실리콘 카비드 (SiC) 직사각형 기판은 현대 전력 전자제품, 광전자 장치,그리고 고주파 애플리케이션. SiC는 뛰어난 열 전도성, 넓은 전자 대역 간격, 그리고 예외적인 기계적 강성으로 인정되어 극한 환경에서의 사용에 이상적입니다.높은 온도이 SiC 기체는 일반적으로 R&D 연구소, 프로토타입 개발 및 전문 장치 제조에서 사용됩니다.
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실리콘 카비드 (SiC) 기판 칩 제조 과정
실리콘 카비드 (SiC) 기판의 생산은 물리적 증기 운송 (PVT) 또는 수비메이션과 같은 고급 결정 성장 기술을 포함합니다. 프로세스는 다음을 포함합니다.
원자재 제조:초순한 SiC 분말은 고밀도 그래피트 용기에 넣어서 수브리메이션을 합니다.
크리스탈 성장:2,000°C 이상의 온도에서 SiC 물질은 씨앗 결정에 수글메이트되고 재탄소하여 큰 단일 결정 SiC 볼을 형성합니다.
인고트 절단:다이아몬드 와이어 톱은 볼을 얇은 웨이퍼 또는 직사각형 모양의 칩으로 썰기 위해 사용됩니다.
랩링 및 밀링:표면 평형화는 균일한 두께를 보장하고 슬라이싱 마크를 제거합니다.
화학 기계 닦기 (CMP):기판은 거울처럼 부드러운 완성도로 닦아지며, 대각층 퇴적에 적합합니다.
선택적인 도핑:N형 또는 P형 도핑은 응용 필요에 따라 전기적 특성을 조정 할 수 있습니다.
품질 보장:평면성, 결함 밀도, 두께에 대한 엄격한 테스트는 반도체 표준에 부합하는 것을 보장합니다.
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실리콘 카비드 (SiC) 의 물질 특성
SiC는 주로 4H-SiC 및 6H-SiC 결정 구조로 제공됩니다. 각각은 특정 응용 프로그램에 최적화되었습니다.
4H-SiC:더 높은 전자 이동성을 제공하며 MOSFET 및 Schottky 다이오드와 같은 고전압 전력 전자 장치에 이상적입니다.
6H-SiC:RF 및 마이크로 웨브 애플리케이션에 이상적입니다. 고 주파수 작업에서 낮은 전력 손실을 제공합니다.
SiC 기판의 주요 장점은 다음과 같습니다.
광대역간격:약 3.2~3.3 eV, 전력 장치에서 높은 고장 전압과 효율을 제공합니다.
열전도성:3.0 ⋅4.9 W/cm·K, 전력 응용 프로그램에서 우수한 열 방출을 보장합니다.
기계적 강도:모스 경도는 9입니다.2, SiC를 마모에 매우 저항력있게 만듭니다.
실리콘 탄화물 (SiC) 직사각형 기판 칩의 응용
전력 전자:전기 차량의 파워트레인, 에너지 저장 시스템 및 전력 변환에 사용되는 MOSFET, IGBT 및 Schottky 다이오드에 이상적입니다.
고주파 및 RF 장치:레이더 시스템, 위성 통신, 5G 기지국 등에 적합합니다.
광전자:우수한 UV 투명성으로 인해 UV LED, 레이저 다이오드 및 광 탐지기에 적합합니다.
항공우주 및 국방:방사능과 고온 환경에서 작동할 수 있습니다.
학술 및 산업 연구:새로운 재료, 프로토타입, 기기 개발에 탁월합니다.
기술 사양:
| 재산 | 가치 |
|---|---|
| 크기 | 사용자 정의 직사각형 크기 사용 가능 |
| 두께 | 330~500μm (개인 조정 가능) |
| 다형 | 4H-SiC 또는 6H-SiC |
| 방향성 | C 평면, 축 밖 (0°/4°) |
| 표면 마감 | 일면/동면으로 닦은, 에피 준비 |
| 도핑 선택 | N형, P형 |
| 품질 등급 | 연구용 또는 장비용 |
사용자 정의 옵션:
사용자 정의 크기:맞춤형 직사각형 형식을 포함하여 다양한 크기와 모양으로 제공됩니다.
도핑 프로파일:N형 또는 P형 도핑은 맞춤형 전기 성능을 위해 사용할 수 있습니다.
표면 처리:단면 또는 쌍면 닦기, 그리고 맞춤형 부피층.
포장 및 배달:
포장:안전한 배송을 보장하기 위한 맞춤형 포장 솔루션
배달 시간:보통 주문 확인 후 30일 이내에
FAQ?? 실리콘 탄화물 (SiC) 직사각형 기판 칩
Q1: 왜 전통적인 실리콘보다 SiC 기판을 선택합니까?
SiC는 실리콘에 비해 뛰어난 열 성능, 더 높은 붕괴 강도 및 현저하게 낮은 전환 손실을 제공하며 고효율, 고전력 애플리케이션에 이상적입니다.
Q2: 이 기판은 대피층으로 제공 될 수 있습니까?
예, 우리는 고전력, RF, 또는 광전자 장치 애플리케이션을 위해 에피 준비 및 사용자 정의 에피택시 옵션을 제공합니다.
Q3: 크기와 도핑을 사용자 정의 할 수 있습니까?
물론, 맞춤형 크기와 도핑 프로파일, 그리고 표면 처리도 있습니다.
Q4: 극한 조건에서 SiC 기판은 어떻게 작동합니까?
SiC 기판은 600°C 이상의 온도에서 구조적 무결성과 전기적 안정성을 유지하여 항공, 방위,및 고전력 산업용.
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