레이저 마이크로 제트 (LMJ) 절단 장비
마이크로젯 레이저 시스템은 액체 제트의 유도 및 냉각 효과를 사용하여 고에너지 펄스 레이저와 마이크로 스케일 액체 제트 (일반적으로 비 이온화 물 또는 무활성 액체) 를 결합합니다.반도체 재료의 초정밀 가공을 가능하게 하는.
마이크로젯 레이저 기술은 높은 정밀도, 낮은 손상 및 높은 청결성으로 반도체 분야에서 전통적인 가공 및 드라이 레이저 프로세스를 대체하고 있습니다.특히 세 번째 세대의 반도체 (SiC/GaN) 에서, 3D 포장 및 초 얇은 웨이퍼 가공
마이크로젯 레이저 기술은 높은 정밀도, 낮은 손상 및 높은 청결성으로 반도체 분야에서 전통적인 가공 및 드라이 레이저 프로세스를 대체하고 있습니다.특히 세 번째 세대의 반도체 (SiC/GaN) 에서, 3D 포장 및 초 얇은 웨이퍼 가공
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