양면 연마 사파이어 기판 (DSP)은 고순도 (>99.99%) 단결정 산화 알루미늄 (Al₂O₃)으로 제작되었습니다. 양면 모두 원자 수준의 매끄러움(Ra < 0.3 nm)으로 정밀 연마되어 우수한 광학 투과성, 기계적 강도 및 열적 안정성을 제공합니다. 광학 창, 레이저 부품, 반도체 에피택시 및 과학 연구 응용 분야에 널리 사용됩니다.
| 매개변수 | 사양 |
|---|---|
| 재료 | 고순도 >99.99%, 단결정 Al₂O₃ |
| 치수 | 10 × 10 mm |
| 두께 | 1 mm (요청 시 다른 두께 가능) |
| 방향 | C-면 (0001) ~ M (1-100) 0.2° ± 0.1° 오프 |
| 격자 상수 | a = 4.785 Å, c = 12.991 Å |
| 밀도 | 3.98 g/cm³ |
| 열팽창 계수 | 6.66×10⁻⁶ /°C (||C-축), 5×10⁻⁶ /°C (⊥C-축) |
| 유전 강도 | 4.8×10⁵ V/cm |
| 유전율 | 11.5 (||C-축), 9.3 (⊥C-축) @ 1 MHz |
| 유전 손실 탄젠트 | < 1×10⁻⁴ |
| 열전도율 | 20°C에서 40 W/(m·K) |
| 표면 품질 | 양면 연마 (DSP), Ra < 0.3 nm (AFM) 양면 |
| 평탄도 | ≤ λ/10 @ 633 nm (일반) |
| 평행도 | < 10 arc sec |
우수한 평탄도와 평행도를 위한 양면 광학 연마
UV에서 IR 영역까지의 높은 투과성
뛰어난 경도 (Mohs 9) 및 스크래치 저항
뛰어난 열적 및 화학적 안정성
우수한 유전 및 절연 성능
요청 시 맞춤형 크기 및 방향 가능
광학 창 및 보호 덮개
적외선 및 UV 분광법
레이저 광학 및 광자 부품
GaN/AlN 에피택셜 성장 기판
고출력 및 RF 전자 장치
연구실 및 반도체 테스트