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웨이퍼 핸들링용 SiC 세라믹 엔드 이펙터 - 반도체 공정용 부식 및 내열성

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December 09, 2025
카테고리 연결: 실험실 래퍼
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태그:
#Single Tray Sapphire Parts #2inch Sapphire Wafer #Sapphire Wafer Single Packaging
개요: 다른 옵션과 비교하여 어떤지 궁금하십니까? 데모를 보고 스스로 결정하세요. 이 동영상에서는 SiC 세라믹 엔드 이펙터의 실제 작동 모습을 보여주며 고온 및 부식성 반도체 처리 환경에서 정밀한 웨이퍼 핸들링 기능을 보여줍니다. 고순도 SiC 구조가 어떻게 클린룸 응용 분야의 신뢰성과 낮은 입자 발생을 보장하는지 확인할 수 있습니다.
관련 제품 특징:
  • 탁월한 성능을 위해 순도 ≥99%의 고순도 탄화규소(SiC)로 제작되었습니다.
  • 최대 1600°C의 극한 온도를 견딜 수 있어 고열 반도체 공정에 이상적입니다.
  • 산, 염기 및 플라즈마 환경에 대한 내성이 뛰어나 화학적 안정성을 보장합니다.
  • 내구성을 위해 400 MPa 이상의 굽힘 강도로 높은 기계적 강도를 제공합니다.
  • 저발진 설계로 Class 1~100 클린룸의 청결도를 유지합니다.
  • 로봇 팔과 호환되며 4인치~12인치 웨이퍼에 사용할 수 있는 맞춤형 크기입니다.
  • 특정 사용자 요구 사항을 충족하기 위해 광택 또는 무광택 표면 마감을 제공합니다.
  • 웨이퍼 운송, 에칭 및 증착 시 치수 정확성과 신뢰성을 보장합니다.
질문과대답:
  • SiC 세라믹 엔드 이펙터에 사용되는 재료는 무엇입니까?
    SiC 세라믹 엔드 이펙터는 순도 ≥99%의 고순도 탄화규소(SiC)로 제작되어 열악한 반도체 처리 환경에 탁월한 내열성, 기계적 강도 및 화학적 안정성을 제공합니다.
  • SiC 세라믹 엔드 이펙터는 어떤 응용 분야에 적합합니까?
    웨이퍼 핸들링, 에칭 및 증착과 같은 반도체 처리, 로봇 팔 통합, 패키지 테스트 및 칩 분류에 이상적이며 다양한 제조 단계에서 안정적인 성능을 보장합니다.
  • SiC 세라믹 엔드 이펙터는 클린룸 환경과 호환됩니까?
    예, SiC 세라믹 엔드 이펙터는 클래스 1-100 클린룸에서 사용하기에 적합하며 최적의 청결도와 초청정 반도체 제조 환경과의 호환성을 보장합니다.
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