| 브랜드 이름: | ZMSH |
| 모델 번호: | 6H-P SiC |
| MOQ: | 10% |
| 가격: | by case |
| 배달 시간: | 30 일 만에 |
| 지불 조건: | T/T |
6H-SiC (Hexagonal Silicon Carbide) 는 열전도와 고온 저항성을 가진 넓은 반구 반도체 물질입니다.고전력 및 고주파 전자 장치에서 널리 사용됩니다.P형 도핑은 알루미늄 (Al) 과 같은 요소를 도입함으로써 달성되며, 이는 물질을 전자기성으로 만들고 특정 전자 장치 설계에 적합합니다. 대역 간격은 약 3.0 eV입니다.고온 및 고전압 환경에서 작동하기에 적합한. 열 전도성은 많은 전통적인 반도체 재료보다 우월하며 장치의 효율성을 향상시키는 데 도움이됩니다. 기계적 강도: 좋은 기계적 강도, 높은 전력 응용 프로그램에 적합.
전력 전자 분야에서는 MOSFET 및 IGBT와 같은 고효율 전력 장치를 제조하는 데 사용할 수 있습니다.고주파 애플리케이션에서 우수한 성능을 가지고 있으며 통신 장비에 널리 사용됩니다.LED 기술 분야에서, 그것은 파란색과 자외선 LED 장치의 기본 재료로 사용될 수 있습니다.
| 6인치 200mm N형 SiC 기판 사양 | ||||
| 재산 | P-MOS 등급 | P-SBD급 | D급 | |
| 크리스탈 사양 | ||||
| 크리스탈 형태 | 4H | |||
| 폴리 타입 영역 | 허용되지 않습니다. | 면적≤5% | ||
| (MPD) a | ≤0.2/cm2 | ≤0.5 /cm2 | ≤5 /cm2 | |
| 헥스 플릿 | 허용되지 않습니다. | 면적≤5% | ||
| 헥사고널 폴리 크리스탈 | 허용되지 않습니다. | |||
| 포함 a | 면적≤0.05% | 면적≤0.05% | 제1호 | |
| 저항성 | 0.015Ω•cm ∙0.025Ω•cm | 0.015Ω•cm ∙0.025Ω•cm | 0.014Ω•cm ∙0.028Ω•cm | |
| (EPD) a | ≤4000/cm2 | ≤8000/cm2 | 제1호 | |
| (TED) a | ≤3000/cm2 | ≤6000/cm2 | 제1호 | |
| (BPD) a | ≤1000/cm2 | ≤2000/cm2 | 제1호 | |
| (TSD) a | ≤600/cm2 | ≤1000/cm2 | 제1호 | |
| (충전 오류) | ≤0.5% 면적 | ≤ 1% 면적 | 제1호 | |
| 표면 금속 오염 | (Al, Cr, Fe, Ni, Cu, Zn, Pb, Na, K, Ti, Ca,V, Mn) ≤1E11cm-2 | |||
| 기계적 사양 | ||||
| 직경 | 150.0mm +0mm/-0.2mm | |||
| 표면 방향 | 원동자: 4° <11-20>±0.5° | |||
| 기본 평면 길이 | 47.5mm ± 1.5mm | |||
| 2차 평면 길이 | 부차 아파트 | |||
| 기본 평면 방향 | <11-20>±1° | |||
| 2차 평면 지향 | 제1호 | |||
| 정사각형 오진 방향 | ±5.0° | |||
| 표면 마감 | C-Face: 광학 롤러, Si-Face: CMP | |||
| 웨이퍼 엣지 | 비벨링 | |||
| 표면 거칠성 (10μm × 10μm) |
Si 얼굴 Ra≤0.20 nm; C 얼굴 Ra≤0.50 nm | |||
| 두께 a | 3500.0μm± 25.0μm | |||
| LTV ((10mm×10mm) a | ≤2μm | ≤3μm | ||
| (TTV) a | ≤6μm | ≤ 10μm | ||
| (BOW) a | ≤15μm | ≤ 25μm | ≤ 40μm | |
| (Warp) a | ≤ 25μm | ≤ 40μm | ≤ 60μm | |
| 표면 사양 | ||||
| 칩/인드 | 아무 것도 허용되지 않음 ≥0.5mm 너비와 깊이 | Qty.2 ≤1.0 mm 너비와 깊이 | ||
| 긁어 (Si Face,CS8520) |
≤5 및 누적 길이 ≤0.5 × 웨이퍼 지름 | ≤5 및 누적 길이 ≤1.5× 웨이퍼 지름 | ||
| TUA ((2mm*2mm) | ≥98% | ≥95% | 제1호 | |
| 균열 | 허용되지 않습니다. | |||
| 오염 | 허용되지 않습니다. | |||
| 가장자리 제외 | 3mm | |||
우리의 SiC 기판은 6H-P 유형에서 사용할 수 있으며 RoHS 인증을 받았습니다. 최소 주문 양은 10pc이며 가격은 경우에 따라입니다. 포장 세부 사항은 사용자 정의 플라스틱 상자입니다.배달 시간은 30 일 이내에이며 우리는 T / T 지불 조건을 받아들이고. 우리의 공급 능력은 1000pc / 월입니다. SiC 기판 크기는 지름 150mm 두께 350μm입니다. 원산지는 중국입니다.
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