HPSI형 SiC 웨이퍼 (High-Purity Semi-Insulating Silicon Carbide) 는 AI 및 AR 안경의 중추 광학 재료입니다. 높은 굴절 지수 (2.6 - 2.7 @ 400 - 800 nm) 및 낮은 광 흡수 특성, 그들은 효과적으로 "무지개 효과"와 AR 파도 가이드에 사용되는 전통적인 유리 또는 樹脂 재료에서 흔한 불충분한 빛 전달과 같은 문제를 해결합니다. 예를 들어,메타의 오리온 AR 안경은 HPSI SiC 파도 안내 렌즈를 사용합니다., 단층 렌즈 두께 0.55mm와 무게 2.7g로 70° - 80°의 초대 폭의 시야 (FOV) 를 달성하여 착용 편안함과 몰입을 크게 향상시킵니다.
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| 매개 변수 | 등급 | 4인치 기판 | 6인치 기판 |
|---|---|---|---|
| 직경 | Z급 / D급 | 99.5mm - 100.0mm | 149.5mm - 150.0mm |
| 폴리 타입 | Z급 / D급 | 4H | 4H |
| 두께 | Z급 | 500μm ± 15μm | 500μm ± 15μm |
| D급 | 500μm ± 25μm | 500μm ± 25μm | |
| 웨이퍼 방향 | Z급 / D급 | 축: <0001> ± 0.5° | 축: <0001> ± 0.5° |
| 마이크로 파이프 밀도 | Z급 | ≤ 1cm2 | ≤ 1cm2 |
| D급 | ≤ 15cm2 | ≤ 15cm2 | |
| 저항성 | Z급 | ≥ 1E10 Ω·cm | ≥ 1E10 Ω·cm |
| D급 | ≥ 1E5 Ω·cm | ≥ 1E5 Ω·cm | |
| 기본 평면 방향 | Z급 / D급 | (10-10) ± 5.0° | (10-10) ± 5.0° |
| 기본 평면 길이 | Z급 / D급 | 32.5mm ± 2.0mm | 톱니 |
| 2차 평면 길이 | Z급 / D급 | 180.0 mm ± 2.0 mm | - |
| 엣지 배제 | Z급 / D급 | 3mm | 3mm |
| LTV / TTV / Bow / Warp | Z급 | ≤ 2.5μm / ≤ 5μm / ≤ 15μm / ≤ 30μm | ≤ 2.5μm / ≤ 6μm / ≤ 25μm / ≤ 35μm |
| D급 | ≤ 10μm / ≤ 15μm / ≤ 25μm / ≤ 40μm | ≤ 5μm / ≤ 15μm / ≤ 40μm / ≤ 80μm | |
| 경직성 | Z급 | 폴란드 Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0.2 nm | 폴란드 Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0.2 nm |
| D급 | 폴란드 Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0.2 nm | 폴란드 Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0.5 nm | |
| 가장자리 균열 | D급 | 누적 면적 ≤ 0.1% | 누적 길이 ≤ 20mm, 단장 ≤ 2mm |
| 폴리 타입 지역 | D급 | 누적 면적 ≤ 0.3% | 누적 면적 ≤ 3% |
| 시각적 탄소 포함 | Z급 | 누적 면적 ≤ 0.05% | 누적 면적 ≤ 0.05% |
| D급 | 누적 면적 ≤ 0.3% | 누적 면적 ≤ 3% | |
| 실리콘 표면 긁힘 | D급 | 5개 허용, 각 ≤1mm | 누적 길이 ≤ 1 x 지름 |
| 엣지 칩 | Z급 | 허용되지 않습니다 (폭과 깊이 ≥0.2mm) | 허용되지 않습니다 (폭과 깊이 ≥0.2mm) |
| D급 | 7개, 각각 ≤1mm | 7개, 각각 ≤1mm | |
| 스레딩 스크루 부착 | Z급 | - | ≤ 500cm2 |
| 포장 | Z급 / D급 | 멀티 웨이퍼 카세트 또는 싱글 웨이퍼 컨테이너 | 멀티 웨이퍼 카세트 또는 싱글 웨이퍼 컨테이너 |
ZMSH는 통합된 제조 및 거래 업체로서 SiC 제품에 대한 종합 솔루션을 제공합니다.
내부 결정 성장 오븐은 사용자 정의 가능한 매개 변수 (예를 들어, 도핑 농도, 굴곡 강도) 를 가진 4H-N, 4H-HPSI, 6H-P 및 3C-N 타입 웨이퍼 (2 ~ 12 인치) 를 생산합니다.
Q1: HPSI SiC 웨이퍼가 AR 안경에 왜 중요한가?
A1: HPSI SiC 웨이퍼의 높은 굴절 지수 (2.6 - 2.7) 와 낮은 광학 흡수는 AR 디스플레이에서 무지개 효과를 제거하면서 초얇은 파도 안내를 가능하게합니다. (예를 들어, Meta Orion의 0.55mm 렌즈).
Q2: HPSI SiC는 AR 광학에서 전통적인 유리와 어떻게 다릅니다?
A2: HPSI SiC는 유리의 굴절 지수 (~ 2.0) 의 두 배를 제공하며, 더 넓은 FOV 및 단일 계층 파도 유도, 마이크로 LED에서 열을 관리하기 위해 490 W / m · K 열 전도도를 제공합니다.
Q3: HPSI SiC는 다른 반도체 재료와 호환됩니까?
A3: 네, 하이브리드 시스템에서 GaN와 실리콘과 통합되지만 열 안정성과 다이전트적 특성이 고전력 AR 광학에서 우월합니다.
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