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레이저 마이크로젯 절단 (LMJ) 장비

sapphire glass
April 02, 2025
카테고리 연결: 반도체 장비
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태그:
#4 인치 SiC 진열 성장 오븐 #8 인치 SiC 진통 성장 오븐 #6 인치 SiC 링고트 성장 오븐
개요: 금속 및 실리콘 카바이드 웨이퍼의 초정밀 슬라이싱을 위해 설계된 최첨단 마이크로젯 레이저 기술 장비를 만나보세요. 이 첨단 시스템은 고에너지 펄스 레이저와 마이크론 규모의 액체 제트를 결합하여 반도체 및 항공우주 분야에 이상적인 고정밀, 저손상, 고효율 가공을 제공합니다.
관련 제품 특징:
  • 고 정밀 기계 가공, 위치 정밀도 +/-5μm 및 반복 정밀도 +/-2μm.
  • 40μm 노즐을 사용하여 35μm에 이르는 좁은 절단 너비로 초얇은 웨이퍼 가공.
  • 탈이온수 또는 불활성 액체를 사용하여 환경 오염 없이 깨끗하게 처리합니다.
  • 자동화된 프로세싱은 노동 비용을 줄이고 효율성을 높입니다.
  • 3세대 반도체인 SiC/GaN, 항공우주 재료, 세라믹 기판에 적합합니다.
  • 높은 가공 성분, 표면 거칠성 Ra≤1.6um, 선형 절단 속도 ≥50mm/s
  • 300*300*150mm 또는 400*400*200mm의 카운터 톱 볼륨으로 컴팩트한 디자인.
  • 3축, 3+1축, 3+2축 구성 등 다재다능한 수치 제어 옵션
질문과대답:
  • 마이크로젯 레이저 기술 장비의 주요 장점은 무엇입니까?
    장점 에는 고 정밀 한 가공, 우수한 냉각 효과, 열 에 영향을 받는 구역 이 없고, 평행 절단 가장자리, 효율적 인 성능 이 있으며, 단단 하고 부서지기 쉬운 재료 에 이상적 이 된다.
  • 마이크로 제트 레이저 기술 장비는 어떤 분야에서 사용됩니까?
    그것은 세 번째 세대의 반도체, 항공우주 재료, 다이아몬드 절단, 금속화 다이아몬드, 세라믹 기판 및 기타 정밀 가공 응용 분야에서 널리 사용됩니다.
  • 마이크로젯 레이저 장비의 처리 능력은 무엇입니까?
    장비는 재료 특성에 따라 표면 거칠기 Ra≤1.6um, 개방 속도 ≥1.25mm/s, 원주 절단 ≥6mm/s, 선형 절단 속도 ≥50mm/s를 달성할 수 있습니다.
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