6인치 JGS2 웨이퍼 쿼츠 서브스트라트 DSP 고성능 창문용 1mmt 융합 실리카

6인치 JGS2 웨이퍼 DSP 1mmt 제품 디스플레이

6인치 JGS2 석영 웨이퍼 개요​

1mm 두께의 6인치 JGS2 DSP(양면 연마) 웨이퍼 기판은 UV 등급 융합 석영(JGS2)​​으로 제작된 고정밀 기본 재료입니다. 핵심 가치는 220nm에서 2500nm​​(특히 UV에서 근적외선 파장에 적합)에 이르는 넓은 스펙트럼 범위에서 JGS2의 뛰어난 광 투과율에 있습니다. 또한, ​​극히 낮은 열팽창 계수(약 5.8×10⁻⁷/K)​​와 ​​높은 모스 경도(약 7등급)​​로 인해 고온 및 부식성 환경과 같은 가혹한 조건에서도 뛰어난 치수 안정성과 물리적 강도를 유지합니다. 이 기판은 양면 연마를 거쳐 나노 스케일의 표면 거칠기를 달성합니다. ​​반도체 포토리소그래피, 고성능 광학 필터 기판, 광통신 장치(예: DWDM 필터 칩) 및 MEMS 센서​​를 포함한 하이엔드 분야에서 주로 사용되어 정밀 광학 시스템을 위한 신뢰할 수 있는 재료 기반을 제공합니다. 

6인치 JGS2 석영 기판의 주요 매개변수

재료 특성: JGS2 융합 석영​​

JGS2는 수소-산소 화염 융합을 통해 생산된 ​​UV 광학 석영 유리​​입니다. 주요 특징은 다음과 같습니다. 

• 우수한 광학 성능​​: JGS2는 220nm에서 2500nm​​에 이르는 넓은 스펙트럼 범위에서 높은 투과율을 나타내므로 자외선에서 근적외선까지의 빛이 효과적으로 통과할 수 있습니다. 따라서 광학 창, 렌즈 기판 및 기타 구성 요소를 제조하는 데 이상적인 재료입니다.
• ​​뛰어난 열적 안정성​​: ​​극히 낮은 열팽창 계수​​는 균열이나 변형 없이 급격한 온도 변화를 견딜 수 있어 고온 공정 환경에서 치수 안정성을 보장합니다.
• 우수한 기계적 강도 및 화학적 불활성​​: 높은 경도와 영률은 충분한 기계적 강도를 제공하는 반면, 다양한 화학 물질(불산 및 뜨거운 인산 제외)에 대한 내성은 엄격한 산업 환경의 요구 사항을 충족합니다.

6인치 JGS2 웨이퍼 주요 응용 시나리오

1. 위의 특성을 바탕으로 이 제품은 주로 다음과 같은 분야에 적용됩니다. 
2. ​​반도체 공정​​: 포토리소그래피 및 에칭과 같은 공정에서 마스크 플레이트 기판 또는 캐리어 웨이퍼로 사용되며, 여기서 높은 순도와 열적 안정성이 중요합니다.
3. ​​광학 부품 제조​​: 고성능 창, 프리즘 및 필터의 기본 재료로 사용되며, 특히 UV 투과가 필요한 광학 시스템에 적합합니다.
   ​​광통신 장치​​: 광학적 균질성과 낮은 손실이 중요한 DWDM(Dense Wavelength Division Multiplexing) 시스템용 필터 기판 제조에 사용됩니다.

6인치 JGS2 웨이퍼 Q&A

Q1: UV 광학 응용 분야에 1mm 두께의 6인치 JGS2 DSP 웨이퍼 기판을 사용하는 주요 장점은 무엇입니까?​​
​​A1:​​ 주요 장점은 뛰어난 UV 투과율(최대 220nm)과 극히 낮은 열팽창 계수(~5.5×10⁻⁷/°C)로, 고출력 UV 노출 시 최소한의 열 변형을 보장하고 반도체 리소그래피 또는 레이저 시스템과 같은 까다로운 환경에서 안정적인 성능을 제공합니다.

​​Q2: 1mm 두께는 고정밀 시스템에서 기판의 성능에 어떻게 기여합니까?​​
​​A2:​​ 1mm 두께는 기계적 강도(취급 응력 저항)와 광학적 평탄도 사이의 최적의 균형을 제공하며, 이는 정밀 광학 및 포토리소그래피 도구에서 빔 간섭성을 유지하고 파면 왜곡을 줄이는 데 중요합니다.

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