쿼츠 초점 반지는 뭐죠?




쿼츠 포커스 링은 반도체 플라즈마 에칭 프로세스에서 중요한 소모 부품입니다.그것은 일반적으로 고 순수성 융합 쿼츠로 만들어지며 칩 제조에서 필수적인 역할을합니다.그것의 핵심 기능은 웨이퍼 표면에 걸쳐 매우 균일한 발각 성능을 보장하기 위해 플라즈마를 제한하고 안내하는 것입니다.


 

핵심 기능: 왜 그레이팅 과정에 필수적인가?

플라즈마 에칭 도중, 쿼츠 초점 고리는 주로 다음의 주요 작업을 수행합니다:

• 유니폼 에칭을 위한 플라즈마 집중: 특수 설계를 통해, 그것은 웨이퍼 가장자리에서도 플라즈마를 안정적이고 균일하게 유지합니다. 웨이퍼 주변 전기장을 최적화함으로써,그것은 "변 효과"를 제거하고 전체 웨이퍼 표면에 매우 일관된 에치 속도와 중요한 차원 (CD) 을 보장합니다..
   
• 고부가가치 장비 보호 및 부품 사용 수명 연장: 포커스 링은 소비 가능한 보호 방패로 작용하여 전기 정적 턱 (ESC) 과 같은 기본 핵심 정밀 구성 요소를 손상으로부터 보호합니다.
   
• 오염을 방지하고 웨이퍼 생산량을 보호: 쿼츠 자체 는 금속 과 같은 유해 한 불순물 을 함유 하지 않으며, 플라스마 노출 에 의해 산소를 천천히 방출 한다.이 산소는 발사 과정에서 생성된 폴리머와 반응하여 CO와 CO2와 같은 쉽게 펌프가스를 형성합니다., 효과적으로 웨이퍼 뒷면에 오염을 방지합니다.

핑게 반도체 (Jingge Semiconductor) 고순도 쿼츠 장치 (5N, 6N 순도) 의 맞춤 처리, 합성 쿼츠, 가스 융합 쿼츠, 전기 융합 쿼츠, 쿼츠 부품, 쿼츠 에치 링,쿼츠 포커스 링, 쿼츠 웨이퍼, 광학 쿼츠 시트 등 전화: 17826693981.



왜 쿼츠 를 사용 합니까?
 

포커스 링에는 여러 가지 재료 옵션이 있지만, 쿼츠는 특유의 조합으로 돋보인다.

• 초고 순수성: 반도체 수준의 쿼츠는 일반적으로 99.998% 이상의 순도를 달성하여 웨이퍼에 금속 불순물 오염을 최소화합니다.
• 화학적 부식 저항성: 쿼츠는 매우 부식성 경색 가스 (CF4, SF6 및 Cl2) 및 플라스마 공격의 침식에 견딜 수 있습니다.
• 우수한 열 안정성: 쿼츠는 1000°C 이상의 온도를 견딜 수 있으며 극히 낮은 열 팽창 계수를 가지고 있으며, 고온 공정에서 정확한 차원 안정성을 보장합니다.
• 유리한 다이 일렉트릭 특성: 이의 변압성 상수 (약 3.8) 는 원하는 플라즈마 집중 성능을 지원합니다.
  
  
  
  제조 및 시장: 정밀 가공 및 글로벌 공급
  
  
   
• 정밀 가공: 쿼츠 포커스 링의 생산은 매우 높은 정확도를 요구하며, 첨단 5축 CNC 가공 및 닦기 기술을 요구합니다.주요 차원 허용값은 ±0에서 제어할 수 있습니다..02 mm 또는 ±0.001 mm, 표면 거칠성 (Ra) 은 0.002 μm 이하입니다.
• 주요 제조업체: 글로벌 시장의 주요 플레이어들은 엔테그리스, 코어스텍, 헤라우스 쿼츠, 토소 쿼츠와 같은 국제적 리더들,젠바오 테크놀로지와 진게 반도체이 제품은 일반적으로 MXP + 및 Centura 시리즈와 같은 응용 재료 (AMAT) 의 주류 에칭 플랫폼과 호환됩니다.