웨이퍼 표면 프로필 매개 변수 Bow, Warp, TTV는 칩 제조에서 고려해야 할 매우 중요한 요소입니다.이 세 가지 매개 변수는 함께 실리콘 웨이퍼의 평면성과 두께 균일성을 반영하며 칩 제조 과정의 많은 핵심 단계에 직접적인 영향을 미칩니다.
TTV는 실리콘 웨이퍼의 최대 두께와 최소 두께의 차이입니다.이 매개 변수는 실리콘 웨이퍼의 두께 균일성을 측정하는 데 사용되는 중요한 지표입니다.반도체 공정에서 실리콘 웨이퍼의 두께는 전체 표면에 매우 균일해야 합니다.측정은 보통 실리콘 웨이퍼의 5개의 위치에서 이루어지며 최대 차이는 계산된다.결국 이 값은 실리콘 웨이퍼의 품질을 판단하는 기초입니다.실제 응용 프로그램에서 4인치 실리콘 웨이퍼의 TTV는 일반적으로 2um 미만이며 6인치 실리콘 웨이퍼의 TTV는 일반적으로 3um 미만입니다.
굴복
반도체 제조에서 구는 실리콘 웨이퍼의 구부러짐을 의미합니다.이 단어 는 아마도 활 의 구부러진 모양 처럼 구부러진 물체 의 모양 을 묘사 하는 것 에서 유래 한 것 같습니다.보우 값은 실리콘 웨이퍼의 중심과 가장자리 사이의 최대 오차를 측정하여 정의됩니다.이 값은 일반적으로 마이크로미터 (μm) 로 표현됩니다.4인치 실리콘 웨이퍼의 SEMI 표준은 Bow<40m.
워프
워크 (warp) 는 실리콘 웨이퍼의 총적인 특징으로, 웨이퍼 표면의 평면으로부터의 최대 거리를 나타냅니다.이것은 실리콘 웨이퍼의 가장 높고 가장 낮은 점 사이의 거리를 측정합니다.4인치 실리콘 웨이퍼의 SEMI 표준은 Warp<40m.
TTV, Bow, Warp의 차이는 뭐죠?
이 세 가지 매개 변수는 실리콘 웨이퍼의 모양과 기하학적 특성에 관련이 있지만 측정 및 설명은 다릅니다.반도체 공정과 웨이퍼 처리에도 영향을 미칩니다..
우선, 세 가지 매개 변수가 작을수록 더 좋습니다. TTV, Bow, Warp가 클수록 반도체 과정에 부정적인 영향이 더 커집니다.그래서 세 가지의 값이 표준을 초과하면, 실리콘 칩은 폐기됩니다.
초점 깊이 문제: 석판 촬영 도중 초점 깊이가 변하여 패턴의 선명성에 영향을 줄 수 있습니다.
정렬 문제: 정렬 도중 웨이퍼가 이동하여 층 간의 정렬 정확성에 영향을 줄 수 있습니다.
불규칙한 닦기: CMP 도중 불규칙한 닦기를 초래하여 표면 거칠성 및 잔류 스트레스가 발생할 수 있습니다.
불균형 퇴적: 마주나고 웅덩이 된 웨이퍼는 퇴적 과정에서 퇴적 된 필름의 불균형 두께를 유발할 수 있습니다.
로딩 문제: 웅덩이 모양 및 웅덩이 모양의 웨이퍼는 자동 로딩 도중 웨이퍼에 손상을 줄 수 있습니다.
마지막으로, 반도체 전문가로서, 우리는 전체 공정 과정에 대한 웨이퍼 프로필 매개 변수의 중요성을 인식하고 반도체 프로세스를 할 때 세부 사항에주의를 기울여야합니다.
