​​SAW 장치용 6인치 내열 투명 단결정 석영 크리스탈 기판​​

​​SAW 장치용 6인치 내열 투명 단결정 석영 결정 기판​​

6인치 석영 웨이퍼(직경 150mm)는 50-500μm 범위의 두께를 가진 고순도 석영 유리(순도 ≥99.999%)로 제작됩니다. 표면 거칠기는 CMP(Chemical Mechanical Polishing)를 통해 Ra ≤0.5nm로 제어됩니다. 제조 공정은 다음과 같습니다. A:​​ 주요 과제는 초고순도 유지(>99.999% SiO₂), 결정 성장 중 결함 최소화, 슬라이싱/연마 공정의 균일성 보장 등이 있습니다.

· 원자재 정제​​: 염소화 및 환원 공정을 통해 석영 모래에서 전자 등급 실리콘을 추출하여 99.9999% 순도를 달성합니다. A:​​ 주요 과제는 초고순도 유지(>99.999% SiO₂), 결정 성장 중 결함 최소화, 슬라이싱/연마 공정의 균일성 보장 등이 있습니다.

· 단결정 성장​​: Czochralski(CZ) 방법을 사용하여 단결정 실리콘 로드를 재배하며, 결함 밀도는 <1 defect/cm²입니다. A:​​ 주요 과제는 초고순도 유지(>99.999% SiO₂), 결정 성장 중 결함 최소화, 슬라이싱/연마 공정의 균일성 보장 등이 있습니다.

· 절단 및 가공​​: 실리콘 로드를 멀티 와이어 쏘잉을 통해 150mm 웨이퍼로 절단한 후, 양면 연마 및 레이저 에칭을 통해 두께 공차 ≤±15μm을 보장합니다.

매개변수 6인치1. Q: ​​6인치 석영 웨이퍼의 주요 응용 분야는 무엇입니까?​​

6인치 석영 웨이퍼의 핵심 특성 및 장점​​1. Q: ​​6인치 석영 웨이퍼의 주요 응용 분야는 무엇입니까?​​

· ​​고순도 및 내열성​​:

석영 유리 순도 ≥99.999%, 연화점 ~1730°C, 단기 허용 온도 최대 1450°C.​​

A:​​ 주요 과제는 초고순도 유지(>99.999% SiO₂), 결정 성장 중 결함 최소화, 슬라이싱/연마 공정의 균일성 보장 등이 있습니다.열팽창 계수 0.5×10⁻⁶/°C(25-300°C), 열충격(ΔT ≥800°C)을 견딜 수 있습니다.​​· 화학적 안정성​​:

불산 이외의 모든 산의 부식에 저항하며, 부식 저항성은 세라믹보다 30× 높고 스테인리스 스틸보다 150× 높습니다.​​· 광학적 성능​​:

자외선에서 근적외선 스펙트럼까지 높은 투과율(가시광선 >93%, 근적외선 >95%).​​

A:​​ 주요 과제는 초고순도 유지(>99.999% SiO₂), 결정 성장 중 결함 최소화, 슬라이싱/연마 공정의 균일성 보장 등이 있습니다.모스 경도 7, 압축 강도는 표준 유리보다 우수합니다.응용 분야

​ 6인치석영 웨이퍼1. Q: ​​6인치 석영 웨이퍼의 주요 응용 분야는 무엇입니까?​​

​​2. 광전자 공학​​: 5G 네트워크 및 데이터 센터의 광섬유, 레이저 장치 및 도파관의 기판 역할을 합니다.

3. ​​정밀 광학​​: 적외선 이미징 시스템, 레이저 광학 및 고투과 렌즈에 적용됩니다.

​​4. 센서 및 계측기​​: MEMS 센서 및 의료 진단 장비의 핵심 구성 요소입니다.

5. ​​항공우주​​: 우주선의 고온 광학 창 및 내열 부품.

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석영 튜브는 고순도 석영 유리를 튜브 구조로 제작한 것으로, 반도체 확산/산화 공정 및 태양광 장비에 널리 사용됩니다. 당사의 서비스는 다음과 같습니다.

· ​​맞춤형 가공​​: 내경(5-50mm), 길이(100-1000mm), 벽 두께(0.5-3mm). 복잡한 형상(굽힘, 다중 챔버 튜브) 지원.

· ​​기술적 장점​​: 1100°C에서 장기간 작동, 낮은 수산기 함량(

<1ppm), 높은 오염 저항성으로 반도체 등급 청결 요구 사항을 충족합니다.FAQ