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| 브랜드 이름: | ZMSH |
고순도 반절연(HPSI) 탄화규소 웨이퍼는 고주파, 고전력 및 고온 작동 환경을 위해 설계된 고급 반도체 기판 재료를 나타냅니다. 2인치~8인치 직경 구성으로 제조된 이 기판은 프라임 등급(생산용), 더미 등급(프로세스 검증용), 연구 등급(실험용) 등 다양한 품질 등급으로 제공되어 산업 제조 및 과학 연구 전반의 다양한 요구 사항을 충족합니다.
| 매개변수 | 사양 |
|---|---|
| 크리스탈 종류 | 4H-반절연 |
| 전기 저항력 | >10^5Ω·cm |
| 표준두께 | 500±25μm |
| 결정학적 방향 | <0001> ± 0.25° |
| 두께 변화(TTV) | ≤ 5μm |
| 표면 활 | -25~+25μm |
| 웨이퍼 워프 | ≤ 35μm |
| 표면 거칠기(Si-면) | Ra ≤ 0.2nm |
이 소재는 전기 저항이 매우 높아 고주파 및 고전압 애플리케이션에서 기생 전류 누출을 효과적으로 최소화합니다.
예. Prime 및 Research Grade 제품의 도핑 농도, 치수 매개변수, 표면 특성을 포함한 맞춤형 사양을 지원합니다.
Prime Grade 웨이퍼는 능동 장치 제조에 적합한 최소 결함 밀도를 특징으로 하며, Dummy Grade는 공정 테스트 및 장비 교정을 위한 경제적인 솔루션을 제공합니다.
각 웨이퍼는 운송 중 표면 무결성을 보장하기 위해 클린룸 호환 재료를 사용하여 개별 진공 밀봉을 거칩니다.
표준 사양 주문은 일반적으로 2~4주 이내에 배송되는 반면, 맞춤형 요구 사항은 일반적으로 이행하는 데 4~6주가 소요됩니다.
절단부터 최종 세척 및 포장까지 완전한 생산 체인을 제공합니다.
직경 4인치~12인치의 웨이퍼를 재생하는 기능.
단결정 전자재료 웨이퍼링 및 재생 20년 경험
ZMSH 기술은 고객에게 수입 및 국내 고품질 전도성, 2~6인치 반절연 및 HPSI(고순도 반절연) SiC 기판을 일괄 제공할 수 있습니다. 또한 고객에게 동종 및 이종 탄화규소 에피텍셜 시트를 제공할 수 있으며 최소 주문 수량 없이 고객의 특정 요구에 따라 맞춤화할 수도 있습니다.
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