제품 상세정보
원래 장소: 중국
브랜드 이름: ZMSH
인증: rohs
모델 번호: 웨이퍼 정밀 박사 장비
지불 및 배송 조건
최소 주문 수량: 2
가격: by case
배달 시간: 5-10 개월
지불 조건: T/T
호환 웨이퍼 크기 :: |
4-12 인치 |
호환 재료 :: |
Si 웨이퍼, SiC 웨이퍼, siC 잉곳 |
축 방향 :: |
Z축 |
최소 해상도 :: |
0.1um/s |
주축:: |
수분 냉각 시스템 |
호환 웨이퍼 크기 :: |
4-12 인치 |
호환 재료 :: |
Si 웨이퍼, SiC 웨이퍼, siC 잉곳 |
축 방향 :: |
Z축 |
최소 해상도 :: |
0.1um/s |
주축:: |
수분 냉각 시스템 |
웨이퍼 희석 시스템 정밀 희석 장비 SiC Si 웨이퍼 호환 4 -12 인치 웨이퍼 용량
웨이퍼 희석 장비 기술 개요
웨이퍼 희석 장비는 실리콘 (Si), 실리콘 카바이드 (SiC), 갈륨 아르세나이드 (GaAs) 및 사피르 기판을 포함한 4-12 인치의 부서지기 쉬운 반도체 물질의 정밀 희석을 가능하게합니다.고도의 포장 및 전력 장치 제조의 엄격한 요구 사항을 충족시키기 위해 두께 제어 정확도 ±1μm 및 전체 두께 변동 (TTV) ≤2μm을 달성합니다.웨이퍼 희소화 장비 깎는 매개 변수와 닦는 프로세스의 최적화된 조화를 통해 장비는 다양한 재료 특성에 정확한 적응을 보장합니다.특히 SiC와 같은 넓은 대역 반도체의 희소화 문제를 해결하는 것웨이퍼 희석 장비는 최소 두께 오차와 낮은 표면 거칠성을 보장합니다.안정적이고 신뢰할 수있는 처리 성능을 유지하기 위해 자동화 된 실시간 두께 모니터링과 통합.
웨이퍼 희석 장비 사양
| 장비 모델 | 주요 이점 |
|---|---|
| 12인치 반자동 가늘게장비 |
- 불규칙 제품용 맞춤형 진공 턱 솔루션
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- 최대 40mm까지 확장 가능한 높이 측정 범위
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- 통합 프로세스 솔루션
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| 8인치 완전 자동 가늘게장비 |
- UPH는 수입 모델 (30pcs/h 표준 웨이퍼) 을 능가합니다.
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- 불규칙 제품 반자동 처리와 호환
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- 통합 프로세스 솔루션
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| 12인치 완전 자동 가늘게장비 |
- 완전 자동화 시스템 호환
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- 불규칙 하에 반자동 처리와 호환 제품
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- 통합 프로세스 솔루션
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장점:
·성숙하고 안정적인 처리 기술
·고 정밀 인 피드 스핀들 밀링 우수한 가공 정확성
·사용자 친화적인 조작과 에르고노믹 HMI (인간-기계 인터페이스)
·수입된 볼 스크루, 선형 가이드 및 고정도 서보 모터 (최저 해상도: 0.1μm/s) 를 통한 정밀 Z축 제어
·고강도 공기 베어링 스핀들, 초정밀 웨이퍼 턱 앙상블 및 두께 측정기와 결합하여 공정 안정성과 신뢰성을 보장합니다.
기능:
·작업 로그 기록
·4"-12" 웨이퍼 재료 호환성
·실시간 고정도 접촉 두께 측정
·스핀드 물 냉각 시스템
·완전 자동/반 자동 작동 모드
웨이퍼 희석 장비사진
신청서
· 실리콘 기반 전력 장치 제조: 웨이퍼 희석 장비는 DSC 및 다른 실리콘 전력 장치에 대한 웨이퍼 희석 프로세스를 가능하게합니다.
· 복합 반도체 장치 포장: 웨이퍼 희석 장비는 GaAs / GaN 기반 구성 요소를위한 기판 수준 희석을 지원합니다.
· 실리콘 카비드 장치 처리: 웨이퍼 희석 장비는 전력 모듈 요구 사항에 대한 SiC 잉글 / 웨이퍼의 정밀 희석을 제공합니다.
가공 효과웨이퍼 희석 장비
·SiC, GaN, 사피어, GaAs 및 InP 웨이퍼를 위한 고속 희석
·자동 전조 및 두께 측정
·고강도, 낮은 진동 스핀들, 최소 RPM 변동 (조정 가능한 크리프/빠른 공급 속도)
질문과 답변
1질문: 웨이퍼 희석 장비는 사용자 정의를 지원합니까?
A: 우리는 불규칙한 웨이퍼를 위한 전문 턱과 맞춤형 프로세스 레시피 개발을 포함하여 완전히 맞춤형 솔루션을 제공합니다.
2질문: 웨이퍼 희석 기계는 두께 제어 정확도를 얼마나 달성 할 수 있습니까?
A: 프리미엄 모델은 TTV≤1μm (레이저 간섭 측정 두께 모니터링 시스템) 와 함께 ±0.5μm 두께 균일성을 달성합니다.
태그: # 웨이퍼 희석 시스템, #SIC, #4/6/8/10/12 인치, # 정밀 희석 장비, # SiC 웨이퍼, # Si 웨이퍼, # 사피어 웨이퍼
화면
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