실리콘 탄화탄소 웨이퍼 4H P 타입 제로 MPD 생산 등급 덤미 등급 4인치 6인치

실리콘 탄화탄소 웨이퍼 4H P 타입 제로 MPD 생산 등급

실리콘 카비드 웨이퍼 4H P-Type

본 연구는 4H P형 실리콘 카비드 (SiC) 웨이퍼의 특성 및 잠재적 응용을 제시합니다. 이 웨이퍼는 뛰어난 전자 및 열 특성으로 알려진 반도체 물질입니다.4H-SiC 웨이퍼, 헥사그널 결정 구조를 특징으로, P형 전도성을 나타내기 위해 특별히 도핑되어 있습니다. 3.26 eV의 넓은 대역 간격, 높은 전자 이동성 및 우수한 열 전도성,고전압 용도로 매우 적합합니다., 고 전력 및 고 온도 응용 프로그램. 또한, 높은 방사선 및 극한 온도와 같은 혹독한 환경에 견딜 수있는 능력은 항공 우주,전력전자이 논문은 4H P형 SiC 웨이퍼의 제조 과정, 재료 특성,첨단 전자 시스템에서 장치 성능을 향상시킬 수있는 잠재력.

실리콘 카비드 웨이퍼 4H P-Type의 사진

실리콘 카비드 웨이퍼 4H P-Type의 데이터 차트

4인치 지름의 실리콘 탄화물 (SiC) 기판 사양

等级그라드			精选级 (精选级) MPD 생산량 0 등급 (Z 등급)	工业级 (P 级) 표준 생산 등급 (P 등급)	测试级 ((D 级) 덤비 등급 (D 등급)
직경 지름			99.5mm~100.0mm
厚度 두께			350μm ± 25μm
晶片方向 웨이퍼 방향			축 밖: 2.0°-4.0°향 [1120] 4H/6H-P에 ± 0.5°, 3C-N에 ± 0.5°
微管密度 ※ 마이크로 파이프 밀도			0cm-2
전기 阻 率 ※ 저항성	p형 4H/6H-P		≤0.1 Ω cm		≤0.3 Ω cm
	n형 3C-N		≤0.8mΩ cm		≤ 1m Ω cm
主定位边方向1차 평평한 방향		4H/6H-P	- {1010} ± 5.0°
		3C-N	- {110} ± 5.0°
主定位边长度 기본 평면 길이			32.5mm ± 2.0mm
次定位边长度 2차 평면 길이			180.0 mm ± 2.0 mm
次定位边方向 2차 평면 방향			실리콘 위면: 90° CW. 프라임 평면 ± 5.0°
边缘除除 Edge 배제			3mm		6mm
局部厚度变化/总厚度变化/?? 曲度/?? 曲度 LTV/TTV/Bow/Warp			≤2.5μm/≤5μm/≤15μm/≤30μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
表面粗度 ※ 거칠성			폴란드 Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0.2 nm		Ra≤0.5 nm
边缘裂纹 (强光灯观测) 고강도 빛에 의한 가장자리 균열			아무 것도		누적 길이 ≤ 10mm, 단장 ≤ 2mm
六方空洞 (六方空洞) 强光灯测 (강光灯测) ※ 고강도 빛에 의해 헥스 판			누적 면적 ≤0.05%		누적 면적 ≤0.1%
多型 ((强光灯观测) ※ 고강도 빛에 의한 다형 영역			아무 것도		누적 면적≤3%
目测包裹物 (日光灯观测) 시각적 탄소 포함			누적 면적 ≤0.05%		누적 면적 ≤3%
面划痕 ((强光灯观测) # 실리콘 표면 고강도 빛에 의해 긁힌다			아무 것도		누적 길이≤1 × 웨이퍼 지름
崩边 ((强光灯观测) 에드지 칩			허용되지 않는 것 ≥0.2mm 너비와 깊이		5개 허용, 각각 ≤1mm
표면 오염물 (강광등 관찰) 고 강도의 실리콘 표면 오염			아무 것도
包装 포장			멀티 웨이퍼 카세트 또는 싱글 웨이퍼 컨테이너

실리콘 탄화물 웨이퍼 4H P 타입의 특성

4H P형 실리콘 카비드 (SiC) 웨이퍼는 다음과 같은 주요 특성을 가지고 있습니다.

결정 구조:

4H-SiC는 쌓기 순서에서 네 개의 층을 가진 육각형 결정 구조를 가지고 있습니다.이 폴리 타입은 특히 고성능 장치에서 재료의 전기적 특성을 향상시킵니다.

P형 전도성:

웨이퍼는 수용성 불순물 (알루미늄이나 붕) 으로 도핑되어 P형 전도성을 갖습니다. 이것은 웨이퍼가 양전하 운반자 (홀) 를 운반할 수 있게 해줍니다.전원 장치 및 트랜지스터에 적용하기에 적합합니다..

넓은 대역 간격:

4H-SiC는 약 3.26 eV의 넓은 대역 간격을 가지고 있으며, 실리콘에 비해 더 높은 전압, 온도 및 주파수에서 작동 할 수 있습니다.이 특성은 파워 전자 및 고 온도 응용 프로그램에 이상적입니다.

높은 전자 이동성:

4H-SiC는 다른 SiC 폴리 타입에 비해 높은 전자 이동성 (~ 900 cm2/Vs) 을 가지고 있으며, 고주파 및 고전력 전자 장치의 성능을 향상시킵니다.

열전도성:

우수한 열전도성으로 4H-SiC는 열을 효율적으로 분산시켜 고전력 또는 고온 환경에서 작동하는 장치에 적합합니다.전력 인버터 및 RF 장치와 같이.

고분열 전기장:

4H-SiC는 더 높은 전기장 (~ 2.2 MV/cm) 에 견딜 수 있으며, 이로 인해 고전압에서 고장 위험 없이 작동할 수 있다.

방사능 저항성:

이 물질은 방사선에 매우 내성이 있어 항공우주, 위성 및 핵 응용 분야에 사용하기에 적합합니다.

이러한 특성은 4H P형 SiC 웨이퍼를 고성능, 고효율, 고 내구성 애플리케이션을 위한 이상적인 제품으로 만듭니다. 전력전자, 항공우주, 재생 에너지 등의 분야에서요.

실리콘 카비드 웨이퍼 4H P 타입의 응용 프로그램

4H P형 실리콘 탄화물 (SiC) 웨이퍼는 독특한 재료 특성으로 인해 다양한 고급 응용 분야에서 널리 사용됩니다. 주요 응용 분야는 다음과 같습니다.

전력전자:

넓은 대역 간격과 높은 분해 전압은 MOSFET, Schottky 다이오드 및 티리스터와 같은 전력 반도체 장치에서 사용하기에 이상적입니다.이 장치들은 고전압에서 필수적입니다., 전기 차량 (EV), 재생 에너지 시스템 및 산업 장비에 대한 인버터, 변환기 및 모터 드라이브와 같은 고 효율성 전력 시스템.

고온 전자제품:

4H-SiC의 높은 온도에서 작동하는 능력은 항공우주, 자동차, 석유 및 가스 산업과 같은 극단적인 환경에서 전력 전자 장치에 적합합니다. 센서,제어 회로, 그리고 가혹한 열 조건에서 작동해야 하는 전력 모듈.

고주파 장치:

높은 전자 이동성 및 열 전도성으로 인해 4H-SiC는 RF 증폭기, 마이크로파 트랜지스터 및 레이더 시스템과 같은 고주파 장치에 선호되는 재료입니다.더 높은 스위치 속도와 에너지 손실을 줄일 수 있습니다., 통신과 방위용 응용 프로그램에서 매우 중요합니다.

전기차 (EV):

EV에서 4H-SiC 웨이퍼는 탑재 충전기, 전력 인버터 및 모터 컨트롤러와 같은 전력 관리 시스템에서 사용됩니다. 이러한 장치들은 더 높은 에너지 효율에 기여합니다.더 빠른 충전 시간, 에너지 손실과 열 분비를 줄임으로써 차량 성능을 향상시킵니다.

재생 에너지 시스템:

4H-SiC 전력 장치의 높은 효율과 내구성은 태양광 인버터와 풍력 터빈 컨트롤러와 같은 재생 에너지 시스템에 필수 요소가 됩니다.그들은 에너지 손실을 최소화하고 높은 스트레스 조건 하에서 작동을 허용함으로써 시스템 성능을 향상시키는 데 도움이됩니다..

항공우주 및 국방:

방사능 저항성 및 고온 능력으로 4H-SiC는 위성 시스템, 우주 탐사 장비 및 군사용 전자 장치와 같은 항공 우주 용 용품에 적합합니다..높은 방사선 노출로 힘든 환경에서 신뢰성과 성능을 보장합니다.

고전압 전력망:

4H-SiC 웨이퍼는 전력 전송 및 유통 네트워크에 사용됩니다. 이 재료로 만든 장치는 에너지 손실을 줄임으로써 네트워크 효율성을 높이는 데 도움이됩니다.재생 에너지의 통합을 가능하게 하는 것그리고 전력망의 안정성을 향상시킵니다.

이러한 응용 프로그램은 4H P형 SiC 웨이퍼가 중요한 산업의 광범위한 범위를 보여줍니다. 특히 높은 효율, 높은 전력,그리고 극한 조건에서 내구성.

질문 및 답변

Q:실리콘 카바이드 웨이퍼 기판은 무엇입니까?

A:실리콘 카비드 (SiC) 웨이퍼 기판은 반도체 장치를 제조하는 기초로 사용되는 결정성 SiC 물질의 얇은 슬라이스입니다.SiC 기판은 뛰어난 전기, 열 및 기계적 특성을 전통적인 실리콘 기판에 비해 제공합니다. 그들은 넓은 대역 간격, 높은 열 전도성, 높은 분해 전압을 제공하여,고온, 그리고 고주파 애플리케이션.

SiC 기체는 주로 MOSFET, Schottky 다이오드 및 RF 장치를 포함하여 전력 전자제품에 사용됩니다. 극한 조건에서의 성능이 중요합니다.또한 부피층이 자라는 기초가 됩니다., 첨단 전자 구조를 만들기 위해 추가 반도체 물질이 퇴적됩니다.

탄력성으로 인해 SiC 기판은 전기 자동차, 재생 에너지 시스템, 항공우주 및 통신과 같은 산업에서 필수적입니다. 효율성, 내구성,그리고 까다로운 응용 프로그램에서 전반적인 성능.