제품 상세정보
원래 장소: 중국
브랜드 이름: zmsh
지불 및 배송 조건
단단함: |
9 모스 |
소재: |
99.999% 사파이어 크리스탈 |
밀도: |
3.98g/cm3 |
배향: |
사용자 정의 할 수 있습니다 |
크기: |
2~3~4~6~8초 정도 |
두께: |
맞춤형 |
표면: |
스스피 또는 dsp |
TTV: |
사이즈에 의존하세요 |
랩/활: |
사이즈에 의존하세요 |
단단함: |
9 모스 |
소재: |
99.999% 사파이어 크리스탈 |
밀도: |
3.98g/cm3 |
배향: |
사용자 정의 할 수 있습니다 |
크기: |
2~3~4~6~8초 정도 |
두께: |
맞춤형 |
표면: |
스스피 또는 dsp |
TTV: |
사이즈에 의존하세요 |
랩/활: |
사이즈에 의존하세요 |
사파이어 웨이퍼 오프 C축에서 M-평면 방향 20° Al₂O₃ 직경 2"/3"/4"/6"/8", 맞춤형 방향
이 초고순도 사파이어 웨이퍼는 C축에서 M-평면 방향으로 오프셋 20° 방향을 특징으로 하며, 99.999% (5N) Al₂O₃ 순도를 가지고 있어 고급 에피택셜 성장 및 특수 반도체 응용 분야에 맞게 설계되었습니다. 표준 직경(2"~8")으로 제공되며, 맞춤형 방향 및 두께로 제공되어 뛰어난 결정학적 정밀도, 초저 결함 밀도, 우수한 열적/화학적 안정성을 제공합니다. M축 방향으로 1° 오프컷은 GaN, AlN, ZnO 기반 장치에 대한 에피택셜 필름 품질을 최적화하여 고성능 LED, 레이저 다이오드, 전력 전자 장치 및 SAW/BAW 필터에 이상적입니다.
사파이어 웨이퍼의 주요 특징
정밀 오프컷 방향:
C축에서 M-평면 방향으로 20° , 스텝 뭉침 결함을 줄이고 에피택셜 층 균일성을 향상시킵니다.
특수 응용 분야를 위해 맞춤형 오프컷 각도(0.2°–5°)를 사용할 수 있습니다.
초고순도(5N Al₂O₃):
99.999% 순도에 미량 불순물(Fe, Ti, Si) <5 ppm으로, 전기적/광학적 손실을 최소화합니다.
맞춤형 치수 및 방향:
직경: 2", 3", 4", 6", 8"
두께: 100 µm ~ 1,000 µm (±5 µm 공차).
대체 방향: 요청 시 A-평면(1120), R-평면(1102) 또는 혼합 컷.
우수한 표면 품질:
에피 준비 폴리싱: Ra <0.5 nm (전면)으로 결함 없는 박막 증착.
양면 폴리싱(DSP): Ra <0.3 nm으로 광학 응용 분야에 적합.
뛰어난 재료 특성:
열적 안정성: 융점 ~2,050°C, MOCVD/MBE 공정에 적합.
광학 투과율: >85% 투과율(UV ~ 중적외선: 250–5,000 nm).
기계적 강도: 9 Mohs 경도, 화학적/마모성 마모에 강함.
응용 분야 사파이어 웨이퍼
광전자 공학:
GaN 기반 LED/레이저 다이오드: 청색/UV LED, 마이크로 LED 및 엣지 방출 레이저.
레이저 윈도우: 고출력 CO₂ 및 엑시머 레이저 부품.
전력 및 RF 전자 장치:
HEMT(고전자 이동도 트랜지스터): 5G/6G 전력 증폭기 및 레이더 시스템.
SAW/BAW 필터: M-평면 방향은 압전 성능을 향상시킵니다.
산업 및 국방:
IR 윈도우 및 미사일 돔: 극한 환경에서 높은 투과율.
사파이어 센서: 가혹한 조건에 대한 부식 방지 커버.
양자 및 연구 기술:
초전도 큐비트(양자 컴퓨팅)용 기판.
비선형 광학: 양자 얽힘 연구를 위한 SPDC 결정.
반도체 및 MEMS:
첨단 IC용 SOI(실리콘 온 인슐레이터) 웨이퍼.
MEMS 공진기: M-평면 컷으로 고주파 안정성.
사양
|
매개변수 |
값 |
|---|---|
| 직경 | 2", 3", 4", 6", 8" (±0.1 mm) |
| 두께 | 100–1,500 µm (±5 µm) |
| 방향 | C축에서 M-평면 방향으로 오프셋 20° |
| 순도 | 99.999% (5N Al₂O₃) |
| 표면 거칠기(Ra) | <0.5 nm (에피 준비) |
| 전위 밀도 | <500 cm⁻² |
| TTV(총 두께 변화) | <10 µm |
| 보우/워프 | <15 µm |
| 광학 투과율 | 250–5,000 nm (>85%) |
Q&A
Q1: 왜 C축에서 M-평면 방향으로 20° 를 에피택시에 선택해야 합니까?
A1: M축 오프컷은 성장 중의 adatom 이동성을 향상시켜 고출력 장치용 GaN 필름의 결함을 줄이고 균일성을 향상시킵니다.
Q2: 다른 오프컷 방향(예: A축)을 요청할 수 있습니까?
A2: 예. 맞춤형 방향(A-평면, R-평면 또는 혼합 컷)은 ±0.1° 공차로 제공됩니다.
Q3: 레이저 응용 분야에서 DSP의 장점은 무엇입니까?
A3: DSP는 <0.3 nm의 양면 거칠기를 제공하여 고출력 레이저 광학에 대한 산란 손실을 줄입니다.
Tags:
