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| 브랜드 이름: | ZMSH |
| 모델 번호: | SIC 미러 |
| MOQ: | 25 |
| 가격: | by case |
| 배달 시간: | 2-4 주 |
| 지불 조건: | t/t |
MEMS 미크로 미러를 위한 쌍면으로 닦은 고순도 SiC 미러 광 부품
A Small-Size Double-Side Polished Silicon Carbide (SiC) Mirror is a high-performance optical component manufactured from ultra-high-purity silicon carbide (SiC) ceramic through precision machining and double-side polishing (DSP) technology그것의 핵심 특징은 컴팩트 한 차원 (일반적으로 지름 또는 측면 길이가 ≤ 50mm) 과 양쪽의 나노 스케일 표면 완화,크기에 대한 극단적인 요구 사항이있는 현대 고급 광전자 시스템에 특별히 설계되었습니다., 무게, 안정성, 광학 정밀성. 실리콘 카바이드의 고유 속성을 활용하는특유의 화학적 안정성 (exceptional chemical stability), 화학 증기 퇴적 (CVD) 또는 압력 없는 합금. 이중 측면 초정밀 닦기 (표면 거칠성 Ra 일반적으로 ≤0.5 nm) 는 많은 컴팩트 정밀 광 장치의 핵심 부품으로 기능 할 수 있습니다..
1- 초연량 & 소형화:
2우수한 안정성 및 환경 저항성:
3열관리 우수함:
4최고 수준의 광 표면 품질:
5뛰어난 내구성 및 화학적 무력성:
작은 크기의 양면 닦은 SiC 거울은 독특한 장점으로 인해 다음과 같은 고급 분야에서 비판적으로 사용됩니다.- 네
AR/MR 안경 광 시스템:
광 경로를 안내하고 표시하기 위한 분사 파도 안내 렌즈, 프리즘 또는 반사체로서. 그들의 높은 굴절 지수 (~2.65), 가벼운,그리고 작은 크기는 얇은 안경 디자인을 달성하는 열쇠입니다, 넓은 시야장 (FOV), 그리고 무지개 패턴을 제거합니다.
리토그래피 기계의 조명 시스템이나 웨이퍼 검사 장비의 센서에서 반사 또는 렌즈 기판으로.그들의 높은 열 안정성과 평면성은 나노 스케일 덮개 정확성과 검사 정확성을 유지하는 데 중요합니다..
레이저 갈바노미터, 레이저 인터페로미터, 또는 고전력 레이저의 반사자/창상 거울로 사용됩니다. 높은 손상 문턱, 높은 열 전도성,그리고 안정성은 레이저 빔의 정밀한 방향과 장기적인 안정적인 시스템 운영을 보장합니다..
MEMS 미크로 미러 또는 마이크로 광학 장치의 기판 재료로, LiDAR, 프로젝터 등에 적용되며, 고주파 반응에 대한 엄격한 요구 사항을 충족합니다.높은 안정성그리고 소형화
| - 네파라미터 카테고리 | 파라미터 이름 | 전형적 값/범위 |
| 물질 특성 | 원자재 | 초고정도의 SiC |
| 밀도 | ~3.0 ~ 3.2g/cm3 | |
| 탄력 모듈 | > 400 GPa | |
| 열 팽창 계수 | ~4.5×10−6/°C | |
| 열전도성 | ~ 120 ∼ 200 W/m·K | |
| 모스 강도 | 9.5 | |
| 광학 및 표면 특성 | 표면 거칠성 (Ra, DSP) | ≤ 0.5 nm |
| 표면 도형 정확도 (PV/RMS) | λ/10 @ 632.8nm 이상 | |
| 차원 특성 | 일반 크기 범위 | 직경 또는 측면 길이 20~50mm |
| 기능적 특성 | 작동 온도 | -50°C ~ 500°C (또는 더 높습니다. 공정에 따라) |
2. SiC 세라믹 진공 턱 플립 칩 결합 거울 닦기 높은 딱딱함
1Q: SiC 거울은 광학에서 어떻게 작동합니까?
A: SiC 거울은 실리콘 카바이드의 극히 낮은 열 확장 계수 (~ 4.5×10−6/°C), 높은 열전도 (~ 120~200 W/m·K) 를 활용하여 작동합니다.고직성 (>400 GPa) 으로 인해 극한 온도와 기계적 스트레스로 나노 스케일 표면 안정성을 유지합니다.우주 망원경이나 EUV 리토그래피 장비와 같은 고정도 광학 시스템에서 최소한의 왜곡을 보장합니다.
2. Q: 어떻게 심한 환경에서 실리콘 카바이드 (SiC) 거울을 수행합니까?
A: 실리콘 카바이드 (SiC) 거울은 극한 환경에서는 극히 낮은 열 확장 계수와 뛰어난 열 안정성으로 우수합니다.우주용, 그들은 -60 °C에서 180 °C까지 온도 범위에서 안정적으로 작동합니다.SiC 거울은 최소한의 표면 변형을 유지합니다.또한, 그 높은 경직성 (Mohs 경직성 9.5) 과 우수한 화학적 무력성 은 산소 또는 알칼리로부터의 진동, 충격 및 부패에 효과적인 저항을 가능하게 한다.어려운 조건에서 장기적인 안정성을 보장하는 것.
태그: # SiC 미러, # 커스터마이징, # 듀얼 사이드 폴리, # 고순도, # 광학 부품, # 부패 저항성, # 고온 등급, # MEMS 미크로 미러
