제품 상세 정보:
결제 및 배송 조건:
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화학적 구성 요소:: | Sio; 99.9%; 99.98% | 비중 :: | 2.2 (g/cm³) |
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융해점 :: | 1732 ℃ | 가시 광선 투과율 :: | >93% |
UV 투과율 :: | 80% | 애플리케이션 :: | LED 에피 택시, 정밀 어닐링 |
강조하다: | 융합된 실리카 쿼츠 보트,표면 거칠성 쿼츠 배,SiO2≥99.99% 쿼츠 보트 |
쿼츠 유리 보트는 고온 녹화 과정을 통해 고순도 실리콘 이산화 (SiO2) 로 제조 된 전문 용기입니다.화학적 안정성, 광학 투명성, 그들은 반도체 제조, 실험실 R&D, 의료 장치 및 고온 산업 응용 분야에서 대체 할 수없는 구성 요소로 사용됩니다.재료 성능 한계와 정밀 구조를 균형을 맞추기 위해 설계, 이 보트는 강한 산, 알칼리, 전자기 간섭에 저항하면서 극한 온도 (-270°C ~ 1450°C) 에서 안정적으로 작동합니다.그들은 높은 온도 프로세스 운반자에 널리 사용됩니다.세 번째 세대 반도체와 새로운 에너지 산업의 증가와 함께 칩 제조에서 쿼츠 유리 보트에 대한 수요가 증가했습니다.레이저 포장, 고온 반응 시스템은 계속 성장하고 있으며, 첨단 실험실과 생산 라인에서의 중요한 인프라로서의 역할을 강화합니다.
화학적 성분: | SiO2 99.9%; 99.98% |
밀도: | 2.2 (g/cm3) |
모스 강도: | 6.6 |
녹는점: | 1732 °C |
작동 온도: | 1100 °C |
최대 단기 온도: | 1450 °C |
산성 저항성: | 30 × 세라믹 / 150 × 스테인리스 스틸 |
가시광선 송출량: | >93% |
자외선 전파: | 80% |
전기 저항성: | 10,000× 일반 유리 |
반열점: | 1215 °C |
부드러운 점: | 1730 °C |
종류 | 특징 | 신청서 |
투명한 쿼츠 보트 | JGS1 등급 (UV 등급), OH 함량은 <5ppm, 전파율>90% @185nm | 리토그래피, 에피택시 (광에 민감한 과정) |
불투명한 쿼츠 보트 | 우유 같은 모양, 포러스성 <0.3%, 50% 향상 된 열 충격 저항성 | 디프루션, 굽기 (고온 공정) |
합성 쿼츠 보트 | CVD 처리, 금속 불순물 <0.1ppm, 뛰어난 플라즈마 부식 저항성 | 에치, 이온 이식 (干燥加工) |
도핑 된 쿼츠 보트 | Ti/Ce 도핑, 1300°C까지 결정화 저항 | 단일 결정 실리콘 성장, MOCVD (ultra-high-temperature environments) |
산업 | 전형적인 사용 사례 | 주요 요구 사항 |
반도체 | 웨이퍼 확산, LPCVD 프로세스 캐리어 | 고온 변형 <0.1mm/300mm |
태양광 | PERC 세포 P 확산, TOPCon 터널 옥시드 층 | POCl3 경식 저항 ≥200주기 |
LED 에피타시 | MOCVD 반응 챔버 웨이퍼 홀더 | 표면 거칠성 ≤0.05μm |
정밀 반열 | 자기 물질, 특수 합금 열 처리 | 금속 증기 침식 저항성 |
연구 장비 | 싱크로트론 빔 라인 샘플 홀더, MBE 서브스트라트 | 초고 진공 호환성 (<10−8Pa) |
1극심한 열성능
· 장기 작동 온도: 1100°C (단기 최대 1450°C)
· 1000 열주기 (-196°C~1200°C) 는 균열 없이
2화학적 안정성
· HF (98% H2SO4, 37% HCl 등) 를 제외한 모든 강한 산에 저항합니다.
· 전통적인 세라믹보다 알칼리 저항성이 3배 더 좋습니다.
3. 물리적 특성
· 열 전도성: 1.4 W/m·K (열 축적 방지)
· 다이 일렉트릭 강도: 40 kV/cm (20°C)
4청결 관리
· 10급 청정실에서 생산
· 표면 입자 ≤5 개/cm2 (≥0.3μm)
ZMSH는 반도체, 태양광 및 광전자에 대한 맞춤형 쿼츠 유리 보트를 전문으로합니다. 쿼츠 연구소와 CNAS 인증을 받은 실험실을 갖추고, 우리는 레이저 3D 검사 시스템을 사용하여 ±0.01mm 가공 정확도와 원자 수준 표면 처리를 달성합니다. 우리의 엔지니어링 팀은 구조 설계, 열 시뮬레이션, 프로세스 검증,초고온 (1600°C) 및 극심한 열충격 (ΔT≥1200°C) 응용에 전문성을 갖춘. 10급 청정실과 스마트 생산 라인을 통해 우리는 R&D 프로토타입을 수용합니다.
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1질문: 쿼츠 보트는 어떤 것 입니까?
A: 쿼츠 보트는 반도체 및 실험실 응용 분야에서 웨이퍼 및 샘플의 고온 처리를 위해 사용되는 고 순도의 융합 실리카 용기입니다.
2질문: 쿼츠 는 왜 유리 에 사용 됩니까?
A: 쿼츠 는 열 안정성 (1100°C 까지) 과 광학 명성 (UV 에서 IR 전송) 과 기존 유리 에 비해 화학 저항성 이 뛰어나기 때문 에 유리 에 사용 된다.
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담당자: Mr. Wang
전화 번호: +8615801942596