개요: 저희 팀은 맞춤형 디자인 석영 보트가 일반적인 반도체 공정 시나리오에서 어떻게 작동하는지 안내합니다. 이 비디오는 확산, 산화, CVD와 같은 고온 공정 중에 실리콘 웨이퍼를 안전하게 고정하는 데 사용되는 모습을 보여줍니다. 이러한 석영 보트가 클린룸 환경에 필수적인 정밀 엔지니어링, 맞춤 설정 옵션, 주요 기능을 확인할 수 있습니다.
관련 제품 특징:
99.99%의 순수성을 가진 고순수 녹은 쿼츠 (SiO2) 로 만들어져 최소한의 오염을 위해
1200°C까지의 극한 온도에도 변형이나 퇴화 없이 견딜 수 있습니다.
대부분의 화학 물질에 불활성이므로 고온 공정 중 오염을 방지합니다.
낮은 열팽창은 급격한 온도 변화에도 치수 안정성을 보장합니다.
다양한 슬롯 형상 및 후크 디자인을 갖춘 표준 또는 맞춤형 크기로 제공됩니다.
반도체 및 화학 처리 응용 분야의 내구성과 성능을 위해 설계되었습니다.
다양한 가열로 유형과 호환되며 로봇식 웨이퍼 처리 시스템을 위한 자동화 준비가 되어 있습니다.
탁월한 열충격 저항성을 제공하여 급격한 온도 변화로 인한 균열을 방지합니다.
질문과대답:
석영 보트를 재사용할 수 있나요?
예, 적절한 청소 및 유지 관리를 통해 석영 보트는 성능 저하 없이 여러 번 재사용할 수 있습니다.
석영 보트는 어떻게 청소해야 합니까?
석영 보트는 클린룸 표준에 따라 산성 세척 또는 초음파 세척 방법을 사용하여 세척해야 하며 세척 중 급격한 온도 변화를 피해야 합니다.
석영 보트는 모든 퍼니스 유형과 호환됩니까?
예, 석영 보트는 반도체 및 광전지 처리에 사용되는 대부분의 수평 및 수직 용광로 시스템과 호환됩니다.
맞춤 주문이 가능한 사이즈는 무엇인가요?
석영 보트는 100mm, 150mm, 200mm 및 300mm 웨이퍼의 표준 크기로 제공되며 특수 용도에 맞게 추가 맞춤화가 가능합니다.