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| 원래 장소 | 중국 |
| 브랜드 이름 | zmsh |
| 모델 번호 | sic 6inch 4h-n |
| 재산 | 4H SiC의 단결정 | 6H SiC의 단결정 |
| 격자 모수 | a=3.076 Å c=10.053 Å | a=3.073 Å c=15.117 Å |
| 순서를 겹쳐 쌓이기 | ABCB | ABCACB |
| Mohs 경도 | ≈9.2 | ≈9.2 |
| 조밀도 | 3.21 g/cm3 | 3.21 g/cm3 |
| Therm. 확장 계수 | 4-5×10-6/K | 4-5×10-6/K |
| 굴절 색인 @750nm |
= 2.61 ne = 2.66 |
= 2.60 ne = 2.65 |
| 절연성 불변의 것 | c~9.66 | c~9.66 |
| 열 전도도 (N 유형, 0.02 ohm.cm) |
a~4.2 W/cm·K@298K c~3.7 W/cm·K@298K |
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| 열 전도도 (반 격리) |
a~4.9 W/cm·K@298K c~3.9 W/cm·K@298K |
a~4.6 W/cm·K@298K c~3.2 W/cm·K@298K |
| 밴드 간격 | 3.23 eV | 3.02 eV |
| 고장 전기장 | 3-5×106V/cm | 3-5×106V/cm |
| 포화 표류 속도 | 2.0×105m/s | 2.0×105m/s |
| 인치 직경 6개 실리콘 탄화물 (SiC) 기질 명세 |
| 급료 | Z 급료 | P 급료 | R 급료 | D 급료 | |
| 영 MPD | 생산 | 연구 급료 | 거짓 급료 | ||
| 직경 | 150mm±0.5 mm | ||||
| 간격 | 주문을 받아서 만들어진 크기에 의하여 350 μm±25μm 또는 500±25um 또는 | ||||
| 웨이퍼 오리엔테이션 | 축선 떨어져: 4H-N를 위한 <1120> ±0.5°로 4.0° | ||||
| Micropipe 조밀도 | ≤1cm-2 | ≤5 cm-2 | ≤15 cm-2 | ≤50 cm-2 | |
| 저항력 | 4H-N | 0.015~0.028 Ω·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 Ω·cm | ||||
| 1 차적인 평지 | {10-10} ±5.0° | ||||
| 1 차적인 편평한 길이 | 47.5mm±2.5 mm | ||||
| 가장자리 배타 | 3mm | ||||
| TTV/Bow /Warp | ≤15μm/≤40μm/≤60μm | ||||
| 소밀 | 광택이 있는 Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.5 nm | |||||
| 아무도 | 아무도 | 1장의 허용하는, ≤1 mm | |||
| 고강도 빛으로 균열 | |||||
| 고강도 빛에 의하여 육 판 | 점증적으로 area≤ 1% | 점증적으로 area≤ 1% | 점증적으로 area≤ 3% | ||
| 아무도 | 점증적으로 area≤ 2% | 점증적으로 area≤5% | |||
| 고강도 빛에 의하여 Polytype 지역 | |||||
| 1×wafer 직경 점증적으로 길이에 3개의 찰상 | 1×wafer 직경 점증적으로 길이에 5개의 찰상 | 1×wafer 직경 점증적으로 길이에 8개의 찰상 | |||
| 고강도 빛에 의하여 찰상 | |||||
| 가장자리 칩 | 아무도 | 3장의 허용하는, ≤0.5 mm 각각 | 5장의 허용하는, ≤1 mm 각각 | ||
| 고강도 빛에 의하여 오염 | 아무도 | ||||
FAQ:
Q: 선박과 비용의 방법은 무엇입니까?
A: (1) 우리는 DHL, 페더럴 익스프레스, EMS 등을 받아들입니다.
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A: (1) 재고목록을 위한, MOQ는 1pcs입니다. 2-5pcs가 그것 더 나은 경우에.
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A: (1) 표준 제품을 위해
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주문을 받아서 만들어진 제품을 위해: 납품은 -4 주 당신이 접촉을 주문한 후에 2입니다.
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A: 주식에 있는 우리의 표준 제품. 기질 4inch 0.35mm 같이 것과 같이.
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