사각 사파이어 기판 (SSP)은 고순도 (>99.99%) 단결정 Al₂O₃로 제작되어 우수한 기계적 강도, 열적 안정성 및 광학적 투명성을 제공합니다. C-plane (0001) 방향과 단면 연마 (SSP) 표면을 갖추고 있어 에피택셜 성장, GaN 기반 LED 생산, 광학 부품 및 고온 또는 진공 응용 분야에 이상적입니다.
| 매개변수 | 사양 |
|---|---|
| 재료 | 고순도 >99.99%, 단결정 Al₂O₃ |
| 치수 | 10 × 10 mm |
| 두께 | 1 mm (요청 시 다른 두께 가능) |
| 방향 | C-plane (0001)에서 M (1-100)으로 0.2° ± 0.1° 오프 |
| 격자 상수 | a = 4.785 Å, c = 12.991 Å |
| 밀도 | 3.98 g/cm³ |
| 열팽창 계수 | 6.66×10⁻⁶ /°C (||C-축), 5×10⁻⁶ /°C (⊥C-축) |
| 유전 강도 | 4.8×10⁵ V/cm |
| 유전율 | 11.5 (||C-축), 9.3 (⊥C-축) @ 1 MHz |
| 유전 손실 탄젠트 | < 1×10⁻⁴ |
| 열전도율 | 20°C에서 40 W/(m·K) |
| 연마 | 단면 연마 (SSP), Ra< 0.3 nm (AFM); 뒷면 미세 연마 Ra = 0.8–1.2 μm |
뛰어난 화학적 및 열적 안정성
높은 광학적 투명도 및 표면 평탄도
낮은 유전 손실 및 높은 열전도율
우수한 기계적 경도 및 스크래치 저항성
맞춤형 크기, 방향 및 두께로 제공
GaN 및 AlN 에피택셜 성장
LED 및 레이저 다이오드 제조
광학 및 적외선 창
고출력 RF 및 마이크로파 장치
연구 및 반도체 테스트