1인치 웨이퍼 카세트 16mm 직경 25개 용량

1 인치 웨이퍼 카세트는 소분자 반도체 웨이퍼 (1 인치)의 안전한 취급, 운송 및 보관을 위해 설계된 특수 컨테이너입니다. 주요 역할은 자동화 시스템과의 물리적 보호, 환경 분리 및 호환성을 제공하여 반도체 제조 워크 플로우 전역에서 웨이퍼 무결성 및 프로세스 효율성을 보장하는 것입니다.

 1 인치 웨이퍼 카세트 키 기능

1. 강화 된 물리적 보호

• 정전기 방전 (ESD) 완화 : 1 인치 웨이퍼 카세트는 ESD-SAFE 재료 (예 : 전도성 코팅, 플루오 폴리머)를 사용하여 정전기 손상으로부터 웨이퍼를 방패합니다.
• 충격 흡수 : 그루브 내의 실리콘 패드 또는 고무 삽입물은 진동을 약화시키고 충격을 흡수하여 연약한 1 인치 웨이퍼에 중요합니다.

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2. 환경 통제

• 밀봉 된 구조 : 1 인치 웨이퍼 카세트는 먼지, 습도 및 화학 증기로 인한 오염을 방지합니다. 특정 변이체는 리소그래피 또는 에칭과 같은 민감한 공정을 위해 진공 또는 불활성 가스 환경 (예 : 질소 정화)을 지원합니다.
• 온도 저항 : 1 인치 웨이퍼 카세트는 넓은 온도 범위 (-20 ° C ~ 150 ° C)에 걸쳐 안정적으로 작동하여 고온 어닐링 또는 저온 저장 요건을 수용합니다.

3. 자동화 준비 기능

• 표준화 된 인터페이스 : 상단 장착 된 기계식 그리퍼 슬롯 또는 정렬 핀은 로봇 암 및 EFEM 시스템으로 정확한 도킹을 가능하게합니다.
• 포지셔닝 잠금 장치 : 자기 또는 기계적 래치는 자동화 된 전송 중에 웨이퍼가 안전하게 정렬되어 정렬 불합격으로 인한 장비 고장을 피합니다.

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4. 비용 효율성

• 1 인치 웨이퍼에 최적화 된 가벼운 설계는 내구성을 유지하면서 R & D 및 소규모 배치 생산에 이상적으로 재료 비용을 줄입니다.

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1 인치 웨이퍼 카세트 기본 응용 프로그램

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