HPSI SiC 웨이퍼 2-12 인치 광학 등급 AI/AR 안경

HPSI SiC 웨이퍼 2-12 인치 광학 등급 AI/AR 안경

HPSI형 SiC 웨이퍼 (High-Purity Semi-Isolating Silicon Carbide) 는 높은 굴절 지수 (2.6 ∼ 2.2) 로 AI 및 AR 안경의 핵심 광학 재료로 사용됩니다.7 @ 400 ∼ 800 nm) 와 낮은 광학 흡수 특성, 그들은 "무지개 효과"와 AR 파도지도에 대한 전통적인 유리 또는 樹脂 재료의 불충분한 빛 전달과 같은 문제를 다루고 있습니다. 예를 들어,메타오리온 AR 안경은 HPSI SiC 파도 안내 렌즈를 사용합니다., 단층 렌즈 두께 0.55mm, 무게 2.7g로 70°~80° 초대 폭의 시야 (FOV) 를 달성하여 착용 편안함과 몰입도를 크게 향상시킵니다.

HPSI SiC 웨이퍼 핵심 기능 및 장점

재료 특성, 광학 성능 및 응용 가치

- 네1굴절 지수: 2.6~2.7

• 이 높은 굴절 지수는 다층 광학적 구조를 단층 렌즈로 대체하여 빛 손실을 줄이고 밝기와 색 정확성을 향상시킵니다.보다 순수한 시각적 디스플레이를 가능하게 합니다., 무지개 효과를 제거하고 고해상도 마이크로 LED와 원활한 통합을 지원합니다.

- 네

2열전도: 490W/m·K

• 이 물질은 고전력 마이크로 LED에서 발생하는 열을 빠르게 분산시켜 렌즈 변형을 방지하고 장치 수명을 연장합니다.이것은 고온 환경에서도 안정적인 성능을 보장합니다., 예를 들어 야외 사용.

- 네

3모스 강도 9.5

• 뛰어난 스크래치 저항성으로, 이 재료는 일상적인 마모와 찢어짐에 견딜 수 있습니다. 이것은 유지 보수 필요를 줄이고 렌즈의 서비스 수명을 연장하여 장기적인 사용성을 향상시킵니다.

4광대역 간격 반도체

• CMOS 프로세스와 호환성 때문에 나노 스케일 리토그래피와 에칭을 통해 정확한 광학 격자 제조가 가능합니다.이것은 반사파도와 마이크로 공명기와 같은 첨단 광학 부품의 웨이퍼 규모의 생산을 촉진합니다..

HPSI SiC 웨이퍼의 주요 응용 프로그램

HPSI SiC 웨이퍼주요 매개 변수

4인치와 6인치 반열성 SiC 기판 사양 비교
매개 변수	등급	4인치 기판	6인치 기판
직경	Z급 / D급	99.5mm - 100.0mm	149.5mm - 150.0mm
폴리 타입	Z급 / D급	4H	4H
두께	Z급	500μm ± 15μm	500μm ± 15μm
	D급	500μm ± 25μm	500μm ± 25μm
웨이퍼 방향성	Z급 / D급	축: <0001> ± 0.5°	축: <0001> ± 0.5°
마이크로 파이프 밀도	Z급	≤ 1cm2	≤ 1cm2
	D급	≤ 15cm2	≤ 15cm2
저항성	Z급	≥ 1E10 Ω·cm	≥ 1E10 Ω·cm
	D급	≥ 1E5 Ω·cm	≥ 1E5 Ω·cm
기본 평면 방향성	Z급 / D급	(10-10) ± 5.0°	(10-10) ± 5.0°
기본 평면 길이	Z급 / D급	32.5mm ± 2.0mm	톱니
2차 평면 길이	Z급 / D급	180.0mm ± 2.0mm	-
엣지 배제	Z급 / D급	3mm	3mm
LTV / TTV / Bow / Warp	Z급	≤ 2.5μm / ≤ 5μm / ≤ 15μm / ≤ 30μm	≤ 2.5μm / ≤ 6μm / ≤ 25μm / ≤ 35μm
	D급	≤ 10μm / ≤ 15μm / ≤ 25μm / ≤ 40μm	≤ 5μm / ≤ 15μm / ≤ 40μm / ≤ 80μm
거칠기	Z급	폴란드 Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0.2 nm	폴란드 Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0.2 nm
	D급	폴란드 Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0.2 nm	폴란드 Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0.5 nm
엣지 크랙	D급	누적 면적 ≤ 0.1%	누적 길이 ≤ 20mm, 단장 ≤ 2mm
폴리타이프 영역	D급	누적 면적 ≤ 0.3%	누적 면적 ≤ 3%
시각적 탄소 포함	Z급	누적 면적 ≤ 0.05%	누적 면적 ≤ 0.05%
	D급	누적 면적 ≤ 0.3%	누적 면적 ≤ 3%
실리콘 표면 긁힘	D급	5개 허용, 각 ≤1mm	누적 길이 ≤ 1 x 지름
엣지 칩	Z급	허용되지 않습니다 (폭과 깊이 ≥0.2mm)	허용되지 않습니다 (폭과 깊이 ≥0.2mm)
	D급	7개, 각각 ≤1mm	7개, 각각 ≤1mm
스레딩 스크루의 부착	Z급	-	≤ 500cm2
포장	Z급 / D급	멀티 웨이퍼 카세트 또는 싱글 웨이퍼 컨테이너	멀티 웨이퍼 카세트 또는 싱글 웨이퍼 컨테이너

 

 

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ZMSH 서비스

 

 

ZMSH는 통합된 제조 및 거래 주체로서 SiC 제품에 대한 종합 솔루션을 제공합니다.

 

• 수직 통합:내부의 결정 성장 오븐은 사용자 정의 가능한 매개 변수 (예를 들어, 도핑 농도, 굴곡 강도) 를 가진 4H-N, 4H-HPSI, 6H-P 및 3C-N 타입 (2 ′′ 12 인치) 웨이퍼를 생산합니다.

• - 네정밀 처리:

1. - 네웨이퍼 레벨 절단:레이저 조각 및 화학 기계 닦기 (CMP) 는 표면 거름 <0.3 nm를 달성합니다.
2. - 네사용자 지정 모양:AR 광학 모듈 통합을 위해 프리즘, 사각형 웨이퍼 및 웨이브 가이드 배열을 생산합니다.

• 저희에게 연락하십시오:샘플 및 기술 컨설팅 설계 검증부터 대량 생산까지 모든 서비스 지원

 

 

 

 

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ZMSH의 SiC 제품

 

 

SiC 웨이퍼 4H 반

 

 

1. 4" 4H-반 고분성 SIC 웨이퍼 프라임 등급 반도체 EPI 기판 AR 안경 광학 등급

 

 

 

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SiC 웨이퍼 4H-N

 

 

2. 4인치 4H-N 실리콘 탄화물 SiC 기판 Dia 100mm N 타입 프라임 등급 덤비 등급 두께 350um 사용자 정의

 

 

 

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다른 종류의 SiC 샘플

 

 

 

Q1: HPSI SiC 웨이퍼가 AR 안경에 중요한 이유는 무엇입니까?

A1: HPSI SiC 웨이퍼의 높은 굴절 지수 (2.6 ∼2.7) 와 낮은 광학 흡수는 AR 디스플레이에서 무지개 효과를 제거하면서 초느다란 파도 지도 (예를 들어, Meta Orion ∼0.55mm 렌즈).

Q2: HPSI SiC는 AR 광학에서 전통적인 유리와 어떻게 다릅니다?

A2: HPSI SiC는 유리보다 2배 더 높은 굴절 지수를 제공합니다 (~ 2.0), 더 넓은 FOV 및 단일 계층 파도 유도, 마이크로 LED에서 열을 관리하기 위해 490 W / m · K 열 전도도를 제공합니다.

Q3: HPSI SiC는 다른 반도체 재료와 호환됩니까?

A3: 네, 하이브리드 시스템에서 GaN와 실리콘과 통합되지만 열 안정성과 다이전트적 특성이 고전력 AR 광학에서 우월합니다.

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