사파이어 웨이퍼 는 희석성 사파이어 의 얇은 조각 이며, 이 물질 은 그 의 탁월 한 단단 과 투명성 으로 널리 알려져 있다. 사파이어 또는 알루미늄 산화물 (Al2O3),코룬드의 결정 형태입니다사파이어 웨이퍼는 전자 및 광 전자 산업에서 광범위하게 사용되며, 특히 내구성이 필요한 응용 프로그램에서 사용된다.고성능 기판 재료.
| 탕다드 웨이퍼 (자격화)2인치 C 평면 사파이어 웨이퍼 SSP/DSP 3인치 C 평면 사파이어 웨이퍼 SSP/DSP 4인치 C 평면 사파이어 웨이퍼 SSP/DSP 6인치 C 평면 사파이어 웨이퍼 SSP/DSP |
특별 절단 A 평면 (1120) 사파이어 웨이퍼 R 평면 (1102) 사파이어 웨이퍼 M 평면 (1010) 사파이어 웨이퍼 N 평면 (1123) 사파이어 웨이퍼 C축, 0.5°~4°의 오프컷으로 A축 또는 M축을 향해 다른 맞춤형 방향 |
| 사용자 정의 크기 10*10mm 사파이어 웨이퍼 20*20mm 사파이어 웨이퍼 초얇은 (100um) 사파이어 웨이퍼 8인치 사파이어 웨이퍼 |
패턴화된 사피르 기판 (PSS) 2인치 C 평면 PSS 4인치 C 평면 PSS |
| 2인치 | DSP C-AXIS 0.1mm/0.175mm/0.2mm/0.3mm/0.4mm/0.5mm/1.0mmt SSP C축 0.2/0.43mm(DSP&SSP) A축/M축/R축 0.43mm |
| 3인치 | DSP/SSP C축 0.43mm/0.5mm |
| 4인치 | dsp c축 0.4mm/0.5mm/1.0mmssp c축 0.5mm/0.65mm/1.0mmt |
| 6인치 | ssp c축 1.0mm/1.3mmm dsp c축 0.65mm/0.8mm/1.0mmt |
기판에 대한 사양
| 방향성 | R 평면, C 평면, A 평면, M 평면 또는 지정된 방향 |
| 오리엔테이션 관용 | ± 0.1° |
| 직경 | 2인치, 3인치, 4인치, 5인치, 6인치, 8인치 또는 다른 |
| 지름 허용 | 02인치에 0.1mm, 3인치에 0.2mm, 4인치에 0.3mm, 6인치에 0.5mm |
| 두께 | 00.08mm,00.1mm,0.175mm0.25mm, 0.33mm, 0.43mm, 0.65mm, 1mm 또는 기타 |
| 두께 허용 | 5μm |
| 기본 평면 길이 | 162인치에 0.0±1.0mm, 3인치에 22.0±1.0mm, 4인치에 30.0±1.5mm, 6인치에 47.5/50.0±2.0mm |
| 기본 평면 방향 | A 평면 (1-2 0) ± 0.2°; C 평면 (0 0-0 1) ± 0.2°, 투사 C 축 45 +/- 2° |
| TTV | 2인치에 ≤7μm, 3인치에 ≤10μm, 4인치에 ≤15μm, 6인치에 ≤25μm |
| BOW | 2인치에 ≤7μm, 3인치에 ≤10μm, 4인치에 ≤15μm, 6인치에 ≤25μm |
| 앞면 | 에피 폴리스 (C 평면에서 Ra < 0.3nm, 다른 방향에서는 0.5nm) |
| 뒷면 | 얇게 닦은 (Ra=0.6μm~1.4μm) 또는 에피 폴리싱 |
| 포장 | 100급 청정실 환경에서 포장 |
사파이어 웨이퍼는 녹은 알루미늄 산화물에서 큰 단일 결정 사파이어 볼을 재배하는 Czochralski 방법 (또는 Kyropoulos 방법) 이라고 불리는 과정을 통해 제조됩니다.이 덩어리 들 을 다이아몬드 와이어 톱 을 사용 하여 원하는 두께 의 와이프 로 잘라슬라이싱 후, 웨이퍼는 부드럽고 거울 같은 표면을 얻기 위해 닦아집니다.
강도: 사파이어 는 광물 강도 의 모스 척도 에서 9 위 를 차지 하며, 다이아몬드 다음 으로 두 번째로 단단 한 물질 이다.이 탁월 한 경직성 은 사파이르 와이프가 긁히거나 기계적 손상을 입는 데 매우 견딜 수 있게 한다.
열 안정성: 사파이어는 약 2,030°C (3,686°F) 의 녹는점으로 높은 온도에 견딜 수 있습니다. 이것은 다른 재료가 실패 할 수있는 높은 온도 애플리케이션에 이상적입니다.
광학 투명성: 사파이어는 가시광선, 자외선, 적외선 등 다양한 파장 범위에서 매우 투명하다.이 특성 은 사파이어 와이퍼 를 광학 장치 에 사용 하기 위해 이상적 으로 만든다, 창문, 센서
전기 단열: 사피어는 높은 변압력으로 우수한 전기 단열제입니다. 이것은 전기 단열이 중요한 애플리케이션에 적합합니다.예를 들어 특정 유형의 마이크로 전자 장치에서.
화학물질 저항성: 사파이어는 화학적 으로 무활성 이며, 산, 염기, 그리고 다른 화학물질의 부식 에 매우 저항력 이 있어 혹독 한 환경 에서 오래 지속 됩니다.
빛 방출 다이오드 (LED): 사파이어 웨이퍼는 일반적으로 갈륨 나트라이드 (GaN) LED, 특히 파란색과 흰색 LED의 제조에서 기판으로 사용됩니다.사파이어의 격자 구조는 GaN와 잘 일치합니다., 효율적인 빛 방출을 촉진합니다.
반도체 장치: LED 외에도 사파이어 웨이퍼는 전파 (RF) 장치, 전력 전자제품,그리고 견고하고 단열적인 기판이 필요한 다른 반도체 응용 프로그램.
광학 창문 및 렌즈: 사피어의 투명성과 경도는 광학 창문, 렌즈 및 카메라 센서 커버에 훌륭한 재료로 만듭니다.종종 항공우주 및 국방 산업과 같은 혹독한 환경에서 사용됩니다..
웨어러블 및 전자: 사파이어는 스크린, 스마트 폰 및 기타 소비자 전자 장치의 내구적인 커버 재료로 사용되며 스크래치 저항성 및 광학 선명성으로 인해 사용됩니다.
사파이어 웨이퍼는 특정 응용 분야에서 뚜렷한 장점을 가지고 있지만 반도체 산업에서 가장 일반적인 기판 물질인 실리콘 웨이퍼와 종종 비교됩니다.
실리콘 웨이퍼는 반도체 물질인 결정적 실리콘의 얇은 슬라이스입니다. 그들은 현대 전자 산업의 기초이며 통합 회로 (IC) 제조에 사용됩니다.트랜지스터실리콘 웨이퍼는 전기 전도성, 반도체 특성을 향상시키기 위해 불순물으로 도핑 할 수있는 능력으로 알려져 있습니다.
전기 전도성: 사파이어와 달리 실리콘은 반도체이며, 특정 조건 하에 전기를 전도할 수 있다는 뜻입니다.이 특성 때문에 실리콘은 트랜지스터와 같은 전자 기기를 만드는 데 이상적입니다., 다이오드, 그리고 IC.
비용: 실리콘 웨이퍼는 일반적으로 사피어 웨이퍼보다 생산 비용이 저렴합니다. 이것은 실리콘이 자연에서 더 풍부하기 때문입니다.그리고 실리콘 웨이퍼 제조의 프로세스는 더 안정적이고 효율적입니다..
열전도성: 실리콘은 좋은 열전도성을 가지고 있으며, 이는 전자 장치에서 열을 분산시키는 데 중요합니다.극한 온도 환경에서는 사파이어만큼 열적으로 안정적이지 않습니다..
유연성: 실리콘은 전기적 특성을 변경하기 위해 붕소나 인산염과 같은 요소로 쉽게 도핑될 수 있습니다.이는 반도체 산업에서 광범위하게 사용되는 핵심 요소입니다..
| 재산 | 사파이어 웨이퍼 | 실리콘 웨이퍼 |
|---|---|---|
| 소재 | 크리스탈린 알루미늄 산화물 (Al2O3) | 크리스탈린 실리콘 (Si) |
| 단단함 | 모스 척도의 9 (매우 단단) | 6모스 척도의 0.5 |
| 열 안정성 | 극도로 높은 (융기점 ~ 2,030°C) | 중등 (융기점 ~ 1,410°C) |
| 전기 특성 | 단열기 (전도적이지 않은) | 반도체 (전도) |
| 광적 투명성 | 자외선, 가시광선 및 적외선 투명성 | 불투명 |
| 비용 | 더 높은 | 아래쪽 |
| 화학물질 저항성 | 훌륭해요 | 중간 |
| 신청서 | LED, RF 장치, 광학 창문, 웨어러블 | IC, 트랜지스터, 태양 전지 |
사파이어와 실리콘 웨이퍼의 선택은 주로 특정 응용 프로그램에 달려 있습니다.
사파이어 웨이퍼: 극도의 내구성, 고온 저항, 광 투명성 및 전기 단열을 요구하는 응용 프로그램에 이상적입니다. 이들은 광 전자,특히 LED의 경우, 그리고 기계적 강도와 화학 저항이 필수적인 환경.
실리콘 웨이퍼: 반도체 특성과 비용 효율성,그리고 전자 산업의 잘 정립 된 제조 프로세스실리콘은 통합 회로와 다른 전자 장치의 척추입니다.
전자제품, 광전자제품, 웨어러블 기기 등에 더 내구성 있고 고성능 물질에 대한 수요가 증가함에 따라 사파이어 웨이퍼는 점점 더 중요한 역할을 할 것으로 예상됩니다.그 들 의 독보적 인 단단 한 조합, 열 안정성, 투명성 때문에 차세대 디스플레이, 첨단 반도체 장치 및 견고한 광학 센서 등 최첨단 기술에 적합합니다.
사파이어 웨이퍼 생산 비용이 감소하고 제조 프로세스가 개선됨에 따라 우리는 산업 전반에 걸쳐 광범위한 채택을 예상 할 수 있습니다.현대 기술에서 중요한 재료로서의 위치를 더욱 강화합니다..
