사파이어 어플리케이터 튜브는 마이크로파 또는 RF 에너지, 반응성 공정 가스, 고온 및 플라즈마 생성 종에 노출될 수 있는 반도체 플라즈마 및 공정 장비에 사용되는 특수 부품입니다.

원격 플라즈마 시스템에서 공정 가스는 어플리케이터 튜브를 통과할 수 있으며, 마이크로파 에너지는 어플리케이터 영역으로 결합되어 반응성 플라즈마 종을 생성합니다. 사파이어는 열 안정성, 전기 절연성, 내화학성 및 마이크로파/RF 전송 특성의 조합으로 인해 이러한 유형의 응용 분야에 특히 적합합니다.

당사의 사파이어 어플리케이터 튜브는 개별 튜브 또는 정밀 금속 하우징, 나사형 커넥터, 밀봉 인터페이스 및 기타 맞춤형 기계 부품을 통합한 완전한 어셈블리로 공급될 수 있습니다.

여기에 표시된 제품은 정밀 사파이어 튜브와 가공된 금속 장착 구조를 결합한 것으로, 반도체 공정 장비의 교체 또는 맞춤형 부품으로 사용됩니다.

주요 특징

고순도 사파이어 재료

어플리케이터 튜브는 까다로운 반도체 장비 환경에 적합한 합성 사파이어로 제조됩니다.

사파이어는 고온, 플라즈마 노출 및 화학적으로 공격적인 공정 조건에 대한 탁월한 내성을 제공하며 높은 기계적 강도를 유지합니다.

플라즈마 응용 분야에 적합

사파이어 튜브는 플라즈마 어플리케이터 튜브, 플라즈마 격납 튜브, 공정 가스 주입기 부품 및 관련 플라즈마 생성 시스템을 포함한 반도체 공정 응용 분야에 널리 사용됩니다.

마이크로파 및 RF 호환

사파이어는 탁월한 유전 특성과 RF/마이크로파 전송 기능을 제공하여 마이크로파 또는 원격 플라즈마 생성 시스템 내에 위치한 부품에 적합합니다.

정밀 튜브 제조

고객 요구 사항에 따라 튜브 치수를 제어할 수 있습니다. 여기에는 다음이 포함됩니다:

• 외경
• 내경
• 벽 두께
• 전체 길이
• 끝 형상
• 숄더 구조
• 홈 설계
• 표면 마감
• 조립 인터페이스

사파이어 + 금속 어셈블리

사파이어 튜브 제조 외에도 가공된 금속 부품을 통합한 통합 어셈블리를 제공할 수 있습니다.

사용 가능한 서비스에는 다음이 포함될 수 있습니다:

• 정밀 금속 하우징
• 외부 나사
• 내부 장착 구조
• 기계적 슬리브
• 플랜지
• 밀봉 인터페이스
• 사파이어-금속 어셈블리
• 교체 어셈블리 제조

맞춤형 교체 부품

다음과 같이 맞춤형 반도체 장비 부품을 지원합니다:

• 고객 도면
• 원본 샘플
• 장비 치수
• 기존 부품 사양
• OEM 참조 번호
• 역설계 요구 사항

이를 통해 제품은 반도체 장비 유지 보수, 교체 및 현지화 프로젝트에 적합합니다.

일반적인 응용 분야

사파이어 어플리케이터 튜브는 다음과 같은 장비 및 공정에 사용될 수 있습니다:

• 원격 플라즈마 소스 시스템
• 플라즈마 챔버 청소
• 마이크로파 플라즈마 생성
• 반도체 CVD 장비
• PECVD 장비
• HDP-CVD 장비
• 플라즈마 에칭 장비
• 건식 에칭 시스템
• 공정 가스 전달
• 플라즈마 가스 활성화 시스템
• 반도체 장비 교체 부품

사파이어 튜브는 이미 반도체 플라즈마 어플리케이터, 플라즈마 격납 및 공정 가스 주입기 응용 분야에 상업적으로 사용되고 있습니다.

제품 사양

참고: 치수 및 어셈블리 구조는 고객의 장비, 도면 또는 기존 샘플에 따라 생산됩니다.

플라즈마 어플리케이터 튜브에 사파이어를 사용하는 이유는 무엇입니까?

어플리케이터 튜브는 플라즈마 생성 시스템에서 가장 까다로운 영역 중 하나에 위치합니다.

장비 설계에 따라 튜브는 반응성 가스, 에너지 플라즈마 종, 마이크로파 에너지 및 고온에 동시에 노출될 수 있습니다.

기존 유리 재료와 비교하여 사파이어는 다음을 제공합니다:

• 고온 내성
• 높은 기계적 강도
• 우수한 화학적 안정성
• 플라즈마 내성
• 우수한 유전 특성
• 마이크로파/RF 전송
• 까다로운 공정 환경에서 긴 서비스 수명

이러한 이유로 사파이어는 플라즈마 어플리케이터 튜브 및 기타 반도체 공정 장비 부품에 중요한 엔지니어링 재료가 되었습니다.

맞춤형 사파이어 어플리케이터 튜브 제조

당사는 맞춤형 및 교체 응용 분야에 중점을 두고 반도체 장비용 사파이어 부품을 제조합니다.

표준 튜브 치수로 고객을 제한하는 대신 실제 공정 장비 요구 사항에 따라 부품을 제조할 수 있습니다.

맞춤 설정 옵션에는 다음이 포함됩니다:

사파이어 튜브

• 외경 및 내경
• 튜브 길이
• 벽 두께
• 튜브 끝
• 계단 및 숄더
• 슬롯 및 홈
• 표면 거칠기
• 연마 요구 사항

금속 부품

• 하우징 치수
• 나사 사양
• 장착 인터페이스
• 플랜지
• 슬리브
• 커넥터 구조

어셈블리

사파이어 튜브는 해당 금속 부품과 함께 조립된 반도체 장비 부품으로 공급될 수도 있습니다.

교체 및 역설계 서비스

단종되거나 구하기 어렵거나 맞춤형 반도체 장비 부품의 경우 고객은 다음을 보낼 수 있습니다:

1. 원본 장비 부품 번호
2. 기술 도면
3. 사진
4. 사용 또는 새 샘플
5. 중요 치수
6. 장비 모델
7. 응용 정보

당사의 엔지니어링 팀은 견적 전에 구조 및 제조 가능성을 평가할 수 있습니다.

기존 장비 부품의 대안으로 제조된 부품의 경우 최종 호환성은 항상 고객의 장비 구성 및 기술 사양을 기반으로 확인해야 합니다.

품질 관리

고객 요구 사항에 따라 검사는 다음을 포함할 수 있습니다:

• 치수 검사
• 외경 / 내경 검사
• 벽 두께 측정
• 길이 검사
• 표면 검사
• 나사 검사
• 어셈블리 검사
• 육안 결함 검사
• 포장 검사

프로젝트 요구 사항에 따라 검사 보고서를 제공할 수 있습니다.

견적을 위해 어떤 정보를 보내야 합니까?

더 빠른 견적을 위해 다음을 제공하십시오:

• 제품 도면
• 사파이어 튜브 외경
• 사파이어 튜브 내경
• 튜브 길이
• 벽 두께
• 표면 마감
• 금속 하우징 재료
• 나사 사양
• 장비 브랜드/모델
• OEM 부품 번호 (사용 가능한 경우)
• 필요 수량
• 응용 또는 공정 환경

도면이 없는 경우 명확한 사진과 물리적 샘플을 평가를 위해 보내주십시오.

자주 묻는 질문

사파이어 어플리케이터 튜브는 무엇에 사용됩니까?

사파이어 어플리케이터 튜브는 반도체 플라즈마 장비, 특히 플라즈마 생성, 원격 플라즈마 청소 및 공정 가스 활성화 시스템에 일반적으로 사용됩니다.

완전한 어플리케이터 튜브 어셈블리를 제조할 수 있습니까?

예. 사파이어 튜브 외에도 맞춤형 금속 하우징, 나사형 부품 및 기계식 어셈블리를 도면 또는 샘플에 따라 제조할 수 있습니다.

기존 반도체 장비 부품의 교체품을 제조할 수 있습니까?

예. 반도체 장비 교체 부품에 대해 도면 기반 및 샘플 기반 제조를 지원합니다. 고객은 평가를 위해 OEM 참조 번호, 도면, 샘플 및 장비 정보를 제공할 수 있습니다.

사파이어 튜브 치수를 맞춤 설정할 수 있습니까?

예. 외경, 내경, 길이, 벽 두께, 튜브 끝 형상 및 표면 마감은 모두 맞춤 설정할 수 있습니다.

소량도 제공합니까?

프로토타입, 유지 보수 및 소량 반도체 장비 프로젝트는 필요한 치수 및 제조 난이도에 따라 평가할 수 있습니다.