제품 상세정보
Place of Origin: CHINA
브랜드 이름: ZMSH
인증: rohs
Model Number: LNOI Wafers
지불 및 배송 조건
가격: by case
Delivery Time: 2-4weeks
Payment Terms: T/T
Materials:: |
Lithium Niobate Single Crystal |
Size:: |
3 Inch 4 Inch 6 Inch 8 Inch |
Thickness:: |
300-1000nm |
Orientation:: |
X-axis cut, Y-axis cut, Z-axis cut |
Density:: |
D=4.64（g/cm3） |
Application: |
High-speed optical communication, quantum optics |
Materials:: |
Lithium Niobate Single Crystal |
Size:: |
3 Inch 4 Inch 6 Inch 8 Inch |
Thickness:: |
300-1000nm |
Orientation:: |
X-axis cut, Y-axis cut, Z-axis cut |
Density:: |
D=4.64（g/cm3） |
Application: |
High-speed optical communication, quantum optics |
LNOI (Lithium Niobate on Insulator) 웨이퍼는 첨단 웨이퍼 결합 기술 (예를 들어, Smart CutTM 또는 직접 결합) 을 통해 제조된 고성능 통합 광학 기판을 나타냅니다.단 결정 LiNbO3 얇은 필름 (100nm-1μm 두께) 을 단열 기판 (SiO2/Si 또는 사파이르 등) 에 통합하는 것. ZMSH는 4인치, 6인치 및 맞춤형 크기의 LNOI 웨이퍼를 제공하여 여러 결정 지향 (X-컷, Y-컷, Z-컷) 을 지원하며, 사용자 정의 가능한 필름 도핑 (예를 들어,광적 손상 문턱을 향상시키기 위해 MgO 도핑) 및 묻힌 산화물 층 두께 (100nm-2μm)기판 옵션은 다양한 광 전자 통합 요구를 충족시키기 위해 실리콘, 쿼츠 또는 실리콘 탄화물을 포함합니다. ZMSH는 설계에서 대량 생산에 이르기까지 포괄적인 기술 지원을 제공합니다.필름 최적화 포함, 웨이브게이드 에칭 및 장치 수준의 테스트 서비스를 제공하여 고속 광 통신 및 양자 컴퓨팅의 최첨단 응용 프로그램을 가능하게합니다.
| S.N. | 매개 변수 | 사양 |
| 1 | LNOI 웨이퍼 일반 사양 | |
| 1.1 | 구조 | LiNbO3 / 산화물 / Si |
| 1.2 | 직경 | Φ100 ± 0.2mm |
| 1.3 | 두께 | 525 ± 25μm |
| 1.4 | 기본 평면 길이 | 32.5 ± 2mm |
| 1.5 | 웨이퍼 비벨링 | R 타입 |
| 1.6 | LTV | <1.5μm (5×5 mm2) / 95% |
| 1.7 | 굴복 | +/-50μm |
| 1.8 | 워프 | <50μm |
| 1.9 | 가장자리 정비 | 2 ± 0.5mm |
| 2 | 리?? 니오바트 층 사양 | |
| 2.1 | 평균 두께 | 400 nm ± 10 nm |
| 2.2 | 방향성 | X축 ±0.5° |
| 2.3 | 기본 평면 방향 | Z축 ±1° |
| 2.4 | 앞면 부러움 (Ra) | < 1 nm |
| 2.5 | 채권 결함 | >1mm 누적 80분당 ≤1mm |
| 2.6 | 앞면 경사 | >1cm 누적 ≤3cm 내의 ≤1cm |
| 3 | 산화물 (SiO2) 층 사양 | |
| 3.1 | 두께 | 4700 ± 150 nm |
| 3.2 | 통일성 | ± 5% |
| 4 | Si 계층 사양 | |
| 4.1 | 소재 | 네 |
| 4.2 | 방향성 | <100> ±1° |
| 4.3 | 기본 평면 방향 | <110> ±1° |
| 4.4 | 저항성 | > 10 kΩ·cm |
| 4.5 | 뒷면 | 새겨진 |
| 참고:시용/최근 OEM의 허가 필요 | ||
(1) 극저 광적 손실: 파도 선도 전파 손실 <0.05 dB/cm (1550nm 대역), 기존 대량 LiNbO3 장치보다 10배 낮습니다.
(2) 강한 전기 광학 효과: 효과적 전기 광학 계수 (r33) 최대 90 pm/V (광장 격리 통한 3배 증강), 극저전압 변조 (Vπ~1V) 를 가능하게 한다.
(3) 높은 통합 밀도: 미크론 이하의 파도 유도 (폭 <1μm) 를 지원하며 대량 LiNbO3에 비해 장치 발자국을 100배 감소시킵니다.
(4) CMOS 호환성: 다기능 광학 칩을 위한 실리콘 광학 (SiPh) 및 실리콘 나이트라이드 (SiN) 플랫폼과 이질적인 통합을 가능하게 한다.
(5) 열 안정성: 큐리 온도는 1140°C까지, 고온 포장 과정에 적합합니다.
1초고속 광 통신: LNOI의 강력한 전기 광학 효과는 얇은 필름 LiNbO3 모듈러 (역폭> 100GHz) 와 같은 200Gbps+의 일관성 광학 모듈에 이상적입니다.
2양자 광학: 저손실 특성은 확장 가능한 양자 컴퓨팅 네트워크를 위해 얽힌 광자 쌍 생성 및 양자 상태 조작을 지원합니다.
3마이크로파 광학: 피에조 일렉트릭 효과와 결합하여 광학 단계 배열 및 마이크로 웨브 광학 필터 (5G / 6G mmWave 대역을 포함하는) 를 가능하게합니다.
4비선형 광학: 높은 비선형 계수 (χ(2)) 는 주파수 빗자루와 파라미터 증폭 장치에 적합합니다.
5센싱 애플리케이션: 고 민감성 생화학적 센서 (예를 들어 실리콘 기반의 LNOI 마이크로 링 rezonator) 에서 사용된다.
통합 광학 기판 공급 업체로서 ZMSH는 맞춤형 얇은 필름 설계 (예를 들어,그라디언트 도핑된 LiNbO3), 웨이퍼 레벨 결합 프로세스 개발 (SiO2, AlN 및 다른 단열 층을 지원), 나노 제조 (EBL 및 IBE) 및 장치 레벨 성능 검증 (예를 들어,전기 광 반응 테스트 및 THz 특성화)ZMSH는 6인치 LNOI 웨이퍼의 소량 생산을 달성했으며 > 90%의 생산량을 얻었습니다.그리고 8인치 LNOI와 이질적인 통합 기술을 개발하기 위해 세계 연구 기관과 협력하고 있습니다.미래 R&D는 삽입 손실을 줄이는 데 중점을 둔다 (목적 <0.02 dB/cm) 를 높이고 800G 광통신 및 양자 인터넷에 대한 요구를 충족시키기 위해 변조 효율을 향상 (r33 최적화 120 pm/V).
1질문: 리?? 니오바이트는 무엇을 위해 사용됩니까?
A: 리?? 니오바트 (LiNbO3) 는 광학 통신 (예를 들어, 모듈레이터, 파도 안내기), 표면 음향파 장치, 비선형 광학 (주파수 두 배, 매개 변수 오시레이터) 에서 널리 사용됩니다.그리고 피에조 전기 센서.
2질문: 리?? 니오바트 웨이퍼의 두께는?
A: 전통적인 LiNbO3 웨이퍼의 두께는 일반적으로 0.5~1mm이고, 얇은 필름 버전 (예를 들어, 통합 광학) 은 300nm에서 900nm까지 다양합니다.
태그: #3인치/4인치/6인치/8인치, #개인화, #리?? 니오배트 얇은 필름, #LNOI 웨이퍼, #불정화, # 옵티컬 손실 <0.05 dB/cm
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