제품 상세정보
원래 장소: 중국
브랜드 이름: zmkj
모델 번호: 고순도 무도핑 4h-semi
지불 및 배송 조건
최소 주문 수량: 10PCS
가격: 30USD/pcs
포장 세부 사항: 클래스 100 클린룸 환경에서 단일 웨이퍼 컨테이너의 카세트에 포장
배달 시간: 10-20일
지불 조건: 웨스턴 유니온, T/T
공급 능력: 5000개/달
소재: |
탄화규소 결정 |
크기: |
10x10mm |
적용: |
광학적입니다 |
저항률: |
>1E7 또는 0.015~0.28Ω.cm |
종류: |
4H-N 또는 4H-SEMI |
두께: |
0.5mm 또는 0.35mm |
표면: |
DSP |
배향: |
c축에서 0° 또는 4° 벗어남 |
소재: |
탄화규소 결정 |
크기: |
10x10mm |
적용: |
광학적입니다 |
저항률: |
>1E7 또는 0.015~0.28Ω.cm |
종류: |
4H-N 또는 4H-SEMI |
두께: |
0.5mm 또는 0.35mm |
표면: |
DSP |
배향: |
c축에서 0° 또는 4° 벗어남 |
고순도 HPSI 4H-SEMI 4H-N 10X10mm 5x5mm sic 웨이퍼 DSP
ZMSH는 SiC 웨이퍼와 Epitaxy를 제공합니다: SiC 웨이퍼는 우수한 성능을 가진 세 번째 세대의 넓은 대역 간격 반도체 재료입니다. 넓은 대역 간격, 높은 열 전도성,고분열 전기장, 높은 내재 온도, 방사능 저항성, 좋은 화학 안정성 및 높은 전자 포화 유동 속도. SiC 웨이퍼는 또한 항공, 철도 운송,태양광 발전, 전력 전송, 새로운 에너지 차량 및 기타 분야에 혁명적 변화를 가져올 것입니다.각 웨이퍼는 하나의 웨이퍼 컨테이너에 있습니다., 100개 이하의 깨끗한 교실
에피 준비된 SiC 웨이퍼는 N 타입 또는 반 단열이 있으며, 다양한 품질 등급의 4H 또는 6H 폴리 타입, 마이크로 파이프 밀도 (MPD): 자유, <5/cm2, <10/cm2, <30/cm2, <100/cm2,사용 가능한 크기는 2 ′′입니다.,3 ∙,4 ∙ 및 6 ∙ SiC 에피타시에 관해서는, 그 웨이퍼와 웨이퍼 두께 균일성: 2%, 웨이퍼와 웨이퍼 도핑 균일성: 4%, 사용 가능한 도핑 농도는 E15,E16,E18,E18/cm3에서,n 타입과 p 타입의 epi 층이 모두 사용 가능합니다., 에피 결함이 20/cm2 미만입니다. 모든 기판은 에피 성장을위한 생산 고도를 사용해야합니다. N형 에피 층 <20 미크론은 n형, E18 cm-3, 0.5 μm 버퍼 층이 선행됩니다.N형 에피층 ≥20 미크론은 n형에 앞서 있습니다., E18, 1-5 μm 버퍼층; Hg 프로브 CV를 사용하여 웨이퍼 전체 (17 점) 의 평균 값으로 N형 도핑을 결정합니다.두께는 FTIR를 사용하여 웨이퍼 전체의 평균 값 (9 점) 으로 결정됩니다..
2. 표준의 기판 크기
|
4인치 지름의 실리콘 탄화물 (SiC) 기판 사양 |
|||||||||
| 등급 | 0 MPD 등급 | 생산급 | 연구등급 | 덤비 등급 | |||||
| 직경 | 76.2mm±0.3mm 또는 100±0.5mm | ||||||||
| 두께 | 500±25um | ||||||||
| 웨이퍼 방향 | 0° 오프 (0001) 축 | ||||||||
| 마이크로 파이프 밀도 | ≤ 1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 | |||||
| 저항성 | 4H-N | 00.015~0.028 Ω•cm | |||||||
| 6H-N | 00.02~0.1 Ω•cm | ||||||||
| 4/6H-SI | ≥1E7 Ω·cm | ||||||||
| 기본 평면 및 길이 | {10-10}±5.0°,32.5mm±2.0mm | ||||||||
| 2차 평면 길이 | 180.0mm±2.0mm | ||||||||
| 2차 평면 지향 | 실리콘 위면: 90° CW. 프라임 평면에서 ±5.0° | ||||||||
| 가장자리 배제 | 3mm | ||||||||
| TTV/Bow/Warp | ≤15μm /≤25μm /≤40μm | ||||||||
| 경직성 | 폴란드 Ra≤1 nm,CMP Ra≤0.5 nm | ||||||||
| 고 강도 빛에 의한 균열 | 아무 것도 | 1 허용, ≤2mm | 누적 길이 ≤ 10mm, 단일 길이 ≤ 2mm | ||||||
| 고 강도 빛에 의해 헥스 판 | 누적 면적 ≤1% | 누적 면적 ≤1% | 누적 면적 ≤3% | ||||||
| 고 강도 빛에 의한 다형 영역 | 아무 것도 | 누적 면적 ≤2% | 누적 면적 ≤5% | ||||||
시크 웨이퍼 & 링고트 2-6인치 및 다른 사용자 정의 크기도 제공 할 수 있습니다.
3제품 디테일 표시
배달 및 패키지
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