사파이어 리프트 핀 사파이어 막대기 정밀 제조 산업 용품 웨이퍼 취급

사파이어 리프트 핀 사파이어 막대기 정밀 제조 산업 용품 웨이퍼 취급

ZMSH는 사파이어 리프트 핀의 생산에 특화되어 있으며, 사파이어 크리스탈 재료의 연구 개발, 제조 및 판매에 중점을두고 있습니다.사피어 리프트 핀 은 그 의 뛰어난 강성 으로 유명 합니다, 높은 경화 저항성, 그리고 우수한 광학적 특성을 가지고, 고품질 장비 제조 및 정밀 가공 애플리케이션에 이상적입니다.ZMSH는 맞춤형 처리 서비스를 제공합니다., 다양한 산업 요구 사항을 충족시키기 위해 다양한 사피어 리프트 핀을 설계하고 생산 할 수 있습니다.

기술 사양

핵심 기능소재는:

사파이어 리프트 핀은 반도체 및 LED 제조 장비의 중요한 구성 요소이며 주로 웨이퍼 전송 및 배치에 사용됩니다.

1웨이퍼 지원 및 수직 움직임

얇은 필름 퇴적 (예를 들어, MOCVD), 에칭 또는 리토그래피 프로세스에서 로봇 팔은 사파이어 리프트 핀을 작동시켜 챔버 바닥에서 상승하여 웨이퍼를 정확하게 지원합니다.2/4/6-인치 기판) 로딩 및 배하 작업을 용이하게 하기 위해 평면 위치 유지.

2고온 환경에서 안정적인 성능

사파이어 (일체 결정 Al2O3) 는 2050°C의 매우 높은 녹는점을 자랑하며 1000°C 이상의 장기 작동을 가능하게합니다.금속 핀의 전형적인 열 변형 또는 웨이퍼 오염 위험 없이.

3. 공정 무결성을 위한 화학적 무력성

산, 알칼리, 플라즈마 환경에 대한 특별한 저항성으로, 사파이어는 에치 또는 CVD 프로세스 중에 불순물 방출을 방지합니다.제조 순수성 확보 (특히 SiC/GaN와 같은 넓은 대역 반도체에 중요한).

주요 이점
 

1극저 오염: 금속 (예를 들어, 몰리브덴) 또는 세라믹 (예를 들어, AlN) 대안과 비교하면 사파이어는 10급 청정실 표준을 충족하여 최소한의 미세먼지 분출을 발생시킵니다.

2예외적인 경화 (Mohs 9): 표면 경화 저항은 10만 회전 이상 서비스 수명을 확장 쿼츠 핀보다 5~8배 더 길다.

3. 맞춤형 열 확장 계수: SiC / GaN 웨이퍼 (~ 7.5 × 10 - 6 ° C) 와 긴밀하게 정렬하면 열 스트레스로 인해 변형 또는 균열이 최소화됩니다.

전형적 사용법소재는:

1. LED 에피타시얼 웨퍼 생산: MOCVD 원자로에서 GaN 에피타시얼 성장 중에 사피르 기판을 지원합니다.

2전력 반도체 제조: SiC 웨이퍼에 대한 고온 이온 이식 또는 고열 과정을 가능하게합니다.

3첨단 포장: 웨이퍼 레벨 포장 (WLP) 에서 초 얇은 웨이퍼 (厚度 <100μm) 를 위해 마이크로 레벨 정밀 위치 처리를 보장합니다.

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ZMSH는 고품질의 사파이어 막대기를 전문으로 하고 있습니다.우리는 정확한 사양을 충족하기 위해 정밀 가공을 제공합니다.