고순도 쿼츠 유리판 JGS1/JGS2/JGS3

​​맞춤형 고순도 석영 유리 플레이트 JGS1/JGS2/JGS3 고투과율​​

융합 석영은 고순도 이산화규소를 고온에서 녹인 후 급속 냉각하여 형성된 비정질 물질입니다. 우수한 광학적 특성, 열적 안정성 및 화학적 불활성을 나타냅니다. 순도 수준과 자외선 투과율에 따라 세 가지 등급으로 분류됩니다.JGS1, JGS2 및 JGS3.

광학 성능별 분류:

1. JGS1 (원자외선 광학 융합 석영)

• SiCl₄를 원료로 사용하여 고순도 수소-산소 불꽃에서 용융하여 생산됩니다. 높은 수산기 함량(≈2000 ppm)을 포함하며 특히 단파 UV 영역에서 뛰어난 자외선 투과율을 보여줍니다. 185 nm에서 투과율이 90%를 초과합니다. 합성 융합 석영은 2730 nm에서 강한 흡수 피크를 나타내며 입자 구조가 없습니다. 185–2500 nm 범위에 이상적인 광학 재료입니다.

2. JGS2 (자외선 광학 융합 석영)

• 결정질 원료를 가스 정제 과정을 통해 제조됩니다. 수십 ppm의 금속 불순물을 포함합니다. 2730 nm에서 흡수 피크(수산기 함량: 100–200 ppm)를 특징으로 하며 줄무늬와 입자 구조를 가지고 있습니다. 220–2500 nm 파장 범위에 적합한 재료입니다.

3. JGS3 (적외선 광학 융합 석영)

• 진공 압력로(전기 용융 방식)를 사용하여 결정질 또는 고순도 석영 모래 원료로 생산됩니다. 수십 ppm의 금속 불순물을 포함합니다. 최소한의 기포, 미세한 입자 구조, 줄무늬 및 무시할 수 있는 OH 함량이 특징입니다. 높은 적외선 투과율(>85%)을 제공합니다. 260–3500 nm 범위의 광학 재료로 적용 가능합니다.

석영 유리 JGS1/JGS2/JGS3 주요 응용 분야

1. 고급 광학 시스템

• JGS1: DUV 리소그래피 기계용 렌즈, 우주 망원경 거울, UV 레이저 콜리메이팅 부품.
• JGS2: 카메라 렌즈, 프로젝터 프리즘, 현미경 대물렌즈와 같은 소비자 광학 장치.
• JGS3: 적외선 열화상 장치용 창, CO₂ 레이저용 집광 거울.

2. 반도체 제조

• 포토마스크 기판: JGS1은 초저 열팽창 계수(5.5×10⁻⁷/℃)와 높은 UV 투과율로 인해 EUV 리소그래피 포토마스크 기판의 핵심 재료입니다.
• 웨이퍼 가공 캐리어: JGS2는 반도체 확산로 튜브 및 보트 홀더와 같은 고온承载 부품에 사용됩니다.

3. 레이저 기술

• 고에너지 레이저 시스템: JGS1은 Nd:YAG 레이저용 공진기 거울 제조에 사용됩니다(레이저 유도 손상 임계값: 15 J/cm²).
• 적외선 레이저 전송: JGS3은 10.6 μm 파장에서 CO₂ 레이저 전송 케이블에 적합합니다.

4. 항공우주

• 우주선 창: JGS1은 위성 광학 원격 센서의 방사선 저항 창에 사용됩니다(우주 방사선에 견딤).
• 미사일 돔: JGS3은 우수한 열충격 저항(ΔT > 1000°C)으로 인해 극초음속 차량 적외선 탐지 헤드에 적용됩니다.

5. 특수 조명

• UV 램프: JGS1로 만든 고순도 UV 램프는 수처리 및 의료 살균에 사용됩니다.
• 수은 램프 하우징: JGS2는 고온 충격에 강한 고압 수은 램프용 투명 하우징 제조에 사용됩니다.

5. 과학 연구 장비

• 싱크로트론 방사선 시설: JGS1은 빔라인 창 및 단색화 장치 부품에 사용됩니다.
• 입자 검출기: JGS2는 체렌코프 방사기의 투명 매체 역할을 합니다.

석영 유리 JGS1/JGS2/JGS3 가공 특성

• 정밀 어닐링: 다단계 기울기 어닐링(최대 1300°C)은 내부 응력을 제거하고 광학적 왜곡을 방지합니다.
• 표면 처리: 자기유변학적 연마(MRF)는 Ra의 표면 거칠기를 달성합니다. < 0.5 nm (EUV 리소그래피에 적합).
• 코팅 기술: 적용 가능한 코팅에는 반사 방지(AR), 고반사(HR) 및 내식성 코팅(예: 불화마그네슘)이 포함됩니다.

석영 유리 JGS1/JGS2/JGS3 광학적 특성

석영 유리 JGS1/JGS2/JGS3 표준 사양

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Q1: JGS1, JGS2 및 JGS3 융합 석영의 주요 차이점은 무엇입니까?
A1: JGS1은 2000ppm OH 함량으로 >90% UV 투과율(185nm)을 제공하고, JGS2는 200ppm OH로 220-2500nm 투과율을 제공하며, JGS3은 거의 0 OH 함량으로 >85% IR 투과율을 제공합니다.

Q2: UV 레이저 응용 분야에 가장 적합한 융합 석영 등급은 무엇입니까?
A2: JGS1은 185nm에서 90% 이상의 투과율과 15J/cm² 레이저 손상 임계값으로 인해 UV 레이저에 이상적입니다.

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