|
제품 상세 정보:
결제 및 배송 조건:
|
| Item:: | Silicon carbide ceramic chuck | Thermal Stability:: | High Temperature Stability |
|---|---|---|---|
| Type:: | Ceramic Plate | Max Use:: | 1800 ºC |
| Tolerance:: | ±0.001 mm or Custom | Size:: | Customized |
| Specification:: | Customize | Usage:: | Photoelectric Lighting, Semiconductor |
| 강조하다: | SIC 실리콘 카바이드 세라믹 턱,고 정밀 세라믹 턱,진공 흡수기 세라믹 턱 |
||
제품 요약
실리콘 카비드 세라믹 턱/트레이는 반도체, LED, 태양광 및 기타 정밀 제조 분야에서 사용되는 고성능 장착 장치로 주로 웨이퍼를 고정하고 운반하는 데 사용됩니다.사피르 기판, 실리콘 웨이퍼 및 기타 재료. 그 핵심 재료는 정밀 가공으로 만들어지는 실리콘 카비드 (SiC) 이며, 뛰어난 물리적 및 화학적 특성을 가지고 있습니다.고 정밀과 높은 안정성의 처리 요구를 충족시킬 수 있습니다..
제품 매개 변수
| (물질 재산) | (단위) | (시시) | |
| (SiC 함량) | (Wt) % | >99 | |
| (평균 곡물 크기) | 미크론 | 4~10 | |
| (밀도) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (보기에 엽기성) | 1% | <0.5 | |
| (비커스 단단함) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *() 굽힘 강도* (3점) |
20oC | MPa | 450 |
| (압축 강도) | 20oC | MPa | 3900 |
| (탄력 모듈) | 20oC | GPa | 420 |
| (절개 강도) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (열전도) | 20°oC | W/(m*K) | 160 |
| (반응성) | 20°oC | 오프.cm | 106-108 |
(열력 확장 계수) |
a(RT**...80oC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(최대 작동 온도) |
ooC | 1700 | |
제품 특징
1.ultra-high 강도 및 마모 저항: 실리콘 카바이드 강도는 다이아몬드에 가깝고, 뛰어난 마모 저항, 장기간 고 강도 처리에 견딜 수 있으며, 서비스 수명을 크게 연장합니다..
2열 관리 성능이 뛰어나다. high thermal conductivity and low thermal expansion coefficient to ensure rapid heat dissipation in high temperature environments and maintain dimensional stability to avoid deformation caused by thermal stress.
3우수한 화학적 안정성: 강한 부패 저항성, 산, 알칼리 및 다양한 화학 용매에 견딜 수 있으며 가혹한 공정 환경에 적합합니다.
4높은 평면성 및 표면 완성: 정밀 가공 후, 표면 평면성은 마이크로 수준까지이며, 가공 중에 높은 정확성과 낮은 오염을 보장합니다.
제품 사용
반도체 제조에서, 실리콘 카비드 세라믹 턱은 고 정밀 처리를 보장하기 위해 웨이퍼 절단, 닦기, 리토그래피 및 기타 주요 프로세스에 사용될 수 있습니다.LED 생산에서 사파이어 기판 가공용 베어링 플랫폼으로, 그것은 절단, 밀링 및 부피 성장 지원 합니다.
또한, 실리콘 카바이드 세라믹 턱은 CVD와 PVD와 같은 고온 장비의 트레이로 사용됩니다.극한 환경에도 견딜 수 있는 고온 프로세스를 사용하여 안정성을 유지합니다.태양광 산업에서는 가공 효율과 생산량을 향상시키기 위해 실리콘 웨이퍼 절단 및 얇은 필름 태양 전지 제조에 사용됩니다.
제품 표시
제품 질문 및 답변
1.Q: 실리콘 카바이드 세라믹 턱은 무엇입니까?
A: 실리콘 카바이드 세라믹 턱은 반도체, LED 및 태양광 제조에 사용되는 고성능 장착 장치이며 주로 웨이퍼, 사피르 기판 및 기타 재료를 보관하고 운반하는 데 사용됩니다.고강도, 높은 열 전도성 및 우수한 화학 안정성.
2.Q: 실리콘 카바이드 세라믹 턱의 주요 장점은 무엇입니까?
A: 실리콘 카바이드 세라믹 턱의 주요 장점은 높은 마모 저항성, 우수한 열 관리 성능, 높은 평면성 및 부식 저항성,고 정밀 가공 및 고온 공정의 요구를 충족시킬 수 있습니다..
태그: #SIC, #실리콘카바이드 세라믹 턱, #세라믹 요소, #실공 흡수자 사용자 정의, #고속 정밀
담당자: Mr. Wang
전화 번호: +8615801942596
