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제품 상세 정보:
결제 및 배송 조건:
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| 호환 웨이퍼 크기: | 1 인치 (직경 25.4mm), 두께 0.1 ~ 1.0mm | 용량: | 표준 1 웨이퍼/카세트 (사용자 정의 가능한 10 또는 25 웨이퍼 고용량 버전) |
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| 소재: | 엿보기 (고온 버전)/PVDF (화학 저항성 버전)/ESD-PC (이코노미 버전) | 청정도: | ISO 클래스 4 (클래스 10) |
| ESD 보호: | 표면 저항 10 ~ 10 ℃/sq (ESD S20.20 표준을 준수) | 신청서: | 반도체 제조, 광전자 공학 |
| 강조하다: | 1인치 웨이퍼 카세트,ESD 안전 웨이퍼 카세트,웨이퍼 저장 카세트 |
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1 인치 단일 웨이퍼 카세트
1인치 웨이퍼 카세트는 반도체 제조, 광전자 장치,그리고 마이크로 전자 연구 개발고 순수 폴리머 (PEEK 또는 PVDF와 같은) 또는 항 정적 재료로 제조되어 오염, 정전 손상,그리고 청정실 환경에서의 물리적 영향. SEMI 표준에 부합하는 카세트는 MOCVD, PECVD, 리토그래피 및 에칭을 포함한 프로세스에서 자동 웨이퍼 전송 시스템에 적합합니다.
1초정결 성능:
• 1 인치 웨이퍼 카세트 (Class 100 cleanroom) 는 초저 입자 생성 (<0.1μm의 경우 5 입자/ft3) 를 위해 인증되었습니다.
• 부드러운 표면 은 웨이퍼 를 긁는 것 을 방지 한다
2ESD 보호:
• 탄소 섬유로 강화 된 또는 106-109Ω/sq의 표면 저항성을 가진 항 정적 코팅
• 1 인치 웨이퍼 카세트 는 입자 유인 및 정전 전기 충전 손상 을 효과적으로 방지 한다
3기계적 신뢰성:
• 높은 온도 (150°C 까지) 와 화학물질 (산, 알칼리, 유기 용매) 에 저항력
• 1 인치 웨이퍼 카세트 안전 운송을 위해 진동 테스트 설계에 적합
4자동화 호환성:
• 1인치 웨이퍼 카세트 표준화 인터페이스 (SMIF/FOUP 호환) 로봇 처리
• 주요 반도체 장비 (ASML, 응용 재료 등) 와 호환됩니다.
5정밀 웨이퍼 보호:
• 1 인치 웨이퍼 카세트 슬롯 피치 정확도 ± 0.1mm와 웨이퍼 위치 오류 ≤0.05mm
• 웨이퍼 추적을 위한 선택적 RFID 태그 슬롯
반도체 제조:
• GaN/SiC 웨이퍼를 위한 프론트엔드 처리 (리토그래피, 이온 이식)
• 전통적인 반도체 (Si, GaAs, InP) 처리
• 전력 장치 (MOSFET/IGBT) 및 RF 장치 (GaN) 생산
2 광전자:
• LED/MicroLED 칩 및 레이저 (VCSEL/EEL) 웨이퍼 처리
• UV / IR / 가시 LED 부피 처리
3연구개발 애플리케이션:
• 1인치 웨이퍼 카세트, 학술 및 연구 기관에서 작은 웨이퍼 실험
• 새로운 광전자 물질 연구 (양자 점, 페로브스카이트)
4MEMS 제조:
• 센서 웨이퍼 (가속계, 자이로스코프, 압력 센서) 의 보호
• 바이오 MEMS 및 광학 MEMS 장치 제조
5 첨단 포장:
• 1 인치 웨이퍼 카세트는 웨이퍼 레벨 포장 (WLP) 및 3D IC 통합을 위한 임시 저장 장치입니다.
ZMSH는 1~6인치 단일 웨이퍼 카세트를 제공하고, 우리는 반도체 제조를 위한 전문 웨이퍼 저장 및 전송 솔루션을 제공합니다. 1인치 GaAs 재료의 연구실 R&D, 2인치 LED/MEMS 처리, 3인치 SiC/GaN 전력 장치, 4인치 주류 실리콘 반도체, 6인치 고급 IC 생산을 지원합니다.. 모든 크기는 청정실 환경에서 신뢰할 수있는 전송을 위해 SEMI 표준을 충족합니다.
1질문: 1인치 웨이퍼 카세트는 무엇을 위해 사용합니까?
A: 주로 연구실의 1인치 반도체 웨이퍼를 취급하고 저장하는 데 사용되고 광전자 기기의 소규모 생산에도 사용됩니다.
2질문: 1인치 웨이퍼 카세트는 어떤 재료로 만들어졌나요?
A: 그들은 일반적으로 청정실 호환성을 위해 반 정적 성질을 가진 PEEK 또는 PVDF와 같은 고순정 폴리머로 만들어집니다.
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담당자: Mr. Wang
전화 번호: +8615801942596
