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제품 세부 정보

Created with Pixso. 집 Created with Pixso. 제품 Created with Pixso.
SiC 기판
Created with Pixso. 4인치 6인치 8인치 SICOI 웨이퍼 4H-SiC 온 인슐레이터 100~150 mm sic 필름 ON 실리콘

4인치 6인치 8인치 SICOI 웨이퍼 4H-SiC 온 인슐레이터 100~150 mm sic 필름 ON 실리콘

브랜드 이름: ZMSH
모델 번호: SICOI Wafers
MOQ: 25
가격: by case
배달 시간: 2-4weeks
지불 조건: T/T
자세한 정보
Place of Origin:
CHINA
인증:
rohs
크기:
4 인치/6 인치/8 인치
표면 거칠기:
ra <0.5nm
파괴 인성:
3.5 MPa · M¹/²
CTE (4H-SIC):
4.2 × 10 °/k
저항 (SI):
> 1 × 10⁶ ω · cm
응용:
고출력 전자 제품, RF 장치
Packaging Details:
package in 100-grade cleaning room
강조하다:

절연체 위의 4H-SiC 웨이퍼

,

SICOI 웨이퍼 100-150mm

,

실리콘 기판 위의 SiC 필름

제품 설명

시코이 웨이퍼 개요




4인치 6인치 8인치 SICOI 웨이퍼 4H-SiC 단열기 100~150mm sic 필름 ON 실리콘



SICOI (Silicon Carbide on Insulator) wafers represent a high-performance semiconductor substrate material that combines the exceptional physical properties of silicon carbide (SiC) with the electrical isolation advantages of an insulating layer (such as SiO₂ or Si₃N₄)SICOI 구조는 일반적으로 SiC 단일 결정층, 단열층 및 지원 기판 (예: Si 또는 SiC) 으로 구성됩니다.이 구성은 높은 전력에서 광범위한 응용 프로그램을 찾습니다, 고 주파수 및 고 온도 전자 장치, 그리고 RF (라디오 주파수) 및 MEMS 센서 분야에서.

4인치 6인치 8인치 SICOI 웨이퍼 4H-SiC 온 인슐레이터 100~150 mm sic 필름 ON 실리콘



기존의 SiC 웨이퍼와 비교하면, SICOI 웨이퍼는 방열층을 탑재함으로써 기생물 용량과 누출 전류를 현저히 감소시킵니다.따라서 장치의 작동 빈도와 에너지 효율을 향상시킵니다.이 기술은 특히 전기차, 5G 통신,항공우주전자.

4인치 6인치 8인치 SICOI 웨이퍼 4H-SiC 온 인슐레이터 100~150 mm sic 필름 ON 실리콘





시코이 웨이퍼의 주요 특징



특징 범주

특정 매개 변수/성능

기술적 이점

재료 구조


SiC 단일 결정층 (4H/6H-SiC) + 단열층 (SiO2/Si3N4) + 지원 기판 (Si/SiC)


전기 단열을 가능하게 하고 기생충의 영향을 줄여줍니다.


전기 성능


높은 분해장 강도 (>3 MV/cm), 낮은 다이렉트릭 손실


고 주파수 및 고 전압 장치에 이상적입니다.


열 성능


고열전도 (4,9W/cm·K), 고온 저항성 (>500°C)


고온 환경에 적합한 우수한 열 분산 능력


기계적 성능


높은 경직성 (Mohs 경직성 9.5), 낮은 열 확장 계수


기계적 스트레스에 저항하고 장치의 신뢰성을 향상시킵니다.


표면 품질


원자 평면 (Ra <0.2 nm)


부근성장 품질을 최적화하고 결함을 최소화합니다.


단열 성능


고 단열 저항 (> 1014 Ω·cm), 낮은 누출 전류


높은 고립이 필요한 RF 및 전력 장치에 적합합니다.


크기와 사용자 정의


커스터마이징 할 수있는 두께의 4/6/8 인치 웨이퍼를 지원합니다 (SiC 층: 1-100 μm, 단열층: 0.1-10 μm)


다양한 애플리케이션 요구 사항을 충족합니다.






시코이 웨이퍼 주요 응용 프로그램



적용 분야

특정 시나리오

주요 장점

고전력 전자기기


전기전기 인버터, 고속 충전소, 산업용 전원 모듈

고전압 저항과 낮은 손실은 에너지 효율을 향상시킵니다.

RF 장치


5G 기지국 전력 증폭기 (PA), 밀리미터파 RF 프론트엔드

낮은 기생물 용량은 최소한의 손실과 함께 높은 주파수 작동을 가능하게합니다.

MEMS 센서


고온 압력 센서, 관성 내비게이션 장치

높은 온도와 방사선에 견딜 수 있으며 혹독한 환경에 적합합니다.

항공우주


항공기 전력 시스템, 위성 통신 장비

높은 신뢰성 및 극한 온도 저항성

스마트 그리드


고전압 직류 (HVDC) 송전, 고전체 차단기

높은 단열 특성으로 에너지 손실이 감소

광전자


자외선 LED, 레이저 다이오드 기판

높은 격자 일치 장치 성능을 향상





4인치 6인치 8인치 SICOI 웨이퍼 4H-SiC 온 인슐레이터 100~150 mm sic 필름 ON 실리콘

4H-SiCOI의 제조 과정



4H-SiCOI의 제조 과정과 강조된 특징을 가진 마이크로 레소나터


  • 원시 4H-SiCOI 물질 플랫폼의 제조 과정
  • b 접착 및 희석 방법을 사용하여 제조 된 4 인치 웨이퍼 스케일의 4H-SiCOI 기판의 사진, 장애 영역이 표시됩니다.
  • c 4H-SiCOI 기판의 전체 두께 변동
  • d 4H-SiCOI 다이의 이미지.
  • e SiC 마이크로 디스크 공명기를 제조하는 흐름 다이어그램
  • f 제조된 마이크로 디스크 공명기의 스캔 전자 마이크로그래프 (SEM).
  • g 공명기의 측면벽의 확대 SEM 이미지. 삽입, 공명기의 상면의 원자 힘 마이크로그래프 (AFM) 스캔 (스케일 바 = 1 μm).
  • h 패러볼 모양의 상면이 있는 제조된 공명기의 옆면 SEM 이미지.




4인치 6인치 8인치 SICOI 웨이퍼 4H-SiC 온 인슐레이터 100~150 mm sic 필름 ON 실리콘





시코이 웨이퍼질문과 답변



1질문: 시콜 웨이퍼란 무엇인가요?
A: SICOI (Silicon Carbide on Insulator) wafer is an advanced semiconductor substrate combining SiC's high-performance properties with an insulating layer for enhanced electrical isolation in power and RF devices.



2질문: 시코이 웨이퍼의 장점은 무엇입니까?
A: SICOI 웨이퍼는 표준 SiC 웨이퍼에 비해 낮은 기생 용량, 더 높은 분해 전압 및 더 나은 열 관리를 제공합니다. 5G 및 EV 애플리케이션에 이상적입니다.





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