LED 웨이퍼 에피택시 및 ICP 식각 공정을 위한 탄화규소 세라믹 트레이

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November 17, 2025
카테고리 연결: 세라믹 기질
개요: LED 웨이퍼 에피택시 및 ICP 식각 공정을 위해 설계된 실리콘 카바이드 세라믹 트레이를 가까이에서 살펴보세요. 작동 중인 높은 열 안정성, 기계적 강도 및 내화학성을 확인하십시오.
관련 제품 특징:
  • 높은 열적 안정성: 최대 1650°C의 극한 온도에서도 성능을 유지합니다.
  • 기계적 강도: 높은 경도와 하중 지지력은 변형이나 균열을 방지합니다.
  • 내화학성: 강산, 알칼리, 부식성 화학 물질에 견딜 수 있습니다.
  • 열전도율: 균일한 공정 온도를 위한 효율적인 열 전달.
  • 낮은 열팽창: 열 사이클링 하에서 치수 안정성을 보장합니다.
  • 전기 절연: 전자 응용 분야에 안정적인 절연을 제공합니다.
  • CVD 코팅 옵션: 내마모성 및 열충격 보호 기능 향상.
  • 맞춤형 크기 및 모양: 다양한 산업 분야의 특정 공정 요구 사항을 지원합니다.
질문과대답:
  • 탄화규소 세라믹 트레이는 어떤 산업에서 일반적으로 사용됩니까?
    이 트레이는 반도체 제조, 첨단 세라믹 생산, 화학 처리, 전자, 항공우주, 자동차, 의료 기기 제조 등 다양한 분야에서 널리 사용됩니다.
  • 이 SiC 세라믹 트레이를 사용하면 어떤 주요 장점이 있습니까?
    이 트레이는 고순도, 화학적 불활성, 극한 조건에서의 안정적인 기계적 특성, 뛰어난 내마모성, 그리고 가벼운 내구성을 제공합니다.
  • 탄화규소 세라믹 트레이를 맞춤 제작할 수 있습니까?
    네, 트레이는 특정 공정 요구 사항을 충족하도록 크기와 모양을 맞춤 설정할 수 있으며, 향상된 성능을 위한 선택적 CVD 코팅을 포함합니다.