LED, 광학 및 반도체 응용 분야를 위한 단결정 사파이어 기판 (2", 3", 4", 6")
ZMSH는 99.99% 순수 Al₂O₃(산화 알루미늄)로 제조된 2인치, 3인치, 4인치 및 6인치 직경의 고품질 단결정 사파이어 기판을 제공하며, 첨단 결정 성장 및 연마 기술을 사용합니다.
이 사파이어 웨이퍼는 우수한 경도, 화학적 안정성, 열 전도성 및 광학적 투명성을 특징으로 하여 LED, GaN 에피택시, 광학 창, 반도체 박막 및 마이크로 전자 장치에 선호되는 재료입니다.
ZMSH 사파이어 기판은 단면 연마(SSP) 및 양면 연마(DSP) 형태로 제공되며, 표면 거칠기는 Ra ≤ 0.3 nm, 총 두께 변화(TTV)는 3 μm 미만입니다. 각 웨이퍼는 고객 요구 사항에 따라 A-면, C-면, M-면 또는 R-면 방향으로 정밀하게 절단되어 고수율 에피택셜 성장 및 우수한 장치 성능을 위한 최적의 격자 정합을 보장합니다.
고순도 재료:>99.99% 단결정 Al₂O₃로 결함 및 불순물이 적습니다.
우수한 표면 품질: 스크래치/디그 20/10, Ra ≤ 0.3 nm, 에피택셜 증착에 이상적입니다.
치수 정확도: 직경 및 두께의 엄격한 공차; 맞춤형 크기.
열 및 화학적 안정성: 최대 2000°C까지 견디며 산 및 알칼리에 강합니다.
광학적 투명성: UV에서 IR(190 nm~5 μm)까지 넓은 투과 범위.
맞춤형 옵션: 2", 3", 4", 6" 크기 및 맞춤형 두께 또는 방향으로 제공됩니다.
LED 및 광전자: 고휘도 LED 및 LD용 GaN, AlN 및 InGaN 에피택셜 성장.
반도체: 박막 장치, IC 및 MEMS 구성 요소.
광학 시스템: 내구성과 선명도가 필요한 창, 렌즈 및 레이저 구성 요소.
항공 우주 및 방위: 적외선 센서 및 고온 광학 창.
연구 개발: 광학 코팅, 에피택시 시험 및 첨단 재료 연구.
| 속성 | 2인치 | 3인치 | 4인치 | 6인치 |
|---|---|---|---|---|
| 직경 | 50.8 ± 0.1 mm | 76.2 ± 0.1 mm | 100 ± 0.1 mm | 150 ± 0.1 mm |
| 두께 | 430 ± 25 μm 또는 맞춤형 | 430 ± 25 μm 또는 맞춤형 | 650 ± 25 μm 또는 맞춤형 | 1300 ± 25 μm 또는 맞춤형 |
| 거칠기(Ra) | ≤ 0.3 nm | ≤ 0.3 nm | ≤ 0.3 nm | ≤ 0.3 nm |
| 와프 | ≤ 10 μm | ≤ 10 μm | ≤ 10 μm | ≤ 10 μm |
| TTV | ≤ 3 μm | ≤ 3 μm | ≤ 3 μm | ≤ 3 μm |
| 스크래치/디그 | 20/10 | 20/10 | 20/10 | 20/10 |
| 연마 | DSP / SSP | DSP / SSP | DSP / SSP | DSP / SSP |
| 모양 | 원형, 평면 | 원형, 평면 | 원형, 평면 | 원형, 평면 |
| 가장자리 형태 | 45°, C 모양 | 45°, C 모양 | 45°, C 모양 | 45°, C 모양 |
| 재료 | 사파이어 결정 | 사파이어 결정 | 사파이어 결정 | 사파이어 결정 |
1. 사파이어 기판이란 무엇입니까?
사파이어 기판은 LED, 레이저 다이오드 및 반도체 장치에서 에피택셜 성장을 위한 기본 재료로 사용되는 산화 알루미늄(Al₂O₃)으로 만들어진 단결정 웨이퍼입니다.
2. 어떤 결정 방향을 사용할 수 있습니까?
ZMSH는 GaN 또는 AlN과 같은 특정 재료에 필요한 격자 정합에 따라 C-면(0001), A-면(11-20), R-면(1-102) 및 M-면(10-10) 방향을 제공합니다.
3. 어떤 연마 옵션을 제공합니까?
단면 연마(SSP) 및 양면 연마(DSP) 기판을 제공합니다. 각 표면은 초평탄하고 결함이 없는 표면을 보장하기 위해 정밀 래핑 및 화학 기계적 연마를 거칩니다.
4. 맞춤형 크기 또는 두께를 요청할 수 있습니까?
예. ZMSH는 기술 도면 또는 응용 요구 사항에 따라 직경, 두께, 방향 및 가장자리 모양을 완벽하게 맞춤 설정할 수 있습니다.