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1인치 싱글 웨이퍼 카세트

PE 박스를 패키징하는 사파이어 웨이퍼
July 22, 2025
카테고리 연결: 실험실 래퍼
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1인치 웨이퍼 카세트는 반도체 제조, 광전자 장치,그리고 마이크로 전자 연구 개발고 순수 폴리머 (PEEK 또는 PVDF와 같은) 또는 항 정적 재료로 제조되어 오염, 정전 손상,그리고 청정실 환경에서의 물리적 영향. SEMI 표준에 부합하는 카세트는 MOCVD, PECVD, 리토그래피 및 에칭을 포함한 프로세스에서 자동 웨이퍼 전송 시스템에 적합합니다.
태그:
#Single Tray Sapphire Parts #2inch Sapphire Wafer #Sapphire Wafer Single Packaging
개요: 1인치 단일 웨이퍼 카세트를 소개합니다. 반도체 및 광전자 응용 분야에서 1인치 웨이퍼의 ESD 안전 보관을 위해 설계되었습니다. 고순도 폴리머로 제작되어 오염 및 정전기 손상으로부터 보호하며, 클린룸 환경 및 자동 처리 시스템에 적합합니다.
관련 제품 특징:
  • 클래스 100 클린룸 인증 및 초저 입자 발생으로 초청정 성능을 제공합니다.
  • 탄소섬유 강화 또는 항 정적 코팅 (106-109Ω/sq) 으로 ESD 보호
  • 150°C까지의 고온 저항성, 산과 용매에 대한 화학 저항성
  • 로봇 취급을 위한 표준화된 인터페이스(SMIF/FOUP)를 갖춘 자동화 호환.
  • 슬롯 피치 정확도 ±0.1mm 및 위치 오차 ≤0.05mm의 정밀 웨이퍼 보호.
  • 반도체 제조, 광전자, MEMS 제작 및 R&D 응용 분야에 적합합니다.
  • 안전한 운송 및 자동 웨이퍼 이송 시스템을 위한 SEMI 표준을 준수합니다.
  • 고급 패키징 공정에서 웨이퍼 추적성을 향상시키기 위한 선택적 RFID 태그 슬롯.
질문과대답:
  • 1인치 웨이퍼 카세트의 주요 용도는 무엇입니까?
    연구실 및 소규모 광전자 장치 생산에서 1인치 반도체 웨이퍼를 취급하고 보관하는 데 사용됩니다.
  • 1인치 웨이퍼 카세트에는 어떤 재료가 사용됩니까?
    카세트는 일반적으로 청정실 호환성을 위해 반 정적 특성을 가진 PEEK 또는 PVDF와 같은 고 순수 폴리머로 만들어집니다.
  • 1인치 웨이퍼 카세트는 자동화 시스템과 호환됩니까?
    네, 로봇 핸들링 시스템과의 원활한 통합을 위해 표준화된 인터페이스(SMIF/FOUP 호환)를 갖추고 있습니다.
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