표준 & 사용자 정의 두께
  • 크리스탈 폴리 타입 & 정밀한 오프 앵글
  • SSP / DSP 닦는 방식
  • 표면 거칠성 및 평면성 허용
  • 가장자리 칸막이 및 가장자리 마무리
  • 기본 평면 / 톱니 위치 설계
  • 청결성 등급 및 정밀 청소 과정

기능 처리 및 맞춤 부가가치 서비스

표준 맨 SiC 웨이퍼 외에도 다양한 고객 애플리케이션을 지원하기 위해 전체 프로세스 맞춤형 기능 처리를 제공합니다.

  • 부피층 성장 (SiC에 GaN / AlGaN)
  • 완전 / 지역화 금속화 (Ti / Ni / Au / Cr 코팅)
  • 초느다란 웨이퍼 희석 및 스트레스 완화 처리
  • 고정도 조각, 굴착 및 특수형조
  • 맞춤형 표면 가공 (폴리싱 / 랩 / 에치)
  • 엄격한 품질 검사 및 완전한 COA 인증

맞춤 교체 & OEM-그라드 기판 솔루션

우리는 고객의 그림, 샘플 벤치마크, 장비 프로세스 매개 변수,기존 부품 사양 및 역공학 요구 사항모든 제품은 RoHS 및 REACH 표준을 준수하며 반도체 프로세스 업그레이드, 장비 매칭 및 현지 교체 프로젝트를위한 안정적이고 고출력 기판 솔루션을 제공합니다.

전형적 사용법

HPSI SiC 웨이퍼는 RF 통신 및 고급 반도체 산업에서 널리 채택된 핵심 기초 기체이며 다음 장치 및 제조 프로세스에 적용됩니다.

  • GaN 기반 RF 전력 증폭기 및 HEMT 장치 제조
  • 5G / 6G 기지 스테이션 RF 프론트 엔드 칩
  • 밀리미터파 레이더와 자동차 레이더 칩
  • 위성 통신 및 항공 우주 전자 부품
  • 마이크로파 및 밀리미터파 일체 회로 (MMIC)
  • 고주파 전력전자 기기 연구개발 및 프로토타입 제작
  • 방위전자 및 단계적 레이더 시스템
  • 고온 내성 반도체 장치 포장
  • 반도체 진공장비 및 고온 단열 부품
  • 고전력 RF 장치 포장 및 열 관리 기판

HPSI SiC 기판은 안정적인 팩 일관성을 갖춘 주류 RF 및 고급 반도체 시나리오를 위해 상업적으로 대량 생산되었습니다.결함 비율이 낮고 프로세스 호환성이 뛰어나다.

제품 사양

 

항목 사양
제품 HPSI 실리콘 카바이드 웨이퍼 / SiC 기판
소재 고순도 반열성 4H-SiC 단일 결정
성장 방법 물리적 증기 운송 (PVT)
결정 구조 육각형 뷔르츠이트 구조
직경 2" / 4" / 6" / 8" 또는 사용자 정의
두께 맞춤형 (예를 들어, 350μm, 650μm)
방향성 (0001) C 평면, 축 외 4° / 사용자 정의
표면 마감 SSP (일면 닦은) / DSP (두면 닦은) / 랩
표면 품질 MIL-PRF-13830B에 따라 스크래치 디브 (예: 20/10, 10/5)
저항성 ≥ 1×1010 Ω·cm (반 단열)
마이크로 파이프 밀도 (MPD) ≤ 1 ea/cm2 (생산 등급) / 맞춤형
TTV (총 두께 변동) ≤ 3μm (또는 고객의 요구에 따라)
활 / 워크 ≤ 10μm (또는 고객의 요구에 따라)
거칠성 (Ra) 닦은: ≤ 0.1 nm / 랩: ≤ 0.5 μm
가장자리 유형 기본 평면 / 톱니 (SEMI 표준에 따라)
엣지 프로파일 필요에 따라 캄퍼 / 둥글다
도판트 바나디오 도핑 / 내성 반 단열
순수성 ≥ 99.9999% (6N 등급)
코팅 부착되지 않은 / 부착층 / 금속 코팅 가능
적용 RF 통신 / GaN 에피타시 / 마이크로 웨브 / 항공우주

반도체 및 RF 애플리케이션을 위해 HPSI SiC 웨이퍼를 선택하는 이유는 무엇입니까?

HPSI 실리콘 카바이드 웨이퍼는 GaN RF 에피택시, 고주파 장치 제조 및 마이크로 웨이브 전자 시스템에서 널리 사용되는 핵심 기초 기체입니다. GaN의 운반자로서,AlGaN 및 다른 부피층 성장, 그들은 높은 온도, 높은 전력 밀도, 강한 플라즈마 침식 및 고주파 전자기장을 특징으로하는 극단적인 제조 환경에서 작동합니다.

전통적인 사파이르, 실리콘 및 일반적인 세라믹 기판 재료와 비교하면 고순도 반 단열 SiC 기판은 뛰어난 포괄적 인 물리적 및 전기적 특성을 통합합니다.고품질 RF 및 고전력 반도체 프로세스에 대체 할 수 없도록 만드는주요 장점은 다음과 같습니다.시크 웨이퍼 HPSI:고위 순수 반 단열성 높은 열 전도성 MPD 제어

  • 초고열전도성: 최대 490W/m·K의 열전도, 사피르보다 3~4배 더 높고 실리콘보다 10배 더 높으며, 고전력 장치에서 발생하는 열을 효율적으로 분산시킵니다.장치의 전력 밀도와 사용 수명을 크게 향상시킵니다..
  • 극도로 높은 온도 안정성: 최대 2700°C까지의 녹는점을 자랑하며, 장기간 고온 에피택시 및 고전력 작동에서 안정적인 결정 구조와 차원 정확성을 유지합니다.기체의 변형과 장치 성능 저하를 효과적으로 방지합니다..
  • 초고한 반열성 성능: 1×1010 Ω·cm 이상의 저항성과 극저한 다이렉트릭 손실을 특징으로, 고주파 RF 장치에 대한 신뢰할 수있는 전기 격리를 제공합니다.신호 교란 및 삽입 손실을 효과적으로 줄이십시오..
  • 우수한 화학적 무력성: 반도체 제조에 사용되는 각종 산성, 알칼리성 및 반응성 공정 기체에 의한 부식에 내성이 있으며 화학 반응이나 표면 손상 없이,극정 깨끗한 공정 조건을 보장합니다..
  • 탁월한 플라스마 및 방사선 저항성: 그것은 긴 기간 플라즈마 폭격과 얇은 필름 퇴적 및 에칭 프로세스에서 고 에너지 방사선에 견딜 수 있으며 낮은 표면 손상 비율과 안정적인 성능을 제공합니다.
  • 높은 기계적 강도와 경직성: 모스 경도는 9입니다.5다이아몬드 다음으로 뛰어난 마모 저항성과 구조적 안정성을 제공하며 정밀 처리 및 얇은 필름 성장 과정에서 기계적 손상 및 변형에 저항합니다.
  • 장기적인 프로세스 내구성: 반복적이고 엄격한 반도체 생산 과정에서 일관된 표면 평면성과 결정 품질을 유지하고 기판 교체 빈도와 생산 비용을 크게 줄입니다.

위의 이유로 HPSI SiC 기판은 GaN RF 장치, 밀리미터 파동 통신 칩,항공우주 전자제품 및 다른 핵심 반도체 부품.

맞춤형 SiC 웨이퍼 제조

우리는 RF 통신과 고급 반도체 장비에 맞춤형 및 표준화된 HPSI SiC 웨이퍼 제조에 전문입니다.산업 생산 및 연구실 연구개발을 위한 고정도 맞춤형 솔루션에 초점을 맞추고우리는 고정된 표준 사양의 한계를 깨고 고객의 실제 프로세스 매개 변수에 따라 웨이퍼를 완전히 사용자 정의합니다.장비 일치 요구 사항 및 장치 설계 표준.

포괄적 인 사용자 정의 옵션은 전체 프로세스 웨이퍼 매개 변수 및 지원 구조를 포함합니다.

SiC 웨이퍼 코어 매개 변수

  • 웨이퍼 지름 (2/4/6/8 인치 및 특수 사용자 정의 크기)
  • 웨이퍼 두께
  • 크리스탈 폴리 타입 (4H-SiC, 6H-SiC) 및 오브 앵글 사양
  • 가장자리 모양 및 칸막이 모양
  • 평면 / 톱니 위치 설계
  • 표면 거칠성 및 평면성
  • 양면/일면 닦기 요구 사항
  • 초정결한 표면 처리 및 스트레스 완화 처리

맞춤형 구조 구성 요소

  • 기판 운반 장치 크기의 사용자 정의
  • 포지셔닝 홀 및 롤 처리
  • 금속 맞춤식 기저구와 모서리 구조
  • 장착 및 고정 인터페이스 사양
  • 기판 및 보조 부품의 통합 조립

우리는 SiC 웨이퍼와 일치하는 금속/세라믹 부품으로 조립된 완성된 통합 부품을 제공하여 고객의 직접 설치 및 사용 요구를 충족시킬 수 있습니다.

대체 및 역설계 서비스시크 웨이퍼 HPSI:고위 순수 반 단열성 높은 열 전도성 MPD 제어

생산이 중단된 SiC 웨이퍼, 원품 부품 공급이 어려운 부품 및 특수 반도체 장비에 대한 비표준 맞춤형 기판우리는 전문적인 리버스 엔지니어링 및 대체 제조 서비스를 제공합니다.고객들은 평가와 표를 위해 다음 정보를 제공 할 수 있습니다:

  • 오리지널 장비 부품 번호
  • 상세한 기술 도면 및 매개 변수 사양
  • 명확한 제품 사진 및 물리적 샘플 (새로운/사용된)
  • 주요 차원 및 결정 매개 변수 데이터
  • 지원 장비 모델 및 팩 정보
  • 특정 응용 시나리오 및 프로세스 환경 매개 변수

우리의 전문 엔지니어링 팀은 공식적인 코팅 전에 웨이퍼 구조, 결정 성능, 처리 어려움 및 제조 타당성에 대한 포괄적 인 평가를 수행합니다.모든 사용자 정의 교체 웨이퍼는 프로세스 호환성을 위해 최적화됩니다최종 일치 성능은 사용 효과의 차이는 0으로 보장하기 위해 고객의 실제 장비 구성 및 생산 프로세스 표준에 따라 확인됩니다.

품질 관리

우리는 모든 HPSI SiC 웨이퍼에 대한 전체 프로세스 정밀 품질 검사를 시행합니다.그리고 고객 프로젝트 요구 사항과 산업 표준에 따라 표적 검사 항목과 완전한 테스트 보고서를 제공할 수 있습니다.주요 검사 내용에는 다음과 같은 것들이 포함됩니다.

  • 전체 차원 정밀 검사 (지름, 두께, 허용량 정정)
  • 크리스탈 오리엔테이션 및 폴리 타입 정확성 검출
  • 표면 평면성, 곡면성 및 거칠성 검사
  • 마이크로 파이프 밀도 및 결함 밀도 검사
  • 저항성 및 전기 성능 테스트
  • 시력 결함 검사 (구름, 구멍, 균열, 포함)
  • 청결성 및 표면 스트레스 감지
  • 전문적인 충돌 방지 및 먼지 방지 포장 검사

고객으로부터 들어오는 재료 검증 및 생산 품질 추적성을 지원하기 위해 완전한 테스트 데이터를 포함하는 공식 검사 보고서를 제공할 수 있습니다.

어떤 정보 를 보내서 제안 을 받아야 합니까?

정확한 공고 및 배송 주기를 단축하기 위해 문의시 다음의 자세한 정보를 제공하시기 바랍니다.

  • 전체 제품 기술 도면 및 매개 변수 표
  • 웨이퍼 지름, 두께 및 허용량 요구 사항
  • 크리스탈 폴리 타입, 방향 및 비각 사양
  • 표면 마감, 닦기 등급 및 청결성 요구 사항
  • 일치하는 보조 부품의 매개 변수 (이 경우)
  • 장비의 브랜드, 모델 및 지원 프로세스 조건
  • 원본 OEM 부품 번호 (가능한 경우)
  • 요구량 및 롯데 수요
  • 특정 신청 과정 및 극단적 인 환경 요구 사항

완전한 기술 도면이 없다면, 우리의 팀이 매개 변수 테스트와 스키마 평가를 수행 할 수 있도록 명확한 고화질 사진과 웨이퍼의 물리적 샘플을 제공하십시오.

FAQ

HPSI SiC 웨이퍼는 주로 어떤 용도로 사용됩니까?

HPSI (High Purity Semi-Isolating) SiC 웨이퍼는 고주파 RF 및 고급 반도체 장치 제조에 사용되는 핵심 운반 기판이며, 주로 GaN RF 전력 증폭기에 사용됩니다.5G 기본 스테이션 칩, 밀리미터 파동 레이더, 항공 우주 전자, 마이크로 웨브 MMIC 및 다른 분야, 고 온도 에피타시, 얇은 필름 퇴적 및 정밀 발각 프로세스에 적합합니다.

 

맞춤형 통합 웨이퍼 조립 부품을 제공할 수 있나요?

네, 단일 SiC 웨이퍼 기판 외에도위치 구성 요소 및 도면 및 샘플 요구 사항에 따라 완성 된 통합 집합, 원스톱 지원 공급을 실현합니다.

 

오래된 특수 장비에 대한 대체 웨이퍼를 생산할 수 있나요?

그래요. 우리는 도면 기반 생산과 샘플 리버스 엔지니어링을 포함한 전체 서비스 맞춤형 제조를 지원합니다. 고객은 원본 부품 번호, 기술적 매개 변수를 제공 할 수 있습니다.물리적 샘플 및 장비 정보, 그리고 우리 팀은 성능 일치 및 대체 제조를 완료합니다.

 

SiC 웨이퍼의 모든 핵심 매개 변수를 사용자 정의 할 수 있습니까?

네, 모든 주요 매개 변수와 함께 웨이퍼 크기, 두께,평면성 및 닦기 등급은 개인화된 R&D 및 생산 요구를 충족시키기 위해 고객의 프로세스 요구 사항에 따라 완전히 사용자 정의 될 수 있습니다..

 

소량과 프로토타입 주문을 지원하십니까?

예, 우리는 프로토타입 개발, 실험실 소량 테스트, 장비 유지보수 교체 및 대량 생산 대량 주문을 완전히 지원합니다.우리는 사용자 정의 매개 변수와 처리 어려움에 따라 생산 계획과 인용을 평가합니다.

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