웨이퍼 평면과 크치 사이의 연결
웨이퍼 평면과 크치는 웨이퍼 제조 과정에서 웨이퍼 지향을 결정하는 데 사용되는 중요한 특징이며 웨이퍼 처리, 정렬 및 검사에서 중요한 역할을합니다.
1웨이퍼 플래트
웨이퍼 평면은 웨이퍼의 외부 가장자리의 평면 부분을 의미합니다.웨이퍼의 특정 방향을 표시하고 웨이퍼를 처리하고 폐기하는 동안 웨이퍼가 올바르게 정렬 될 수 있는지 확인하는 데 사용됩니다.이 장치에 있는 웨이퍼를 올바르게 배치하는 데 도움이 되는 나침반 포인터라고 생각해보세요.
기능 및 효과:
방향 표시: 위치 가장자리는 일반적으로 웨이퍼의 특정 결정 표면 방향을 보여줍니다. 예를 들어 P형 <100> 실리콘 웨이퍼의 경우위치 가장자리는 그것의 주요 방향을 표시하는 데 도움이 될 수 있습니다이것은 서로 다른 결정 지향을 가진 실리콘 결정 구조가 물리적 및 전기적 특성에 따라 다르기 때문입니다.그리고 웨이퍼 위치 가장자리의 역할은 웨이퍼 처리 중에 크리스탈 방향이 올바르게 식별되도록 보장하는 것입니다.
정렬 표시: 웨이퍼 제조에서 리토그래픽 정렬, 에칭 정렬 등 여러 단계 정렬 작업을 수행해야합니다.위치 표시 가장자리는 지도 상의 좌표 지표와 같아서 장치가 웨이퍼 위치를 정렬하고 처리 정확성을 보장하도록 돕습니다.
예제 비유: 웨이퍼의 위치 가장자리는 퍼즐의 지표 선과 비교할 수 있습니다.우리는 퍼즐을 제대로 풀지 못할 수도 있습니다..
2웨이퍼 노치
웨이퍼 톱니 (wafer notch) 는 웨이퍼의 외부 가장자리에 있는 작은 절단이나 톱니이다. 이 갈라지는 포지셔닝 톱니와 유사하며 웨이퍼의 방향을 표시하는 역할도 한다.하지만 그 형태와 기능은 다릅니다.일반적으로, 톱니가 물리적 인 톱니이며 위치 가장자리는 평평합니다.
기능 및 효과:
정밀한 위치: 노치는 특히 300mm 웨이퍼와 같은 더 큰 웨이퍼에서 더 정확한 방향 식별을 제공하기 위해 종종 사용됩니다. 노치를 통해제조 장비는 웨이퍼의 방향을 더 쉽게 식별 할 수 있습니다., 웨이퍼의 회전이나 가벼운 움직임으로 인한 정렬 오류를 피합니다.
정렬 오류 를 피한다. 이 톱니 는 자동화 장비 가 공정 도중 웨이퍼 를 보다 안정적 으로 지향 하도록 도와 주는 마커 로 작용 한다. 인간 오류 를 줄이고 생산성 을 높인다.
예를 들어, 당신은 차 타이어의 밸브 위치와 인치를 비교할 수 있습니다. 하지만 그것은 타이어의 회전에 영향을 미치지 않습니다.하지만 타이어를 정확하게 설치할 수 있도록 타이어를 배치하는 핵심 포인트입니다..
3. 웨이퍼 평면과 톱니 사이의 연결
웨이퍼 플래트와 인치는 웨이퍼 제조 과정에서 상호 보완적입니다. 플래트는 웨이퍼에 대한 일반적인 방향 지표를 제공합니다.그 동안 notches는 더 정확한 위치화를 위해 물리적 마커를 제공합니다둘 다 대부분의 응용 프로그램, 특히 큰 웨이퍼 (예를 들어 300mm 웨이퍼) 에 존재합니다.
웨이퍼 가공에서 협력 역할:
평면은 웨이퍼의 일반적인 방향을 결정하고 웨이퍼의 초기 정렬을 보장합니다.인치는 또한 장치가 보다 정확하게 방향성을 식별하는 데 도움이되는 물리적 특징을 제공합니다, 제조 프로세스 전체의 정확성을 보장합니다.
4- 실용적 적용에서 주목해야 할 점
생산 도중의 충격: 평면 및 크치의 정확성은 전체 웨이퍼의 가공 정확성에 중요합니다. 이러한 기능의 위치에서 오류가 발생하면,전체 웨이퍼의 전기적 특성이 불안정해질 수 있습니다., 최종 칩의 성능에 영향을 미칩니다. 따라서 생산 과정에서 이러한 특징의 정확성을 보장하는 것이 매우 중요합니다.
표기 방법의 차이: 다른 웨이퍼 공급 업체는 다른 표기 방법을 사용할 수 있습니다. 예를 들어, 일부 웨이퍼는 평평하고 톱니가 없을 수 있습니다. 일부는 평평에 톱니가 추가 될 수 있습니다.이 표지판을 디자인할 때, 장비의 호환성과 생산 과정의 요구 사항이 고려되어야 합니다.
5결론
웨이퍼 평면과 크기는 외형적으로 다르지만 함께 웨이퍼 방향을 표시하고 정렬 정확성을 보장하는 데 중요한 역할을합니다. 평면은 나침반과 비슷합니다.일반적인 방향을 결정하는 데 도움이 됩니다이 두 가지 특징은 현대 웨이퍼 제조에서 필수적인 특징입니다.특히 큰 크기의 웨이퍼 생산에, 더 중요한 역할을 합니다.
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