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제품 상세 정보:
결제 및 배송 조건:
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| 크기: | 2 인치 3 인치 4 인치 6 인치 8 인치 12 인치 | LTV: | <0.5µm |
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| TTV: | <2µm/3µm/5µm | 표면 유형: | 스스피 / dsp |
| 표면 거칠성: | ≤1nm | 신청서: | 반도체 리소그래피 마스크, UV 광학 장치 |
| 강조하다: | 12인치 쿼츠 웨이퍼,6인치 쿼츠 웨이퍼,4 인치 석영 웨이퍼 |
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석영 웨이퍼는 반도체, 광전자, 광학 및 미세 전자기계 시스템(MEMS)에 널리 사용되는 고순도 합성 석영 재료로 만들어진 정밀 기판입니다. ZMSH는 석영 반도체 재료의 연구 개발 및 생산을 전문으로 하며, 석영 웨이퍼, 석영 광학 창, 석영 튜브 및 석영 보트와 같은 제품을 제공하며, 석영 웨이퍼를 핵심 제품 라인으로 합니다. 2인치에서 12인치 웨이퍼까지 치수, 두께 및 표면 처리(연마, 코팅 등)에 대한 특정 요구 사항을 충족하는 맞춤형 솔루션을 제공합니다.
ZMSH는 재고 가용성과 맞춤형 가공 서비스를 제공하여 고정밀도(예: TTV ≤5μm), 우수한 평탄도(Ra ≤1nm) 및 뛰어난 고온 저항성(연화점 최대 1730°C)을 보장합니다. 당사 제품은 반도체 제조, 포토마스크 기술, 센서 및 레이저 시스템에 널리 적용됩니다.
| 크기 | 인치 | 2인치 | 3인치 | 4인치 | 6인치 | 8인치 | 12인치 |
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직경 |
mm | 50.8 | 76.2 | 100 | 150 | 200 | 300 |
| 공차(±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| 두께 | µm | 100 이상 | 100 이상 | 100 이상 | 300 이상 | 400 이상 | 500 이상 |
| 기본 참조 플랫 | mm | 32.5 | 32.5 | 32.5 | 57.5 | 세미 노치 | 세미 노치 |
| LTV(5mmx5mm) | µm | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
| TTV | µm | < 2 | < 2 | < 2 | < 3 | <3 | <5 |
| 보우 | µm | ±20 | ±20 | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 |
| 워프 | µm | ≤ 30 | ≤ 30 | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV(5mm*5mm)<0.4um | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| 가장자리 라운딩 | mm | SEMI 표준. | SEMI 표준. | SEMI 표준. | SEMI 표준. | SEMI 표준. | SEMI 표준. |
| 표면 유형 | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | |
| 표면 거칠기 | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
1. 고순도 재료
: SiO₂ 순도 ≥99.99%의 합성 석영(예: Suprasil 또는 Corning 7980)으로 반도체 공정에서 불순물을 최소화합니다.2. 열적 안정성
: 낮은 열팽창 계수(5.5×10⁻⁷/°C)로 1000°C를 초과하는 극한 환경에서도 견딜 수 있습니다.3. 광학 성능
: UV에서 IR 파장까지의 높은 투과율(예: 심자외선에서 >90%)로 리소그래피 및 레이저 응용 분야에 이상적입니다.4. 표면 정밀도
: 표면 거칠기(Ra) ≤0.5nm 및 총 두께 변화(TTV) ≤5μm의 초정밀 연마.5. 크기 범위
: 2인치, 4인치, 6인치, 8인치에서 12인치까지의 표준 크기로 맞춤형 사양을 지원합니다.6. 화학적 불활성
: 강산(HF 제외), 알칼리 및 플라즈마 에칭에 강하며 반도체 공정에 적합합니다.응용 분야
구체적인 용도
| 석영 웨이퍼의 장점 | 반도체 제조 | - 포토마스크 기판 |
| - 에칭 공정 캐리어 |
- CMP 연마 패드 - 임시 본딩 웨이퍼 높은 평탄도, 낮은 열팽창, 플라즈마 부식 저항 광전자 장치 |
- 레이저 창 |
| - 광학 필터 기판 |
- IR 센서 기판 - 광검출기 패키징 높은 UV-IR 투과율, 낮은 흡수 손실 MEMS/NEMS |
- MEMS 구조 레이어 |
| - 정밀 센서 다이어프램 |
- 나노 임프린트 템플릿 초평탄 표면, 높은 강성, 화학적 안정성 5G 및 RF 장치 |
- SAW/BAW 필터 기판 |
| - 고주파 안테나 베이스 |
- 마이크로파 유전체 공진기 낮은 유전 손실, 안정적인 고주파 신호 성능 연구 및 광학 |
- 싱크로트론 방사선 광학 |
| - X선 회절 창 |
- 고출력 레이저 미러 방사선 저항, 높은 레이저 손상 임계값 신에너지 |
- PV 셀 코팅 기판 |
| - 연료 전지 전해질 층 |
- 리튬 배터리 분리막 연구 고온 저항, 이온 이동 방지 맞춤형 2-12인치 석영 웨이퍼의 ZMSH 서비스 |
포괄적인 석영 웨이퍼 솔루션: ZMSH는 고순도 재료(UV 등급 융합 석영, 저OH 석영)를 사용하여 정밀 가공(연마, 코팅 등)을 통해 맞춤형 석영 웨이퍼 생산(2"-12" 표준/비표준 크기)을 제공합니다. |
FAQ 2-12인치 석영 웨이퍼
A: 석영 웨이퍼는 뛰어난 열적 안정성, 높은 순도 및 우수한 내화학성을 제공하여 까다로운 반도체 공정에 이상적입니다.
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담당자: Mr. Wang
전화 번호: +8615801942596
