수평 웨이퍼 운반 상자 8 "12" 안전 운송기 RoHS

수평 웨이퍼 운반기 반도체 제조용 정밀 처리

 
의수평 웨이퍼 운반기반도체 제조에 중요한 혁신을 나타냅니다.섬세한 웨이퍼를 안전하게 운반하고 보관(150mm ~ 450mm) 는 제조 과정에서청정실 호환성그리고프로세스 안정성, 이 운반자는 사용첨단 재료 및 정밀 공학입자 발생을 최소화하면서 퇴적, 발열 및 검사 장비의 웨이퍼 처리량을 극대화합니다.
 
전통적인 수직 운반기와 달리 수평 설계는 다음을 제공합니다.
 

• 상부 및 하부 덮개 내부 고리 디자인- 바위 접촉을 방지하면서 웨이퍼 옆 이동을 최소화하여 스크래치 없는 조작을 보장합니다.

• 손잡이 가 있는 강화 된 하부 안쪽 반지충격 저항을 향상시키고 자동화 된 장비 인터페이스와 호환성을 제공합니다.

• 4-포인트 잠금 시스템 및 충격 저항 외곽 반지구조적 견고성으로 운송 중 웨이퍼를 보호합니다.

• 표면 표기판물류 과정에서 HDPE 포장 봉지의 찢어지는 것을 방지합니다.

주요 특징수평 웨이퍼 운반 상자

1정밀 웨이퍼 안정화 시스템

이중 덮개 내부 고리 기술:

• 상단 반지: PVD 세라믹 코팅으로 정밀 가공된 알루미늄 합금

  • 12점 웨이퍼 접촉 시스템 0.05mm 허용도

  • 실시간 웨이퍼 스트레스 모니터링을 위한 통합된 스트레스 측정기 (선택)

• 하부 반지: 탄소섬유로 강화된 복합재

  • 조절이 가능한 딱딱함 (5-15N/mm) 을 가진 3 영역 펌핑 손가락

  • -40°C에서 200°C까지 작동하는 자동 열 보상

성능 데이터:

• 웨이퍼 이동 <0.1mm 가속 2.5m/s2

• 가장자리의 배제 구역은 0.5mm로 줄여집니다 (일반적인 2mm에서)

• 1백만 회전 테스트에서 0%의 웨이퍼 파열

2첨단 충격 및 진동 보호

다층 보호 아키텍처

1. 1차 흡수: 휘슬러스틱 폴리머 완화제 (15G 등급)

2. 2차 버퍼: 기판에 있는 티타늄 스프링 시스템

3. 제3차 보호: 충격 저항성 폴리카보네트 버퍼 구역

진동 성능:

• 이전 세대보다 5배 더 나은 진동 격리 (100Hz에서 0.01g 전송)

• AMHS 운송 중에 <0.2μm TIR (Total Indicated Runout) 를 유지합니다.

3산업 4.0 준비

스마트 기능:

• 통합된 IoT 센서 (온도, 습도, 진동)

• 연속 센서 작동을 위한 무선 충전

• 공장 MES 통합을 통한 예측 유지보수 경고

자동화 인터페이스:

• 표준 E84/E87 로봇 끝효율기 호환성

• 도구 없는 빠른 풀기 메커니즘 (<30초 잠금 교체)

• ±0.1mm의 반복성을 가진 자동 정렬 가이드

4청정실 최적화 설계

입자 제어:

• 모든 움직이는 부품에는 95% 이상의 캡처 효율을 가진 입자 함정이 있습니다.

• 세라믹 코팅 슬라이딩 표면 (<0.01 입자/cm3 생성)

• 질소 청소를 위한 주기적인 정화 포트

안전 개선:

• 표면 아래 0.3mm에 레이저로 새겨진 표시

• 모든 날카로운 가장자리는 반지름이 0.5mm 이상

• 반 정적 물질 (106-109 Ω/sq 표면 저항)

- 네

수평 웨이퍼 운반 상자의 적용

1프론트엔드 반도체 처리

• 얇은 필름 퇴적(CVD, PVD, ALD)

• 플라즈마 에칭/아싱

• 이온 이식

2측정 및 검사

• EUV 리토그래피 마스크 운송

• 웨이퍼 검사 도구

• 엑스선 분사 분석

3첨단 포장

• 2.5D/3D IC 집합

• 웨이퍼 레벨 포장 (WLP)

• TSV (Through-Silicon Via) 프로세스

4연구 개발

• 파일럿 라인 웨이퍼 처리

• 새로운 재료 개발

• 프로세스 자격

기술 사양

질문 및 답변

Q1: 왜 수직 운반기보다 수평 운반기를 선택합니까?
A1: 수평 방향웨이퍼 굴곡을 60% 감소시킵니다.(SEMI E158-1119에 따라), <5nm 노드 처리에 중요합니다.
 
Q2: 웨이퍼가 달라붙는 것을 어떻게 방지합니까?
A2: 우리의나노 패턴의 주머니 표면표준 디자인에 비해 85%의 접촉 면적을 줄입니다.
 
Q3: 유지보수 스케줄은 어떤가요?
A3:501000 회로패드 교체 전에 200k 사이클마다 완전히 갱신합니다.
 
Q4: 웨이퍼 파열을 어떻게 처리합니까?
A4:분쇄된 웨이퍼 용기주머니는 교차 오염을 방지합니다.
 
Q5: 진공 챔버에서 운반기를 사용할 수 있습니까?
A5: 예 - 특별배출가스 최적화사용 가능한 버전 (<10−6 Torr·L/sec).